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MEMS運(yùn)動傳感器原理

工程師 ? 來源:傳感器技術(shù) ? 作者:凌霄 ? 2020-10-19 11:45 ? 次閱讀
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人體運(yùn)動分析是指通過一定的方法對人的運(yùn)動進(jìn)行捕捉和記錄,用于定量描述、分析和評價(jià)人的運(yùn)動的一門學(xué)科。人體運(yùn)動分析主要是使用運(yùn)動捕捉系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動跟蹤和行為識別兩大主要任務(wù),其中慣性式運(yùn)動捕捉系統(tǒng)主要采用MEMS傳感器。

MEMS傳感器作為一種采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器,具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生產(chǎn)等特點(diǎn),在慣性式運(yùn)動捕捉技術(shù)中發(fā)揮了重要作用。

慣性式運(yùn)動捕捉系統(tǒng)中測量人體運(yùn)動的慣性傳感器,也稱之為運(yùn)動傳感器,捕捉和識別身體不同部位的運(yùn)動狀態(tài),可以布置在頭部、上肢、下肢、手部等多個(gè)部位。慣性傳感器主要包括加速度計(jì)、陀螺儀、磁力計(jì),在實(shí)際應(yīng)用中,采集的傳感數(shù)據(jù)需經(jīng)過校準(zhǔn)、誤差檢測和補(bǔ)償、數(shù)據(jù)融合后,用于分析和跟蹤人體運(yùn)動。

運(yùn)動傳感器原理

1.MEMS加速度計(jì)原理

MEMS加速度計(jì)分為三種:壓電式、容感式、熱感式。壓電式MEMS加速度計(jì)運(yùn)用的是壓電效應(yīng),在其內(nèi)部有一個(gè)剛體支撐的質(zhì)量塊,有運(yùn)動的情況下質(zhì)量塊會產(chǎn)生壓力,剛體產(chǎn)生應(yīng)變,把加速度轉(zhuǎn)變成電信號輸出。容感式MEMS加速度計(jì)內(nèi)部也存在一個(gè)質(zhì)量塊,從單個(gè)單元來看,它是標(biāo)準(zhǔn)的平板電容器。加速度的變化帶動活動質(zhì)量塊的移動從而改變平板電容兩極的間距和正對面積,通過測量電容變化量來計(jì)算加速度。熱感式MEMS加速度計(jì)內(nèi)部沒有任何質(zhì)量塊,它的中央有一個(gè)加熱體,周邊是溫度傳感器,里面是密閉的氣腔,工作時(shí)在加熱體的作用下,氣體在內(nèi)部形成一個(gè)熱氣團(tuán),熱氣團(tuán)的比重和周圍的冷氣是有差異的,通過慣性熱氣團(tuán)的移動形成的熱場變化讓感應(yīng)器感應(yīng)到加速度值。

由于壓電式MEMS加速度計(jì)內(nèi)部有剛體支撐的存在,通常情況下,壓電式MEMS加速度計(jì)只能感應(yīng)到“動態(tài)”加速度,而不能感應(yīng)到“靜態(tài)”加速度,也就是我們所說的重力加速度。而容感式和熱感式既能感應(yīng)“動態(tài)”加速度,又能感應(yīng)“靜態(tài)”加速度。

2.MEMS陀螺儀原理

MEMS陀螺儀利用科里奧利力——旋轉(zhuǎn)物體在有徑向運(yùn)動時(shí)所受到的切向力。實(shí)際的

MEMS陀螺儀的設(shè)計(jì)如下圖。如果物體在圓盤上沒有徑向運(yùn)動,科里奧利力就不會產(chǎn)生。因此,在MEMS陀螺儀的設(shè)計(jì)上,這個(gè)物體被驅(qū)動,不停地來回做徑向運(yùn)動或者震蕩,與此對應(yīng)的科里奧利力就是不停地在橫向來回變化,并有可能使物體在橫向作微小震蕩,相位正好與驅(qū)動力差90度。

MEMS陀螺儀通常有兩個(gè)方向的可移動電容板。徑向的電容板加震蕩電壓迫使物體作

徑向運(yùn)動,橫向的電容板測量由于橫向科里奧利運(yùn)動帶來的電容變化。因?yàn)榭评飱W利力正比于角速度,所以由電容的變化可以計(jì)算出角速度。

3.MEMS磁力計(jì)工作原理

MEMS磁力計(jì)就是通過測量磁場強(qiáng)度和方向來定位設(shè)備的方位的傳感器。磁傳感器就

是感應(yīng)環(huán)境磁場的變化,并把它轉(zhuǎn)換為電信號,從而測量出對應(yīng)物理量的器件,主要應(yīng)用在電子羅盤、磁場感應(yīng)器、位置感應(yīng)器等方案中。磁場的測量可以利用霍爾效應(yīng)、磁阻效應(yīng)、電磁感應(yīng)效應(yīng)等原理。根據(jù)不同的原理可以制成多種MEMS磁力計(jì)。磁傳感器廣泛采用AMR材料(AnisotropicMagneto-Resistance),如鐵、鈷、鎳及其合金等,指當(dāng)外部磁場與磁體內(nèi)建磁場方向成零度角時(shí),電阻是不會隨著外加磁場強(qiáng)度變化而發(fā)生改變的,但當(dāng)外部磁場與磁體的內(nèi)建磁場有一定角度的時(shí)候,磁體內(nèi)部磁化矢量會偏移,從而磁場方向和電流方向也會隨之變化,導(dǎo)致電阻阻值也將發(fā)生變化。

從下圖中可知,當(dāng)電流方向和磁體內(nèi)磁化方向成45度角度時(shí),外部磁場給磁阻所引起

的電阻變化呈現(xiàn)出的是線性關(guān)系,所以磁傳感器在沒有外部磁力影響時(shí)候的初始角度設(shè)定為45度,利用這個(gè)線性關(guān)系再通過惠斯通電橋即可得到外界磁場值。

人體運(yùn)動系統(tǒng)分類應(yīng)用

人體運(yùn)動系統(tǒng)的應(yīng)用范圍較廣,根據(jù)其研究分析的主體,主要劃分為全身運(yùn)動分析系統(tǒng)

和專用運(yùn)動分析系統(tǒng)。

全身運(yùn)動分析系統(tǒng)是指在人體全身各主要部位的關(guān)鍵點(diǎn)布置運(yùn)動傳感器,捕捉分析人體

各部位姿態(tài)和位置信息。常見的全身運(yùn)動分析系統(tǒng)有荷蘭XSens科技公司的XSensMVN系統(tǒng),英國Animazoo捕捉系統(tǒng)、北京孚心科技的FOHEART Leo動作捕捉套裝。

1)XSensMVN:

XSensMVN套裝是XSens的一個(gè)重要產(chǎn)品,MVN慣性動作捕捉系統(tǒng),如下圖所示,以獨(dú)特的微型慣性運(yùn)動傳輸傳感器(MTx)和無線Xbus 系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合了符合生物力學(xué)設(shè)計(jì)的高效傳感器等Xsens最新科技,能夠?qū)崟r(shí)捕捉人體6自由度的慣性運(yùn)動,同時(shí)將數(shù)據(jù)通過無線網(wǎng)絡(luò)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)或筆記本電腦中,實(shí)時(shí)記錄和查看動態(tài)捕捉效果。另外,該系統(tǒng)最獨(dú)特之處在于無需外部照相機(jī)和發(fā)射器等裝置,避免了多余的數(shù)據(jù)傳輸線或電源線對使用者的行動限制。MVN套裝,己經(jīng)進(jìn)入了電影制作和電子游戲產(chǎn)業(yè),可以不受環(huán)境光線與空間距離的限制,純凈的動作捕捉數(shù)據(jù)不需要進(jìn)行后處理即可錄制完成,非常適用于各種實(shí)時(shí)的表演應(yīng)用。XSens 的產(chǎn)品主要針對多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域,如,動畫、醫(yī)學(xué)、體育科學(xué)等。

2)Animazoo:

Animazoo是一個(gè)面向開發(fā)人員的、動畫驅(qū)動的動作捕捉的軟硬件系統(tǒng)。它針對不同的應(yīng)用領(lǐng)域提供定制的運(yùn)動捕捉解決方案,價(jià)格和性能也因應(yīng)用領(lǐng)域和方式而各不相同。AnimazooIGS-190-M物理慣性動作捕捉系統(tǒng)安裝簡單,小巧易存,且適合于戶外應(yīng)用環(huán)境。除了這些與其它慣性系統(tǒng)類似的特點(diǎn)外,AnimazooIGS-190-M與

其它物理慣性動作捕捉系統(tǒng)的最大區(qū)別在于其能夠與硬件同步,可以對模特髖部進(jìn)行跟蹤并提供整體定位數(shù)據(jù)(6自由度),這些功能都是普通慣性系統(tǒng)所缺少的。Animazoo公司開發(fā)的超聲波跟蹤系統(tǒng)為聲納三角測量裝置,與“AnimazooIGS-190-M物理慣性動作捕捉”連接后,可將AnimazooIGS-190-M升級為“IGS-190-H物理慣性動作捕捉”。聲納裝置發(fā)射的定位數(shù)據(jù)在電視直播、多演員表演中,尤其是可作為指南,對后期制作的光學(xué)性能數(shù)據(jù)進(jìn)行清潔,消除模糊不清有著重要作用。

3)FOHEARTLeo動作捕捉套裝:

FOHEARTLeo是北京孚心科技的一款產(chǎn)品,包含33個(gè)節(jié)點(diǎn)覆蓋全身,其中手部和手臂可以連接hub單獨(dú)進(jìn)行使用,用于捕捉手臂及手指的動作數(shù)據(jù),如下圖所示。其中,手部節(jié)點(diǎn)尺寸約12mm,10個(gè)節(jié)點(diǎn)可全方位覆蓋手部的活動節(jié)點(diǎn),捕捉較為精準(zhǔn)。

專用運(yùn)動分析系統(tǒng)通常只包含幾個(gè)運(yùn)動傳感器,安裝在人體特定的某些身體部位,如頭

部、手臂、下肢等,監(jiān)測相應(yīng)的運(yùn)動特征和狀態(tài),可以將其主要劃分為上半身和下半身的運(yùn)動分析。

1)上半身運(yùn)動分析:

上半身運(yùn)動分析主要是針對使用者的頭部,雙臂,手部等部位進(jìn)行運(yùn)動捕捉和監(jiān)測。通過運(yùn)動傳感器追蹤頭部運(yùn)動,獲取虛擬現(xiàn)實(shí)(AR/VR)和遠(yuǎn)程操作那個(gè)中所需的頭部信息;將多個(gè)慣性傳感器安置在雙臂,捕捉雙臂運(yùn)動姿態(tài),可用于運(yùn)動訓(xùn)練中的矯正和監(jiān)測;數(shù)據(jù)手套可用于檢測手指彎曲,利用磁定位傳感器來精確地定位出手在三維空間中的位置,可進(jìn)行虛擬場景中物體的抓取、移動、旋轉(zhuǎn)等動作,為虛擬現(xiàn)實(shí)系統(tǒng)提供了一種全新的交互手段;腰部的運(yùn)動傳感器可以實(shí)現(xiàn)對人的重心的監(jiān)測,可應(yīng)用于跌倒檢測。

2)下半身運(yùn)動分析:

下半身運(yùn)動分析主要是針對使用者的骨盆、大腿、小腿和腳部等部位進(jìn)行運(yùn)動捕捉和分析。將運(yùn)動傳感器綁在小腿上,利用運(yùn)動算法可以估算行走速度;足部的運(yùn)動傳感器可以實(shí)現(xiàn)對行走過程中的步態(tài)參數(shù)進(jìn)行監(jiān)測。除了單一種類傳感器的運(yùn)用,慣性傳感器可結(jié)合壓力傳感器、超聲波傳感器、反饋裝置等,測量步長、抬腳高度、步寬、足部軌跡等,并獲取相應(yīng)的反饋,用于步態(tài)分析。

運(yùn)動傳感器數(shù)據(jù)處理和融合

對慣性傳感器的應(yīng)用包括初始校準(zhǔn)、數(shù)據(jù)處理和融合等。MEMS加速度計(jì)可以測量載

體在三軸方向上的加速度,并可計(jì)算相應(yīng)的速度,其在靜態(tài)時(shí)測量精度較高,在動態(tài)運(yùn)動中存在線性加速度的干擾。MEMS陀螺儀可測量高速轉(zhuǎn)動下的轉(zhuǎn)動角速度,進(jìn)一步運(yùn)算可得角度信息,其擁有良好的動態(tài)響應(yīng)性,但是隨著時(shí)間的累積,會產(chǎn)生累積誤差,發(fā)生漂移。三軸磁力計(jì)通過感應(yīng)當(dāng)?shù)氐拇艌鐾坑?jì)算載體方位姿態(tài),所在地球磁場恒定不變時(shí),磁力計(jì)在靜態(tài)下有良好的測量特性,不易隨時(shí)間發(fā)生漂移,但是室內(nèi)環(huán)境中磁力計(jì)容易受到鐵磁擾動。因此,為獲得人體位姿估計(jì)的結(jié)果,須解決兩個(gè)關(guān)鍵問題:1)對傳感器的誤差進(jìn)行補(bǔ)償和校正;2)采用合適的算法融合各傳感器數(shù)據(jù)。

1.傳感器誤差

從加速度計(jì)、陀螺儀、磁力計(jì)的角度出發(fā),傳感器誤差的來源主要是隨機(jī)漂移、線性加

速度干擾和磁力計(jì)擾動。

(1)隨機(jī)漂移

隨機(jī)漂移主要來源于加速度計(jì)和陀螺儀,可以將隨機(jī)漂移進(jìn)行相應(yīng)的建模,使用卡爾曼

濾波器等進(jìn)行在線估計(jì),從而實(shí)時(shí)補(bǔ)償該隨機(jī)漂移。

(2)線性加速度

在跟蹤人體運(yùn)動時(shí),加速度計(jì)通常處于動態(tài)環(huán)境中,當(dāng)人體運(yùn)動的加速度相對于重力加

速度無法忽略時(shí),此時(shí)根據(jù)加速度計(jì)測量值計(jì)算出的俯仰角和橫滾角會與真實(shí)值存在較大的誤差,如果不對線性加速度計(jì)加以補(bǔ)償,就會引起動態(tài)精度的下降。為解決該類問題,可以將線性加速度擴(kuò)張成系統(tǒng)的狀態(tài)變量,通過各種濾波方法進(jìn)行估計(jì),一方面可以對線性加速度分量和重力加速度分量進(jìn)行處理,另一方面根據(jù)線性加速度的大小自適應(yīng)調(diào)整加速度計(jì)量測噪聲方差的大小。

(3)磁力計(jì)擾動

當(dāng)周圍存在磁場干擾時(shí),特別是在室內(nèi)環(huán)境中磁力計(jì)的測量精度會受到很大的影響。磁

場干擾可分為硬鐵干擾和軟鐵干擾。硬鐵干擾產(chǎn)生于永久磁鐵,這些干擾源的大小及與磁力計(jì)的相對位置固定,一般假設(shè)不變,可做零偏處理。軟鐵干擾來自于磁力計(jì)附近的其余磁性材料的影響,軟鐵干擾一般是時(shí)變的擾動。針對時(shí)變擾動,可以采用基于閾值的方法或者基于模型的方法。

2.數(shù)據(jù)融合

人體運(yùn)動跟蹤通過對信息的采集、坐標(biāo)系的變換,得到人體位姿估計(jì)的結(jié)果。然而,單

個(gè)傳感器由于受到噪聲干擾等影響,往往導(dǎo)致姿態(tài)跟蹤精度較低。因此,多傳感器信息融合成為提高姿態(tài)跟蹤精度的良好途徑。人體運(yùn)動跟蹤中最常采用的數(shù)據(jù)融合方法是互補(bǔ)濾波器和卡爾曼濾波器。隨著微型芯片計(jì)算能力的提高,粒子濾波等數(shù)據(jù)融合方法也逐漸被用于在線估計(jì)人體的姿態(tài)。

(1)互補(bǔ)濾波

加速度計(jì)和磁力計(jì)容易受到高頻噪聲的干擾,陀螺儀容易受到隨機(jī)漂移等低頻噪聲的干

擾,互補(bǔ)濾波器就是將加速度計(jì)和磁力計(jì)測量的靜態(tài)姿態(tài)通過低通濾波器去除高頻分量,將陀螺儀測量的動態(tài)姿態(tài)通過高通濾波器去除低頻分量,從而實(shí)現(xiàn)姿態(tài)信息的融合估計(jì)。

(2)卡爾曼濾波

卡爾曼濾波包括線性卡爾曼濾波、擴(kuò)展卡爾曼濾波、無跡卡爾曼濾波等。下圖所示為卡

爾曼濾波過程解析圖??柭鼮V波的核心過程可以劃分為兩個(gè)部分:時(shí)間更新,即對下一步的狀態(tài)變量進(jìn)行預(yù)測;測量更新,即根據(jù)測量值對預(yù)測值進(jìn)行一定的修正,得到估算值。通過設(shè)計(jì)不同的狀態(tài)變量和觀測量,可以衍生出各種具有不同特點(diǎn)的姿態(tài)算法。

(3)粒子濾波

粒子濾波算法的核心思想是利用一系列隨機(jī)樣本的加權(quán)和近似后驗(yàn)概率密度函數(shù),通過

求和來近似積分操作。該算法源于蒙特卡洛思想,即以某事件出現(xiàn)的頻率來表示該事件的概率。因此在濾波過程中,需要用到概率的地方,對變量采樣,以大量采樣及其相應(yīng)的權(quán)值來近似表示概率密度函數(shù)。

基于慣性傳感器的人體運(yùn)動分析技術(shù),借助穿戴在身體各部位的MEMS傳感器,通過數(shù)據(jù)處理、融合和姿態(tài)解算方法可實(shí)時(shí)跟蹤分析人體運(yùn)動姿態(tài),其在康復(fù)治療、影視制作、體育訓(xùn)練等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用,未來在開展基于慣性傳感器的人體運(yùn)動分析時(shí),傳感器和算法依舊是研究的重點(diǎn)。

參考資料:

1.基于慣性傳感器的運(yùn)動感知機(jī)制研究

2.面向人體運(yùn)動跟蹤的IMU_TOA融合定位模型與性能優(yōu)化研究

3.人體運(yùn)動姿態(tài)傳感器抗磁場和大加速度干擾的方法及其步態(tài)分析應(yīng)用研究

4.Effective Adaptive Kalman Filter for MEMS-IMU/Magnetometers Integrated Attitude and Heading Reference Systems

5.A Review of Accelerometer Sensor and Gyroscope Sensor in IMU Sensors on Motion Capture

作者:凌霄

浙江大學(xué)機(jī)械電子專業(yè)博士,從事智能傳感與人機(jī)交互,智能機(jī)器人控制等領(lǐng)域的研究

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    發(fā)布于 :2025年01月20日 17:01:09

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    工業(yè)控制到物聯(lián)網(wǎng),MEMS傳感器的身影無處不在。本文將深入探討五種應(yīng)用最廣泛的MEMS傳感器,以期為相關(guān)從業(yè)者提供有價(jià)值的參考。 ? 一、加速度傳感
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    MEMS和傳統(tǒng)傳感器的區(qū)別

    在現(xiàn)代科技領(lǐng)域,傳感器技術(shù)是實(shí)現(xiàn)智能化和自動化的關(guān)鍵。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,MEMS(微電機(jī)系統(tǒng))傳感器作為一種新型傳感器技術(shù),與傳統(tǒng)傳感器
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    如何選擇合適的MEMS傳感器

    在現(xiàn)代技術(shù)中,MEMS傳感器因其小尺寸、低成本和高集成度而變得越來越重要。它們廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、汽車、醫(yī)療設(shè)備和工業(yè)自動化等領(lǐng)域。選擇合適的MEMS傳感器對于確保系統(tǒng)性能和可靠性至關(guān)
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    MEMS傳感器應(yīng)用領(lǐng)域 MEMS技術(shù)在智能手機(jī)中的應(yīng)用

    MEMS傳感器,即微型傳感器,是將機(jī)械結(jié)構(gòu)和電子電路集成在一塊硅片上的高科技裝置。其應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,特別是在智能手機(jī)中的應(yīng)用尤為突出。以下是對MEMS
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    mems傳感器在汽車電子上的應(yīng)用有哪些

    MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))傳感器在汽車電子領(lǐng)域的應(yīng)用廣泛且深入,它們以其微小但功能強(qiáng)大的特性,為現(xiàn)代汽車的安全性、性能和舒適性提供了重要保障。 一、MEMS傳感器在汽車電子中的應(yīng)用概述
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    mems傳感器是什么意思_mems傳感器原理是什么

    MEMS傳感器是一種微型電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems)傳感器,它將傳感器和微機(jī)電系統(tǒng)集成在一起,利用微納技術(shù)實(shí)現(xiàn)微型化。這種
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