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為什么只有ASML才能制造出頂級光刻機(jī),其技術(shù)難度有多高

獨(dú)愛72H ? 來源:網(wǎng)絡(luò)整理 ? 作者:佚名 ? 2020-04-19 23:43 ? 次閱讀
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(文章來源:網(wǎng)絡(luò)整理)
大家都知道,目前我國光刻機(jī)技術(shù)至少落后荷蘭ASML15年,目前荷蘭ASML的頂級光刻機(jī)可以達(dá)到7nm工藝,目前他們正大研發(fā)5nm工藝光刻機(jī);而中國目前能夠量產(chǎn)的光刻機(jī)是90nm的工藝,差了10幾倍,光刻機(jī)制造真的有這么難嗎?

光刻設(shè)備是一種投影曝光系統(tǒng),由紫外光源、光學(xué)鏡片、對準(zhǔn)系統(tǒng)等部件組裝而成。在芯片制造過程中,通過投射光束,穿過印著圖案的掩模及光學(xué)鏡片,將線路圖曝光在帶有光感涂層的硅晶圓上;然后通過蝕刻曝光等等步驟,形成芯片;這里有幾個重要的因素:光源,鏡頭,對準(zhǔn)系統(tǒng)等等。制造這么高精端的光刻機(jī),它有著:德國蔡司供應(yīng)的鏡頭;在光源設(shè)備上美國公司的供貨;而且大量來自于海力士也不斷向ASML提供技術(shù)支持;這么多技術(shù)廠商的支持,加上ASML本身的組裝技術(shù),所以ASML能夠一直位于世界第一,生產(chǎn)的光刻機(jī)也是最頂級的。

光刻機(jī)技術(shù)是世界上最尖端的技術(shù)之一,只有很少的國家掌握,所以光刻機(jī)是非常昂貴的,一臺高端的光刻機(jī)可以賣到1.2億美元左右,目前全球最貴的光刻機(jī)是:EUV光刻機(jī),單臺售價超過1.2億美元,雖然賣這么貴,但還是供不應(yīng)求,很多EUV光刻機(jī)訂單都是排隊(duì)生產(chǎn),甚至有部分國家就算給再多的錢也買不到。

目前ASML是全球唯一能夠達(dá)到7納米精度光刻機(jī)的提供商,所以說ASML是全球芯片業(yè)真正的超級霸主一點(diǎn)都不過分。

目前在全球45納米以下高端光刻機(jī)市場當(dāng),荷蘭ASML也占了80%以上,而且這個占比每的還在持續(xù)增長,目前全球知名芯片廠商包括英特爾、三星、臺積電、SK海力士、聯(lián)電、格芯、中芯國際、華虹宏力、華力微等等全球一線公司都是ASML的客戶。雖然ASML是一家荷蘭公司,但他背后卻有著歐盟以及美國的力量,多關(guān)鍵技術(shù)都由美國以及歐盟國家提供。比如德國先進(jìn)的機(jī)械工藝以及世界級的蔡司鏡頭,再加上美國提供的光源,這就使得ASML公司在光科技術(shù)方面飛速發(fā)展,幾乎到達(dá)了無人能敵的境地。

因?yàn)楸澈笥忻绹牧α浚訟SML一直以來都禁止向中國出口高端光刻機(jī),直到2018年這一情況才有所轉(zhuǎn)機(jī),2018年ASML同意向中國出口兩臺7納米的高端光刻機(jī),預(yù)計(jì)2019年交貨。

那ASML為什么反常的同意向中國出口高端光刻機(jī)呢?,一因?yàn)橹袊诠饪虣C(jī)的一些關(guān)鍵技術(shù)上已經(jīng)取得了突破,目前中國已經(jīng)成功研制出22nm超分辨的光刻機(jī),可以生產(chǎn)14nm工藝的芯片,雖然和ASML的7nm工藝還有不小的差距,但我們一直在努力 ,相信不久將來,我們會在光刻機(jī)技術(shù)上達(dá)到世界頂級水平。
(責(zé)任編輯:fqj)

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