偏壓電源是真空電弧離子鍍及其它真空物理氣相沉積設備中一個重要組件，在鍍膜工藝流程中為工件提供負（或正）偏壓。在真空離子鍍膜中，尤其對于多弧離子鍍膜，無論是裝飾鍍還是工具鍍，轟偏電源的好壞對于成膜質量都起著非常關鍵的作用。裝飾鍍和工具鍍對膜層質量的要求有相同之處又各有側重。

偏壓電源工作于二級高頻變換模式，單極脈沖方式輸出。電源的電壓調整通過改變高頻變換電路的電源電壓來實現(xiàn)，調壓電路具有1%的穩(wěn)率。高頻變換電路產(chǎn)生10-90%脈沖電壓。由于電源的輸出電壓與脈沖寬度獨立調整，在滿足工藝所需電壓同時，通過改變脈沖寬度來控工件溫升。電源適用于各類工具鍍膜及裝飾鍍膜 。

作用：

1）提高真空等離子體內(nèi)帶電粒子的能量，轟擊清洗所鍍工件表面，使工件表面經(jīng)受高能粒子撞擊后得到嶄新的表層，從而提高后續(xù)沉積膜層的結合力。

2）提高并控制真空等離子體內(nèi)帶電粒子的能量，提高膜層與工件基體結合力。

3）靠不同的電壓輸出極性或方式改變沉積規(guī)則，調整膜層顏色。

4）克服偏壓電源工作于真空等離子體環(huán)境中，由高電壓引起的陰極弧光放電燒傷工件

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