光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造中的核心裝備，其中包含了數(shù)以萬(wàn)計(jì)的精密零件，被譽(yù)為“半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的一顆明珠”。

但這顆明珠卻長(zhǎng)期為荷蘭阿斯麥（ASML）公司所壟斷，由于稀缺，一臺(tái)光刻機(jī)的售價(jià)可賣到數(shù)千萬(wàn)美元甚至過(guò)億美元。對(duì)于5nm、7nm等高端芯片制造工藝，沒(méi)人可以繞開ASML進(jìn)行生產(chǎn)。

近日，在第三屆上海進(jìn)出口商品交易會(huì)上，ASML全球副總裁、中國(guó)區(qū)總裁沈波在接受采訪時(shí)透露，這些年來(lái)，他們已經(jīng)為中國(guó)的半導(dǎo)體客戶積累了700多臺(tái)裝機(jī)。第一臺(tái)光刻機(jī)于1988年進(jìn)入中國(guó)，距今已有32年。

根據(jù)ASML的財(cái)務(wù)報(bào)告，在今年第二季度和第三季度，該公司向國(guó)內(nèi)地區(qū)銷售的光刻機(jī)占全球銷量的20%。目前，ASML已在中國(guó)設(shè)有12個(gè)辦事處，11個(gè)倉(cāng)儲(chǔ)和物流中心，2個(gè)開發(fā)中心和1個(gè)培訓(xùn)中心，共有1000多名員工。

國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的缺失，不僅意味著每年中國(guó)企業(yè)要付出巨大代價(jià)去采購(gòu)?fù)鈬?guó)產(chǎn)品，更代表了半導(dǎo)體工業(yè)已經(jīng)將自己的“命脈”拱手讓人。

那么中國(guó)為什么造不出自己的光刻機(jī)？中國(guó)的高端半導(dǎo)體設(shè)備究竟差在哪里？

前瞻產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2020年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)研究報(bào)告》指出，光刻機(jī)發(fā)展至今，已經(jīng)歷了5代產(chǎn)品的迭代，目前第五代EUV光刻機(jī)是未來(lái)光刻機(jī)技術(shù)發(fā)展的主要方向，目前ASML是全世界唯一一家能夠設(shè)計(jì)和制造EUV設(shè)備的廠商。

從中國(guó)市場(chǎng)來(lái)看，上海微電子裝備有限公司（SMEE）是我國(guó)國(guó)內(nèi)唯一能夠做光刻機(jī)的企業(yè)，其已經(jīng)量產(chǎn)的光刻機(jī)中，性能最好的能夠達(dá)到90nm的制程工藝。

但值得一提的是，在光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)的上下游，不乏國(guó)產(chǎn)企業(yè)的身影。

盡管我國(guó)光刻機(jī)的發(fā)展與國(guó)際領(lǐng)先水平有著不小差距，但在半導(dǎo)體設(shè)備的其它細(xì)分領(lǐng)域已有了較大進(jìn)展。

從國(guó)內(nèi)市場(chǎng)來(lái)看，刻蝕機(jī)是我國(guó)最具優(yōu)勢(shì)的半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，也是國(guó)產(chǎn)替代占比最高的重要半導(dǎo)體設(shè)備之一。目前我國(guó)主流設(shè)備中，去膠設(shè)備、刻蝕設(shè)備、熱處理設(shè)備、清洗設(shè)備等的國(guó)產(chǎn)化率均已經(jīng)達(dá)到20%以上。

那么目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的國(guó)產(chǎn)替代化究竟發(fā)展到了什么程度？

據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究員分析，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備已經(jīng)形成系列化布局，以北方華創(chuàng)等為代表的龍頭公司正在加緊布局設(shè)備國(guó)產(chǎn)替代。

目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)在刻蝕、薄膜沉積、離子注入、光學(xué)測(cè)量、研磨拋光、清洗設(shè)備等主要設(shè)備均有布局，客戶的接受度也不斷增強(qiáng)，包括中微半導(dǎo)體的介質(zhì)刻蝕機(jī)、北方華創(chuàng)的硅刻蝕機(jī)、PCV設(shè)備，上海盛美的清洗設(shè)備等國(guó)產(chǎn)12英寸設(shè)備已經(jīng)在生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)批量應(yīng)用。另外，一部分應(yīng)用于14nm的國(guó)產(chǎn)設(shè)備也開始進(jìn)入生產(chǎn)線步入驗(yàn)證。

半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)是半導(dǎo)體芯片制造的基石，半導(dǎo)體不僅與信息安全的發(fā)展進(jìn)程息息相關(guān)，其價(jià)值鏈更具有放大效應(yīng)。根據(jù)國(guó)際貨幣基金組織測(cè)算，每1美元半導(dǎo)體芯片的產(chǎn)值可帶動(dòng)相關(guān)電子信息產(chǎn)業(yè)10美元產(chǎn)值，并帶來(lái)100美元的GDP。

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