馬薩諸塞州韋斯特伍德 - ADE公司推出了兩種軟件計量應用：晶圓可視化工具和缺陷分析軟件包。

設備工具箱是一種新的“離線”軟件應用程序，旨在幫助工藝工程師可視化和量化晶圓形狀，厚度和平整度的變化。 WaferAnalyzer 2.0旨在幫助工程師解決硅晶圓制造中的缺陷問題。這個新版本具有從晶圓檢測系統(tǒng)和幾何測量系統(tǒng)讀取多種文件格式的能力。

使用測量和差分（之前/之后）數(shù)據(jù)，使用Device Toolbox的工程師可以開發(fā)，診斷和ADE表示，保持熱，光刻，背面研磨和背面蝕刻工藝。設備工具箱獨立于ADE工具運行。由任何ADE ASC或ASC-2000測量系統(tǒng)創(chuàng)建的厚度和形狀數(shù)據(jù)由Device Toolbox轉換為一個晶圓或整個批次的“測量”或差分信息的一維，二維或三維圖。/p>

Westwood公司表示，Device Toolbox具有成本效益，因為它允許用戶只購買他們需要的東西。未來的增強功能包括用于膠片應力圖或場地平整度的可選應力集和場地集模塊。這些將分別在第一和第二季度提供。

借助新的模式識別算法，WaferAnalyzer 2.0通過加速數(shù)據(jù)收集過程，自動化報告和圖表功能以及為復雜數(shù)據(jù)提供可視化界面來增強流程工程。該公司表示，它基于Microsoft Windows 95和Windows NT，可以在工程師的桌面和潔凈室中運行，使工藝工程師能夠更高效地工作，專注于流程優(yōu)化而不是數(shù)據(jù)收集。