我國計劃把大力支持發(fā)展的第三代半導體產(chǎn)業(yè)，寫入正在制定中的“十四五”規(guī)劃，在教育、科研、開發(fā)、融資、應用等各個方面，大力支持發(fā)展第三代半導體產(chǎn)業(yè)。在這個背景下，深圳市納設智能裝備有限公司（簡稱“納設智能”）近日完成了數(shù)千萬元天使輪融資，由東方富海管理的中小企業(yè)發(fā)展基金（深圳南山有限合伙）及老股東深圳嘉遠資本聯(lián)合投資。本輪融資資金將用于第三代半導體碳化硅化學氣相沉積外延設備（簡稱“碳化硅外延爐”）的產(chǎn)品研發(fā)、工藝驗證、市場推廣以及技術團隊擴建。

納設智能成立于2018年10月，坐落在深圳市光明區(qū)留學人員創(chuàng)業(yè)園，近期已通過國家高新技術企業(yè)初步認定。公司擁有一支包括頂級科學家在內的研發(fā)團隊，致力于第三代半導體等先進材料領域的高端裝備制造。

納設智能專注于碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈里關鍵的碳化硅外延爐，此設備的關鍵難點就是溫度高，需要達到接近1700℃, 需要的反應室材料、溫度控制、氣體控制、防污染、工藝等都是面臨的挑戰(zhàn)，而納設智能團隊已掌握相應的自主創(chuàng)新的技術解決方案，可以實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。公司研發(fā)團隊的主要行業(yè)經(jīng)驗包括MOCVD設備、刻蝕設備以及納米材料等多款半導體設備和工藝開發(fā)及市場推廣，具有深厚的技術積累和豐富的行業(yè)資源；在先進設備的產(chǎn)品化和市場化推廣方面擁有平均十年以上的實戰(zhàn)經(jīng)驗。2019年，團隊成立僅一年便成功完成4臺設備的設計組裝及調試，其中包括中國首臺開放式卷對卷石墨烯化學氣相沉積設備，實現(xiàn)了開放條件下，24小時連續(xù)不間斷生產(chǎn)石墨烯、碳納米管等先進薄膜材料，該技術實現(xiàn)了全球最低CVD石墨烯薄膜的生產(chǎn)成本；另外也銷售了三臺科研級CVD設備。

本輪融資資金將支持納設智能的技術團隊實現(xiàn)第三代半導體碳化硅高溫化學氣相沉積外延設備的高質量產(chǎn)業(yè)化，以滿足第三代半導體產(chǎn)業(yè)規(guī)模爆發(fā)式增長和技術升級自主可控的重大需求，助力攻關新材料先進裝備的核心技術難點，研制國內領先世界一流的碳化硅外延設備，實現(xiàn)下游產(chǎn)業(yè)化應用。同時，納設智能也在不斷擴大團隊規(guī)模，吸納培養(yǎng)更多的半導體專業(yè)技術研發(fā)人員，打造一流的人才聚集地。

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