近年來(lái)，隨著電子工業(yè)的快速發(fā)展，電子氣體在半導(dǎo)體行業(yè)中的地位日益突出。半導(dǎo)體工業(yè)中使用的氣體統(tǒng)稱(chēng)為電子氣體。在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中，從芯片生長(zhǎng)到最終器件封裝，幾乎每一步每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開(kāi)電子氣。電子氣的成本占ic材料總成本的5％～6％。電子氣的純度對(duì)芯片質(zhì)量有很大影響。

電子氣體按種類(lèi)可分為純氣體、高純氣體和半導(dǎo)體特種氣體。半導(dǎo)體專(zhuān)用氣體按純度等級(jí)和應(yīng)用場(chǎng)合可分為電子級(jí)、LSI（大規(guī)模集成電路）級(jí)、VLSI（超大規(guī)模集成電路）級(jí)和ULSI（超大規(guī)模集成電路）級(jí)。

其中，高純氣體多用于超大規(guī)模集成電路和分離器件、光電子等高科技領(lǐng)域，包括氧、氮、氫、氦、氬等。特殊氣體主要用于外延、摻雜和刻蝕工藝。這種電子氣體主要分為氫化物、氟化物和氟碳化合物。

以氮?dú)鉃槔?，氮?dú)庥糜谇逑词痔紫浠虬雽?dǎo)體室，以確保環(huán)境的純度。因?yàn)榈獨(dú)獗瓤諝庵兀瑫?huì)把空氣推出環(huán)境，從而形成缺氧狀態(tài)。這有利于半導(dǎo)體制造，因?yàn)樗梢源_保環(huán)境無(wú)菌，防止一些材料與氧氣相互作用。但是，如果在供氮過(guò)程中發(fā)生泄漏，空氣中的氧氣會(huì)減少，這種情況下，工人會(huì)因缺氧而有窒息的危險(xiǎn)。

而且大部分“保護(hù)氣體”無(wú)色無(wú)味，員工分不清是否有泄漏。因此，半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間必須安裝氧氣監(jiān)測(cè)儀來(lái)檢測(cè)氧氣含量，當(dāng)?shù)獨(dú)饣蛉魏纹渌麣怏w泄漏到工廠環(huán)境中時(shí)，氧氣監(jiān)測(cè)儀可以及時(shí)發(fā)出警報(bào)，可以使用氧氣變送器或者微量氧分析儀來(lái)監(jiān)測(cè)氧濃度。

美國(guó)Southland 氧氣變送器OMD－150，基于微處理的氧氣變送器，該氧氣變送器能夠根據(jù)具體的應(yīng)用需求配置成微量氧或者常量氧檢測(cè)。另外還有微量氧分析儀OMD507，采用具有世界先進(jìn)水平的燃料電池氧氣傳感器，電路設(shè)計(jì)上采用了智能微控制技術(shù)準(zhǔn)確度高、穩(wěn)定性好，使用壽命長(zhǎng)，功耗低，體積小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用和維護(hù)簡(jiǎn)便。

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