MEMS全稱Micro Electromechanical System（微機(jī)電系統(tǒng)），是一種通常在硅晶圓上以IC工藝制備的微機(jī)電系統(tǒng)，微機(jī)械結(jié)構(gòu)的制備工藝包括光刻、離子束刻蝕、化學(xué)腐蝕、晶片鍵合等，同時(shí)在機(jī)械結(jié)構(gòu)上制備了電極，以便通過電子技術(shù)進(jìn)行控制。

生活中有哪些MEMS器件？

第一個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)的MEMS馬達(dá)于1988年誕生于加州大學(xué)伯克利分校，如圖1所示；之后于1989年，美國桑迪亞國家實(shí)驗(yàn)室研制了第一個(gè)橫向梳齒驅(qū)動(dòng)器，微機(jī)械結(jié)構(gòu)可以在垂直于表面的方向移動(dòng)。

圖．1 加州大學(xué)伯克利分校研制的第一個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)的MEMS馬達(dá)

圖．2 美國桑迪亞國家實(shí)驗(yàn)室研制的第一個(gè)橫向梳齒驅(qū)動(dòng)器

經(jīng)過30年的發(fā)展，MEMS器件已經(jīng)滲透于我們的生活之中。轉(zhuǎn)屏是智能手機(jī)中的一項(xiàng)基本功能，如圖．3所示，這項(xiàng)功能是通過MEMS陀螺儀來實(shí)現(xiàn)的。圖．4展示了傳統(tǒng)機(jī)械陀螺儀與MEMS陀螺儀的對(duì)比，后者比前者小得多，因而得以在智能手機(jī)和平板電腦中廣泛應(yīng)用。如圖．5所示，出于安全考慮，氣囊是汽車中的必備裝備，它們會(huì)在發(fā)生撞車時(shí)自動(dòng)充氣膨脹，保護(hù)乘客的安全。安全氣囊對(duì)撞車事件的迅速檢測(cè)得益于其中的MEMS器件，圖．6展示了MEMS加速度計(jì)的芯片結(jié)構(gòu)。用于傳感檢測(cè)的MEMS芯片和用于控制的IC芯片通常混合集成在一個(gè)殼體里面。此外，MEMS技術(shù)在生活中的其他應(yīng)用包括MEMS麥克風(fēng)、MEMS投影儀、MEMS壓力傳感器，等等。

圖．3 MEMS陀螺儀在智能手機(jī)中的應(yīng)用—轉(zhuǎn)屏功能

圖．4 傳統(tǒng)的機(jī)械陀螺儀（左）與MEMS陀螺儀（右）

圖．5 汽車中的安全氣囊（內(nèi)有MEMS器件）