來源：羅姆半導(dǎo)體社區(qū)

01 鋁金屬的激光表面毛化處理

對于鋁質(zhì)材料來說，其自然氧化層具有吸濕性，且厚度會隨時間增大。所以，去除這層粗糙的受污染的氧化層，以暴露下層鋁材，可能足以形成充足的對比度。另一個比較復(fù)雜的因素是，下層鋁材的熔融或消融程度會顯著影響標記的外觀。

仔細調(diào)整激光器的參數(shù)，可以產(chǎn)生更為光亮的表面，以展現(xiàn)出對比度提高的熔融效果。通 過使用~1mJ的脈沖能量，可以在鋁材上形成色澤較深、氧化程度高的表面，但是，如果想要獲得低的L*值，同時又能夠獲得堅固的、非易碎型的表面，使得標記的外觀不會隨著觀察角度的變化而改變，則需要對工藝進行仔細的控制。提高消融水平以形成微粗糙表面，也可以獲得顏色更深、吸收性較高、L*值較大的表面。

從鋁表面去除陽極化涂層是一種廣泛使用的技術(shù)，相同的規(guī)則也適用于在基板上應(yīng)用激光——熔融性強便意味著能夠產(chǎn)生更具反射效果的表面。不管是裸鋁材還是陽極化鋁材，打標速度均達到1-2m/s的高水平。最近，已經(jīng)開發(fā)出在特定陽極化涂層上的激光打標技術(shù)，使用低納秒、亞納秒光纖激光器可以獲得<30 的L*值，盡管其打標速度比上述方式要低得多。

02 銅金屬的激光表面毛化處理

對銅金屬進行激光拋光以形成對比是相對較為熟知的方法，但是，因為這種金屬與生俱來具有的高反射率，要獲得深色的標記通常會更具難度。IPG光子公司硅谷技術(shù)中心（SVTC）開發(fā)出了這類技術(shù)，可在銅質(zhì)材料表面產(chǎn)生L* 值<30的深色表面。

與拋光前的表面粗糙度對比，可以看出經(jīng)激光處理表面的粗糙度差異（<1μmRa）。但表面結(jié)構(gòu)更為復(fù)雜，表面區(qū)域得到了極大改善，從而形成了高吸收性表面。

左側(cè)則是激光處理過的區(qū)域。這些特征與鋁質(zhì)材料上形成的特征相比，要小一個數(shù)量級。所獲得的表面結(jié)構(gòu)支 持了非線性、等離子控制過程的假設(shè)，而不是傳統(tǒng)的熱去除材料的過程。進一步的相關(guān)證據(jù)是，同樣的激光參數(shù)可用于處理20 μm厚的銅箔，而不會造成材料變 形，盡管使用的是平均功率為28.5 W的亞納秒激光器。

03 玻璃的激光表面毛化處理或打標

出乎意料的是，與用于銅質(zhì)材料幾乎相同的參數(shù)也可應(yīng)用于無涂層硼硅酸鹽玻璃上下層表面的打標。這進一步支持了有關(guān)非線性吸收是由于高峰值功率光纖激光器的影響而產(chǎn)生的假說。檢查劃片區(qū)，可以看到“龜裂”情況非常有限，裂紋<10μm，表面粗糙度<5μmRa。其中，玻璃表面的反射率可以通過改變掃描參數(shù)進行嚴密控制。

討論及總結(jié)

本文探索了如何量化激光打標和表面毛化處理，并使用這些技術(shù)對鋁材進行激光打標。對更具挑戰(zhàn)性的銅材和無涂層玻璃表面進行打標的技術(shù)表明，未來還將會有適用于范圍更廣泛的表面結(jié)構(gòu)的工藝應(yīng)用出現(xiàn)。

銅金屬之間或與其它金屬之間的激光焊接一直是低功率熱傳導(dǎo)焊接領(lǐng)域的一項難題，這是因為同時存在固有的高反射率和擴散系數(shù)，以及不一致的原生表面氧化層。事實表明，這種深色打標技術(shù)在焊接銅時，可以提高一致性。作為正在進行的研究的一部分，通過激光束來改善和規(guī)范表面吸收性，這些精細構(gòu)造也可以提高銅或鋁與 其它不同金屬之間的結(jié)合。

在相關(guān)案例中，采用了同樣的亞納秒激光器對金屬進行激光預(yù)處理，以便其隨后可與透射性聚合物粘合在一起。激光清潔表面所具有的優(yōu)勢，例如因激光預(yù)處理導(dǎo)致的表面積增加以及局部的激光加熱，促使特定金屬-聚合物組合的結(jié)合可輕松達到基材的強度水平。

審核編輯 黃昊宇