SAN JOSE - Numerical Technologies Inc.宣布收購(gòu)私營(yíng)轉(zhuǎn)讓企業(yè)有限公司廣泛使用的軟件將IC設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)文件轉(zhuǎn)換為生產(chǎn)光掩模的格式。

NumeriTech表示，位于加利福尼亞州Los Gatos的Transcription Enterprises將繼續(xù)銷售其計(jì)算機(jī)輔助轉(zhuǎn)錄系統(tǒng)（CATS）。獨(dú)立供應(yīng)商，但這兩項(xiàng)業(yè)務(wù)現(xiàn)在將用于亞波長(zhǎng)光刻的高度集成和優(yōu)化的解決方案。沒(méi)有關(guān)于此次收購(gòu)的財(cái)務(wù)細(xì)節(jié)。

私有企業(yè)NumeriTech一直在擴(kuò)展其復(fù)雜光掩模設(shè)計(jì)軟件產(chǎn)品，這些復(fù)雜光掩模用于打印小于光波長(zhǎng)的設(shè)備特征尺寸。這些亞波長(zhǎng)技術(shù)包括相移和光學(xué)鄰近校正（OPC）。許多主要的IC制造商已經(jīng)開始使用NumeriTech的技術(shù)，使用現(xiàn)有的248納米光刻工具將特征尺寸推向0.13微米以下。

但是由于“切換之間的”切換，亞波段光罩的推進(jìn)將變得更加困難。設(shè)計(jì)和制造步驟，“YC警告說(shuō)（Bruno）NumeriTech總裁Pati。 “除非妥善處理，否則它將成為一個(gè)不斷增長(zhǎng)的瓶頸。”

最初，NumeriTech開始與Transcription Enterprises合作探索亞波長(zhǎng)光掩模的創(chuàng)新解決方案，但很快管理人員意識(shí)到“非常適合”合并，帕蒂說(shuō)。 “在與客戶討論OPC和相移解決方案的同時(shí)，我們也被要求整合大部分的面罩準(zhǔn)備任務(wù)，”他回憶道。 “事實(shí)證明，提供最佳解決方案的整合水平是合并兩家公司。”

十四歲的轉(zhuǎn)錄企業(yè)現(xiàn)在聲稱提供超過(guò)90％的轉(zhuǎn)換工具GDS II數(shù)據(jù)文件將芯片設(shè)計(jì)操作轉(zhuǎn)移到掩模制作步驟。 “我們開始專注于面具店，并且也進(jìn)入了專賣店，”成為NumeriTech轉(zhuǎn)錄子公司副總裁兼總經(jīng)理的Kevin MacLean說(shuō)。 “我們的目標(biāo)始終是將設(shè)計(jì)和面具店聯(lián)系在一起。過(guò)去這些操作已脫節(jié)，因?yàn)槿藗兿嘈潘麄冊(cè)O(shè)計(jì)的東西幾乎會(huì)出現(xiàn)在晶圓上。

”過(guò)去十年來(lái)，我們不得不將這些過(guò)程與設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)文件和光掩模生產(chǎn)軟件緊密結(jié)合在一起，以實(shí)現(xiàn)更好的通信和更少的錯(cuò)誤，“MacLean解釋道。

CATS軟件已從面具書寫工具的數(shù)據(jù)準(zhǔn)備擴(kuò)展到其他他表示，客戶正在尋求進(jìn)一步擴(kuò)展先進(jìn)的分辨率技術(shù)，例如選擇性尺寸，頂點(diǎn)處理和其他元素，“MacLean解釋說(shuō)，他們指的是制作高產(chǎn)亞波長(zhǎng)的棘手任務(wù)。掩模。