10月15日，據國外媒體報道，目前全球頂尖的光刻機生產商ASML正在研發(fā)第三款EUV光刻機，并計劃于明年年中出貨。

從其所公布的信息來看，新款光刻機型號命名為TWINSCAN NXE:3600D，相比上一代產品，新款EUV光刻機生產效率將提升18%，曝光速度為30mj/cm2，每小時可處理160片晶圓。

有意思的是，在2019年的年報中，ASML便提到正在研發(fā)新一代EUV光刻機的計劃，不過并未透露具體型號，只是披露將在2022年初計劃出貨，2024年后大規(guī)模生產。而此次所公布的EUV光刻機如果是2019年財報中提到的那款，那么這款光刻機發(fā)布的計劃意味著已經提前了。

據ASML公布的2020年第三季度財報來看，第三季度銷售額為40億歐元，凈利潤11億歐元，毛利率為47.5%，凈利潤為27.5%，新增訂單為29億歐元，其中有5.95億歐元來自4臺EUV設備，平均售價為1.48億歐元。

EUV光刻機是當前7nm工藝以下必不可少的設備，全球僅有ASML能夠供應，且僅有臺積電和三星掌握了7nm制程以下的芯片制作。

當前ASML所售出的兩款EUV光刻機型號分別為TWINSCAN NXE:3400B和TWINSCAN NXE:3400C，均采用13.5nm極紫外光源，曝光速度為20mj/cm2，每小時處理125片晶圓。

有意思的是，作為與臺積電激烈競爭的三星，近日被韓媒報道稱，三星電子副會長李在镕證實，已經正在與ASML進行談判，以推進與ASML的業(yè)務關系。

而幾個月之前，三星便已經宣布，正在致力于開發(fā)EUV掃描技術，此次三星太子李在镕前往荷蘭ASML，也是為了探討如何發(fā)展EUV技術。游俠西城，李在镕參觀了EUV設備的生產線。

顯然，從目前來看，三星已經提前介入了下一代EUV技術的爭奪當中，面對三星的出招，臺積電方面又會如何應對呢？

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