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聲波作用下MEMS加速度計(jì)失效機(jī)制研究

MEMS ? 來源:MEMS ? 2020-08-02 09:23 ? 次閱讀
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摘要:諧振頻率范圍內(nèi)的聲波對微機(jī)電系統(tǒng)傳感器的共振干擾是一種潛在的安全威脅,可導(dǎo)致MEMS加速度計(jì)信號路徑中放大器失效。文章提出了放大器雙邊非對稱截止失效的理論,仿真分析了線性掃頻和掃幅聲波信號對MEMS加速度計(jì)輸出特性的干擾,并進(jìn)行線性掃頻聲波和掃幅聲波干擾ADXL103的實(shí)驗(yàn)以驗(yàn)證理論的正確性,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明聲波干擾導(dǎo)致的最大加速度偏移量為4.8 m/s2。最后提出了軟件迭代算法防御方案,仿真結(jié)果表明補(bǔ)償后的最大加速度干擾偏移量低至0.08 m/s2。

0引言

傳感器是工業(yè)4.0時(shí)代的核心器件,物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展和智能終端的廣泛應(yīng)用進(jìn)一步推動(dòng)了微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)傳感器的發(fā)展。MEMS慣性傳感器主要由MEMS陀螺儀和MEMS加速度計(jì)組成,MEMS加速度計(jì)可應(yīng)用于軍事國防、航空航天、汽車工業(yè)、醫(yī)療健康、消費(fèi)電子等場景。然而在許多應(yīng)用場景中,存在大功率諧振頻率范圍內(nèi)的聲波會對MEMS加速度計(jì)的輸出造成負(fù)面影響,限制了MEMS加速度計(jì)應(yīng)用領(lǐng)域的進(jìn)一步拓展。作為一門新興的研究課題,聲波作用于MEMS加速度計(jì)的干擾與防御技術(shù)在近兩年引起了人們的高度關(guān)注。

2017年,密歇根大學(xué)的Timothy Trippel等人首次提出諧振頻率范圍內(nèi)的聲波對MEMS加速度計(jì)輸出性能產(chǎn)生影響。文章詳細(xì)介紹了聲波干擾電容式MEMS加速度計(jì)的工作原理,創(chuàng)新性地提出造成MEMS加速度計(jì)失效的硬件部分是信號電路中的放大器和低通濾波器,并進(jìn)行了一系列聲波干擾實(shí)驗(yàn)。提出了改善低通濾波器和放大器硬件結(jié)構(gòu)以抵御聲波干擾,進(jìn)一步提出改變模數(shù)轉(zhuǎn)換器的采樣速率抵御低通濾波器失效的軟件防御方案,同時(shí)進(jìn)行了防御方案有效性的驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)。

2017年,阿里巴巴安全科研小組在黑帽安全技術(shù)大會上展示聲波破壞性干擾MEMS慣性器件,導(dǎo)致系統(tǒng)停止工作的實(shí)驗(yàn)成果。實(shí)驗(yàn)演示了諧振頻率附近的聲波對智能手機(jī)、平衡車、米兔機(jī)器人、全息眼鏡、無人機(jī)等設(shè)備中的MEMS慣性器件產(chǎn)生影響。2019年,武漢大學(xué)的科研團(tuán)隊(duì)通過實(shí)驗(yàn)和ANSYS多物理場仿真驗(yàn)證聲波干擾對MPU6050中MEMS加速度計(jì)的影響。文章中詳細(xì)敘述了聲波頻率、聲壓、聲源方向?qū)EMS加速度計(jì)輸出的影響?,F(xiàn)有的聲波防御方案提出了在傳感器周圍添加隔聲泡沫,使用新型聲學(xué)阻尼材料以及使用多傳感器融合等措施來防御諧振頻率范圍內(nèi)的聲波干擾。對于聲波干擾MEMS加速度計(jì)的研究缺少系統(tǒng)的理論分析和定量研究; 對于現(xiàn)有的防御聲波干擾方案,一方面增加了傳感器的體積和成本,另一方面消除聲波干擾的效果并不明顯,高效的防御方案有待提出。

本文確定了聲波干擾導(dǎo)致放大器雙邊非對稱截止失效的理論輸出公式,線性掃頻聲波和掃幅聲波干擾實(shí)驗(yàn)和仿真結(jié)果具有一致性。進(jìn)一步提出軟件迭代算法補(bǔ)償放大器失效,通過仿真結(jié)果證明了該防御方法的有效性。

1放大器失效的理論分析與仿真結(jié)果

當(dāng)電容式MEMS加速度計(jì)受到外界聲波作用時(shí),若聲波頻率等于MEMS加速度計(jì)的諧振頻率,將會發(fā)生機(jī)械共振。聲波力作用于MEMS加速度計(jì)的可動(dòng)質(zhì)量塊,可動(dòng)質(zhì)量塊敏感外界加速度的變化,產(chǎn)生偏離原平衡位置的相對運(yùn)動(dòng)??蓜?dòng)電極與固定電極之間的電容量發(fā)生改變,通過特殊設(shè)計(jì)的外圍電路檢測這種非平衡態(tài)并轉(zhuǎn)換為電信號輸出,電容—電壓轉(zhuǎn)換電路將電容改變量轉(zhuǎn)換為電壓信號。電壓信號經(jīng)過放大器放大,再經(jīng)過低通濾波器濾除高頻噪聲,最終經(jīng)過模數(shù)轉(zhuǎn)換器將模擬信號輸出轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號輸出,最后的輸出量正比于待測加速度。聲波信號作用于MEMS加速度計(jì)傳感器的信號演變路徑如圖1所示,其基本結(jié)構(gòu)包含了機(jī)械結(jié)構(gòu)和信號處理電路。理想情形下,放大器的動(dòng)態(tài)范圍可以放大來自前級電路中的任何電壓信號。實(shí)際情形中,信號路徑中放大器的動(dòng)態(tài)范圍是有限的。當(dāng)諧振頻率范圍內(nèi)的聲波作用于可動(dòng)質(zhì)量塊時(shí),如果產(chǎn)生的電壓信號超過放大器的動(dòng)態(tài)范圍,將會出現(xiàn)放大器的截止失效,輸出結(jié)果中出現(xiàn)低頻直流分量,低通濾波器無法濾除該影響,最終導(dǎo)致MEMS加速度計(jì)測量輸出的結(jié)果不準(zhǔn)確。由于加速度計(jì)本身存在重力加速度靜態(tài)偏置,若諧振頻率范圍內(nèi)的聲波導(dǎo)致MEMS加速度計(jì)放大器將出現(xiàn)非對稱截止失真,導(dǎo)致最終輸出呈現(xiàn)非線性的特征。

圖1 聲波作用于MEMS加速計(jì)的信號演變路徑

1.1理論分析

首先考慮放大器單邊截止失效情形,放大器截止失效的上限閾值對應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓設(shè)為a,當(dāng)振幅為A的正弦聲波經(jīng)過放大器,由于共振效應(yīng)的影響,出現(xiàn)放大器單邊截止失效,此過程的基本示意圖如圖2( a)所示。正弦聲波在一個(gè)周期內(nèi)的平均輸出結(jié)果可以表示為:

由于聲波信號的振幅正比于聲波驅(qū)動(dòng)電壓信號,將公式( 1)中的聲波振幅A換為聲波驅(qū)動(dòng)電壓信號U,當(dāng)放大器單邊截止失效時(shí),MEMS加速度的改變量Δa隨聲波驅(qū)動(dòng)電壓信號U變化的關(guān)系式為:

考慮雙邊非對稱截止失效的情形,放大器截止失效的上限閾值對應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓設(shè)為a,放大器截止失效的下限閾值對應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓設(shè)為b。當(dāng)振幅為A的正弦聲波經(jīng)過放大器,由于共振效應(yīng)的影響,出現(xiàn)雙邊截止失效的情形,其基本示意圖如圖2(b)所示。同理可得,放大器雙邊非對稱截止失效后正弦聲波在一個(gè)周期內(nèi)的平均輸出結(jié)果。將聲波振幅A換為聲波驅(qū)動(dòng)電壓信號U,可以得到MEMS加速度的改變量Δa隨聲波驅(qū)動(dòng)電壓信號U變化的關(guān)系式:

表1 公式(3)中字母所表示的物理含義

圖2 放大器截止失效示意圖

1.2仿真結(jié)果

為了進(jìn)一步驗(yàn)證上述理論公式的正確性以及放大器特征參數(shù)對MEMS加速度計(jì)輸出的加速度改變量的影響,首先考慮放大器單邊截止失效情形,確定放大器截止失效的上限閾值對應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓a值的影響。a值范圍從2等差增加到10,增量為2。最終得到不同a值情形下,加速度改變量Δa隨聲波驅(qū)動(dòng)電壓U變化的圖像,U的取值范圍從0增加至24 V,其仿真結(jié)果如圖3所示。

圖3 放大器單邊截止失效,不同a值,加速度改變量隨聲波驅(qū)動(dòng)電壓變化

由圖3的結(jié)果可知,a值的大小決定了聲波干擾出現(xiàn)影響的位置。當(dāng)a值為4時(shí),進(jìn)一步考慮放大器雙邊非對稱截止失效情形,b值的范圍從-13.8等量增加至-5.8,增量為2。最終得到不同b值情形下,加速度改變量Δa隨聲波驅(qū)動(dòng)電壓U變化的圖像,U的取值范圍從0增加至24 V,其結(jié)果如圖4所示。

圖4 放大器雙邊非對稱截止失效,當(dāng)a = 4時(shí),不同b值,加速度改變量隨聲波驅(qū)動(dòng)電壓的變化

由圖4的結(jié)果可知,b值大小決定了MEMS加速度計(jì)受聲波干擾的響應(yīng)程度以及聲波干擾持續(xù)的時(shí)間長短。b的絕對值越大,加速度改變量越大,聲波干擾持續(xù)的時(shí)間越長。

2聲波干擾ADXL103實(shí)驗(yàn)

2.1實(shí)驗(yàn)裝置

聲波干擾的實(shí)驗(yàn)測試平臺如圖5所示。函數(shù)信號發(fā)生器(Agilent 33250A)可以產(chǎn)生不同振幅、不同頻率的聲波信號,使用一個(gè)轉(zhuǎn)換器將信號發(fā)生器輸出的電信號傳遞到功率放大器(AE TECHRON 7224)的輸入端。經(jīng)過功率放大器放大的電信號輸出至喇叭,進(jìn)一步轉(zhuǎn)換為聲音信號。一大一小喇叭經(jīng)分頻器驅(qū)動(dòng),其區(qū)別在于輸出的聲音頻率范圍不同。使用示波器(RIGOL DS1102E)觀察信號發(fā)生器的輸入波形和功率放大器的輸出波形,可以進(jìn)一步確定功率放大器的放大倍數(shù)。使用聲壓計(jì)(HT-850A)測量實(shí)驗(yàn)聲場中的聲壓級。MEMS加速度計(jì)的輸出信號通過USART在筆記本電腦上由相應(yīng)的軟件直接讀取加速度數(shù)值。為了隔離外界干擾聲源,我們將MEMS加速度計(jì)和喇叭封裝在亞克力箱內(nèi)。典型的電容式MEMS加速度計(jì)產(chǎn)品是ADI公司的單軸MEMS加速度計(jì)——ADXL103,它利用梳齒式差分電容檢測,利用表面微機(jī)械加工工藝制作多晶硅差動(dòng)電容結(jié)構(gòu),體積小,可以與集成電路工藝相兼容。同時(shí),ADXL103是模擬式MEMS加速度計(jì),可根據(jù)不同的應(yīng)用場景選調(diào)測量范圍,在工業(yè)領(lǐng)域上有廣泛應(yīng)用。

圖5 聲波干擾實(shí)驗(yàn)測試平臺示意圖

2.2線性掃幅聲波干擾實(shí)驗(yàn)結(jié)果

為了驗(yàn)證聲波干擾導(dǎo)致放大器雙邊非對稱截止失效理論的正確性,首先進(jìn)行線性掃幅聲波干擾實(shí)驗(yàn)。線性掃幅聲波干擾ADXL103的實(shí)驗(yàn)基本設(shè)置:聲波信號的振幅隨時(shí)間線性增加,設(shè)置函數(shù)信號發(fā)生器輸入的正弦電壓信號峰峰值由0線性增加到3 V,對正弦聲波進(jìn)行振幅調(diào)制,線性增加的載波信號周期為20 s。正弦聲波的頻率為諧振頻率范圍內(nèi)的點(diǎn)頻,實(shí)驗(yàn)中設(shè)置信號發(fā)生器連續(xù)輸出兩個(gè)周期的線性掃幅信號。功率放大器的放大倍數(shù)為8倍,聲壓級水平為110 dB,揚(yáng)聲器與ADXL103之間的垂直距離為10 ~ 11 cm。ADXL103處于靜止?fàn)顟B(tài),其靜態(tài)偏置為9.80 m/s2。線性掃幅聲波干擾ADXL103的時(shí)域響應(yīng)實(shí)驗(yàn)結(jié)果如圖6所示。

圖6 線性掃幅聲波干擾ADXL103的時(shí)域響應(yīng)

由圖6可知,放大器非對稱截止失效導(dǎo)致ADXL103的輸出結(jié)果具有非線性的特征。線性掃幅聲波導(dǎo)致MEMS加速度計(jì)的輸出由9.80 m/s2變?yōu)?.00 m/s2,加速度的改變量為4.80 m/s2。

為了進(jìn)一步驗(yàn)證上述理論公式的正確性,將理論公式與實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行曲線擬合。利用一個(gè)周期的線性掃幅聲波干擾ADXL103的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),MEMS加速度計(jì)原有的靜態(tài)偏置9.80 m/s2減去原始實(shí)驗(yàn)輸出的加速度,縱坐標(biāo)表示聲波干擾導(dǎo)致加速度的改變量,橫坐標(biāo)為聲波驅(qū)動(dòng)電壓。將實(shí)驗(yàn)結(jié)果與理論公式進(jìn)行曲線擬合,其結(jié)果如圖7所示。

圖7 放大器非對稱截止失效,實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)與仿真結(jié)果的曲線擬合

由圖7可知,與實(shí)驗(yàn)結(jié)果相比,仿真結(jié)果出現(xiàn)截止失效的位置提前了,其原因是由于仿真結(jié)果中對于放大器截止失效的情形過于理想化。在實(shí)際情形中,放大器出現(xiàn)截止失效后的飽和加速度輸出存在過渡時(shí)間,所以仿真結(jié)果出現(xiàn)變化的位置提前了。通過曲線擬合結(jié)果,最終確定當(dāng)a值為3.50,b 值為-5.80,k值為4.75時(shí),線性掃幅聲波干擾的實(shí)驗(yàn)結(jié)果與放大器非對稱截止失效輸出的理論公式曲線擬合效果最好,加速度改變量隨聲波驅(qū)動(dòng)電壓信號變化的函數(shù)關(guān)系式可以表示為:

2.3掃頻聲波干擾結(jié)果

接下來進(jìn)行掃頻聲波干擾MEMS加速度計(jì)的仿真與實(shí)驗(yàn),進(jìn)一步驗(yàn)證放大器非對稱截止失效理論的正確性。運(yùn)用MATLAB工具仿真掃頻聲波干擾MEMS加速度計(jì)導(dǎo)致放大器非對稱截止失效的輸出結(jié)果,接著進(jìn)行掃頻聲波干擾ADXL103的實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)的基本設(shè)置如下:ADXL103處于靜止?fàn)顟B(tài),其靜態(tài)偏置為9.80 m/s2,信號發(fā)生器輸入的電壓信號峰值為3 V,經(jīng)功率放大器放大為21 V,掃頻聲波的頻率范圍為4 ~ 6 kHz,掃描時(shí)間為300 s,聲壓級為108 dB,聲源和MEMS加速計(jì)的垂直距離為10 ~ 11 cm,上位機(jī)軟件的采樣頻率為100 Hz。掃頻聲波干擾ADXL103的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)如圖8所示。

由圖8中的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)(藍(lán)色線)可知,諧振頻率范圍內(nèi)聲波干擾導(dǎo)致ADXL103的輸出偏離靜止?fàn)顟B(tài)下的正常輸出;由圖8中的仿真數(shù)據(jù)(紅色線)可知,掃頻聲波干擾導(dǎo)致MEMS加速度計(jì)信號路徑中的放大器非對稱截止輸出,MEMS加速度計(jì)最終的輸出結(jié)果與實(shí)驗(yàn)結(jié)果趨于一致。由于實(shí)際情形中放大器截止飽和輸出具有過渡時(shí)間,實(shí)驗(yàn)結(jié)果中出現(xiàn)的截止位置與仿真結(jié)果的不同步,這與2.2節(jié)的討論結(jié)果是一致的。綜上所述,諧振頻率范圍內(nèi)的聲波導(dǎo)致放大器非對稱截止失效,最終導(dǎo)致ADXL103的輸出結(jié)果不準(zhǔn)確。

圖8 掃頻聲波干擾的仿真結(jié)果與實(shí)驗(yàn)結(jié)果

3防御聲波干擾方案

針對諧振頻率范圍附近聲波導(dǎo)致MEMS加速度計(jì)放大器失效,我們提出采用軟件迭代算法補(bǔ)償?shù)姆烙桨浮TO(shè)諧振頻率范圍內(nèi)的正弦聲波干擾MEMS加速度計(jì),首先需要獲得經(jīng)過低通濾波器之前的MEMS加速度計(jì)放大器失效輸出的原始數(shù)據(jù),求解整個(gè)范圍內(nèi)數(shù)據(jù)的平均值為y,若出現(xiàn)放大器單邊截止失效,聲波信號輸出為單邊截止情形,y將偏離實(shí)際聲波信號的均值Y。其次,選取Δy范圍內(nèi)的數(shù)據(jù),計(jì)算該范圍內(nèi)的平均值為y'。若誤差,則進(jìn)行迭代,迭代公式可表示為:

α為比例系數(shù),ε為誤差截止范圍。當(dāng)y和y'之間的誤差足夠小時(shí),迭代終止。此時(shí),y無限接近于真實(shí)均值Y,我們可以進(jìn)一步將截止的聲波信號進(jìn)行算法補(bǔ)償,得到真實(shí)的聲波信號。軟件迭代算法基本思想如圖9所示。

圖9 軟件迭代算法的基本思想

為了驗(yàn)證軟件迭代算法的有效性,我們首先假設(shè)一個(gè)經(jīng)過放大器非對稱截止失效且未通過低通濾波器濾波的原始正弦加速度信號,其靜態(tài)偏置為9.80 m/s2。經(jīng)過計(jì)算,其輸出的均值為5.00 m/s2,即y的初始值為5.00 m/s2。用上述提出的軟件迭代算法進(jìn)行補(bǔ)償,比例系數(shù)α設(shè)置為1.20,誤差截止范圍ε設(shè)為5 × 10-7,Δy的值為1.80。軟件迭代算法仿真的輸出結(jié)果如圖10所示,圖中顯示了算法補(bǔ)償后加速度改變量的變化(藍(lán)色線)以及在實(shí)驗(yàn)中聲波干擾導(dǎo)致的加速度改變量(紅色線)。在經(jīng)過數(shù)次迭代后,加速度改變量由4.80 m/s2變?yōu)樽罱K的輸出結(jié)果為0.08 m/s2,仿真結(jié)果表明軟件迭代算法是可以有效補(bǔ)償MEMS加速度計(jì)由于放大器非對稱截止失效的不正常輸出。由于該防御方案需要獲得過采樣的原始數(shù)據(jù),實(shí)驗(yàn)室的設(shè)備裝置有限,實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證有待進(jìn)一步進(jìn)行。

圖10 軟件迭代算法補(bǔ)償前后輸出的加速度改變量

4結(jié)語

通過理論分析、仿真結(jié)果和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,最終得到了聲波干擾MEMS加速度計(jì)導(dǎo)致放大器失效的完整的理論機(jī)制。通過掃頻干擾ADXL103的實(shí)驗(yàn),可以得出聲波干擾導(dǎo)致MEMS加速度計(jì)的放大器非對稱截止失真的理論。進(jìn)一步推導(dǎo)放大器失效的理論輸出表達(dá)式,確定放大器特征參數(shù)對MEMS加速度計(jì)輸出結(jié)果的影響,進(jìn)行線性掃幅聲波干擾ADXL103的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)與推導(dǎo)的理論公式輸出的曲線擬合,當(dāng)放大器的特征參數(shù)a值為3.50,b值為-5.80,k值為4.75時(shí),曲線擬合效果最好。提出軟件迭代算法以補(bǔ)償放大器失效造成的誤差輸出,仿真結(jié)果表明軟件迭代算法可將加速度改變量初始值4.80 m/s2補(bǔ)償至0.08 m/s2,將加速度輸出由5.00 m/s2補(bǔ)償至9.72 m/s2,接近于MEMS加速度計(jì)的靜態(tài)輸出9.80 m/s2,仿真結(jié)果表明了軟件迭代算法的有效性。提出聲波干擾導(dǎo)致放大器雙邊非對稱截止失效的理論機(jī)制和研究高效的防御聲波干擾方案具有重要的理論意義和實(shí)踐意義。

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原文標(biāo)題:聲波作用下MEMS加速度計(jì)失效機(jī)制研究

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    Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計(jì)是一款低噪聲密度、低0g失調(diào)漂移微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì),具有可選測量范圍。ADXL359支持±1
    的頭像 發(fā)表于 06-20 09:27 ?260次閱讀
    Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸<b class='flag-5'>MEMS</b><b class='flag-5'>加速度計(jì)</b>數(shù)據(jù)手冊

    意法半導(dǎo)體推出工業(yè)級MEMS加速度計(jì)IIS2DULPX

    意法半導(dǎo)體的工業(yè)級MEMS加速度計(jì)IIS2DULPX具有機(jī)器學(xué)習(xí)功能,省電節(jié)能,耐高溫,有助于提高傳感器集成度,讓數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的操作決策變得更智能,適用于資產(chǎn)跟蹤、機(jī)器人和工廠自動(dòng)化,以及工業(yè)安全設(shè)備和醫(yī)療保健設(shè)備。
    的頭像 發(fā)表于 05-12 15:14 ?422次閱讀

    高性能石英加速度計(jì),滿足最嚴(yán)苛應(yīng)用需求

    在精度、可靠性和環(huán)境適應(yīng)性至關(guān)重要的行業(yè)中,ER-QA-02A高性能石英加速度計(jì)無疑是一款顛覆性的產(chǎn)品。專為最具挑戰(zhàn)性的環(huán)境設(shè)計(jì),這款先進(jìn)的加速度計(jì)以無與倫比的精度和穩(wěn)定性,成為航空航天、國防、工業(yè)以及地震監(jiān)測等領(lǐng)域的理想選擇。
    的頭像 發(fā)表于 02-19 17:41 ?509次閱讀

    ADXL345超低功耗3軸加速度計(jì)中文手冊

    電子發(fā)燒友網(wǎng)站提供《ADXL345超低功耗3軸加速度計(jì)中文手冊.pdf》資料免費(fèi)下載
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    十軸姿態(tài)傳感器模塊 | 集成加速度計(jì)、陀螺儀、磁力計(jì),自帶BLE5.0藍(lán)牙

    海凌科全新推出HLK-AS2001十軸姿態(tài)傳感器模塊,集成加速度計(jì)、陀螺儀和磁力計(jì),自帶BLE5.0藍(lán)牙,開發(fā)簡單,應(yīng)用廣泛。什么是十軸姿態(tài)傳感器模塊?HLK-AS2001十軸姿態(tài)傳感器模塊是海凌科
    的頭像 發(fā)表于 01-06 12:47 ?1000次閱讀
    十軸姿態(tài)傳感器模塊 | 集成<b class='flag-5'>加速度計(jì)</b>、陀螺儀、磁力<b class='flag-5'>計(jì)</b>,自帶BLE5.0藍(lán)牙

    ADS1258 AVSS 5ms內(nèi)電壓跳變后,讀取加速度計(jì)的值變?yōu)樵瓉淼囊话胧菫槭裁矗?/a>

    時(shí),ADS1258輸出為正常情況的一半(正常情況測得加速度計(jì)為1G,故障發(fā)生時(shí)為0.5左右,且無論如何移動(dòng)加速度計(jì),轉(zhuǎn)換后的值只發(fā)生小幅度變化)。測量過IX IY IZ及VX VY
    發(fā)表于 11-22 07:42

    MEMS加速度計(jì)的工作原理是什么

    MEMS加速度計(jì)的工作原理主要基于牛頓第二定律,即力等于質(zhì)量乘以加速度。以下是對其工作原理的介紹: 一、核心部件與結(jié)構(gòu) MEMS加速度計(jì)的核
    的頭像 發(fā)表于 11-20 10:09 ?2376次閱讀

    PCB Piezotronics推出357A67型三軸電荷輸出加速度計(jì)

    據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近期,PCB Piezotronics推出了357A67型三軸電荷輸出加速度計(jì),以滿足高溫應(yīng)用需求。這款新型號是PCB Piezotronics目前最小的三軸電荷輸出加速度計(jì),可
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    PCB Piezotronics推出357A67型三軸電荷輸出<b class='flag-5'>加速度計(jì)</b>

    具有TLV2772的3V加速度計(jì)

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    具有TLV2772的3V<b class='flag-5'>加速度計(jì)</b>

    EPSON工業(yè)級加速度計(jì)選型

    愛普生加速度計(jì)(Accelerometers)是一種工業(yè)級三軸輸出壓電式加速度傳感器,采用具有專利技術(shù)的雙音叉式石英傳感器元件和Quarts光刻技術(shù),通過壓電效應(yīng)來計(jì)算出諸如此類的內(nèi)容物體運(yùn)動(dòng)的方向
    的頭像 發(fā)表于 09-19 15:31 ?690次閱讀
    EPSON工業(yè)級<b class='flag-5'>加速度計(jì)</b>選型

    e2studio開發(fā)三軸加速度計(jì)LIS2DW12(4)----測量傾斜度

    本文將介紹如何驅(qū)動(dòng)和利用LIS2DW12三軸加速度計(jì)的傾斜檢測理論和傾斜角測量方法。一般來說,這里描述的程序也可以應(yīng)用于三軸模擬或數(shù)字加速度計(jì),這取決于它們各自的規(guī)格。
    的頭像 發(fā)表于 08-09 16:00 ?1149次閱讀
    e2studio開發(fā)三軸<b class='flag-5'>加速度計(jì)</b>LIS2DW12(4)----測量傾斜度

    e2studio開發(fā)三軸加速度計(jì)LIS2DW12(2)----基于中斷信號獲取加速度數(shù)據(jù)

    本文將介紹實(shí)時(shí)獲取和處理加速度數(shù)據(jù)。程序的核心流程包括初始化硬件接口、配置加速度計(jì)的參數(shù),以及通過輪詢檢查中斷信號來不斷讀取加速度數(shù)據(jù)。
    的頭像 發(fā)表于 08-09 15:43 ?1010次閱讀
    e2studio開發(fā)三軸<b class='flag-5'>加速度計(jì)</b>LIS2DW12(2)----基于中斷信號獲取<b class='flag-5'>加速度</b>數(shù)據(jù)

    e2studio開發(fā)三軸加速度計(jì)LIS2DW12(1)----輪詢獲取加速度數(shù)據(jù)

    本文將介紹如何驅(qū)動(dòng)和利用LIS2DW12傳感器,實(shí)現(xiàn)精確的運(yùn)動(dòng)感應(yīng)功能。 IS2DW12是一款高性能、超低功耗的三軸線性加速度計(jì),屬于“femto”系列,利用了成熟的微機(jī)械加速度計(jì)制造工藝。這個(gè)
    的頭像 發(fā)表于 08-09 14:54 ?2353次閱讀
    e2studio開發(fā)三軸<b class='flag-5'>加速度計(jì)</b>LIS2DW12(1)----輪詢獲取<b class='flag-5'>加速度</b>數(shù)據(jù)