關(guān)于磁傳感器制造設(shè)備的性能分析和應(yīng)用介紹
超高真空磁控濺射鍍膜機(jī)
多維科技擁有三臺超高真空磁控濺射鍍膜機(jī)，分別為MDT-1，MDT-2，MDT-3，上圖為MDT-1。該套設(shè)備能進(jìn)行8寸晶圓薄膜金屬加工，其最薄厚度能至埃米級別，且能鍍膜10種不同金屬和非金屬材料，多達(dá)100層金屬薄膜，該系統(tǒng)擁有700℃以上的溫度能力，是目前國際領(lǐng)先、國內(nèi)唯一的一臺高端設(shè)備。
超高磁場真空回火爐
該設(shè)備可以用于生產(chǎn)8″/12″晶圓芯片，其超導(dǎo)磁場可以達(dá)到5特斯拉，是目前國際領(lǐng)先、國內(nèi)唯一的一臺高端設(shè)備。
磁性納米薄膜刻蝕及制備設(shè)備
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