日本電子株式會社：推出新型肖特基場發(fā)射（FE）掃描電子顯微鏡JSM-F100

―全新級別的智能分析場發(fā)射掃描電子顯微鏡（FE-SEM），兼具高分辨率和強大的可操作性―

東京--（BUSINESS WIRE）--（美國商業(yè)資訊）--日本電子株式會社（JEOL Ltd.） （TOKYO:6951） （www.jeol.com）（總裁兼首席運營官：大井泉）宣布，將于2019年8月推出新型肖特基（Schottky）場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-F100。

背景

掃描電子顯微鏡（SEM）應用于不同的領(lǐng)域：納米技術(shù)、金屬、半導體、陶瓷、醫(yī)學和生物學等。隨著應用范圍的擴大，SEM用戶需要快速、高質(zhì)量的數(shù)據(jù)采集及簡單的組成信息確認和無縫操作。

JSM-F100搭載我們備受推崇的浸沒式（In-lens）肖特基Plus場發(fā)射電子槍和“Neo Engine”（電子光學控制系統(tǒng)），以及全新的GUI “SEM Center”和創(chuàng)新的“實時圖像視覺增強器-人工智能（LIVE-AI）濾鏡”，實現(xiàn)了高空間分辨率成像和可操作性的最優(yōu)組合。此外，標配的JEOL能量色散型X射線光譜儀（EDS）完全整合于“SEM Center”內(nèi)，可實現(xiàn)從圖像到元素分析結(jié)果的無縫采集。JSM-F100提供卓越的工作效率，高出我們之前的JSM-7000系列50%或以上，實現(xiàn)了生產(chǎn)量的顯著提高。

特性

浸沒式肖特基Plus場發(fā)射電子槍

電子槍與低像差聚光透鏡的進一步整合帶來更高的亮度。低加速電壓下具有足夠的探頭電流，支持從高分辨率成像到高速元素映射的各種功能。

混合式透鏡（HL）

混合式透鏡（HL）將靜電場鏡和磁場透鏡相結(jié)合，支持各種樣品的高空間分辨率成像和分析。

Neo Engine（新型電子光學引擎）

Neo Engine是一款先進的電子光學控制系統(tǒng)，可顯著提高自動化功能的精確度和可操作性。

“SEM Center”新功能

全新GUI “SEM Center”全面整合SEM成像和EDS分析，提供借助FE-SEM實現(xiàn)的下一代可操作性和高分辨率圖像。

“Zeromag”新功能

整合的“Zeromag”可實現(xiàn)從光學成像到SEM成像的無縫過渡，讓定位目標樣品區(qū)域變得十分輕松。

全新LIVE-AI濾鏡*

通過利用人工智能（AI）功能，整合的LIVE-AI濾鏡可以提供更高質(zhì)量的實時圖像。與圖像融合處理不同，這款新的濾鏡能夠顯示無縫移動的實時圖像，無殘留圖像，對于快速搜索觀察區(qū)域、對焦和消像散器調(diào)整十分有效。

*選配

目標年銷量

60臺/年

日本電子株式會社

3-1-2， Musashino， Akishima， Tokyo， 196-8558， Japan

大井泉，總裁兼首席運營官

（股票代碼：6951，東京證券交易所第一部）