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三星EUV技術(shù)成功應(yīng)用于DRAM生產(chǎn)

汽車(chē)玩家 ? 來(lái)源:集微網(wǎng) ? 作者:Jimmy ? 2020-03-25 16:24 ? 次閱讀
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據(jù)ZDnet報(bào)道,三星宣布,已成功將EUV技術(shù)應(yīng)用于DRAM的生產(chǎn)中。

三星已經(jīng)出貨了100萬(wàn)個(gè)使用EUV工藝制造的10nm級(jí)DDR4 DRAM模塊,并得到了客戶(hù)的評(píng)估。三星表示,評(píng)估工作完成后,將為明年大規(guī)模生產(chǎn)新的DRAM鋪平道路。

三星在平澤工廠(chǎng)的EUV專(zhuān)用V2生產(chǎn)線(xiàn)將于下半年開(kāi)始生產(chǎn)DRAM模塊。該生產(chǎn)線(xiàn)預(yù)計(jì)將生產(chǎn)4代10nm級(jí)DDR5和LPDDR5。

這是平澤工廠(chǎng)除7nm邏輯芯片外又一使用EUV技術(shù)生產(chǎn)的芯片,三星稱(chēng),EUV技術(shù)將使其單個(gè)12英寸晶圓的生產(chǎn)效率提升一倍。

三星、英特爾和臺(tái)積電等全球半導(dǎo)體制造商預(yù)計(jì)都將擴(kuò)大EUV技術(shù)在芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用。三星此前曾表示,計(jì)劃利用EUV技術(shù)生產(chǎn)3nm芯片。

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