1月19日晚，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料公司晶瑞股份發(fā)表公告，宣稱(chēng)購(gòu)得ASML公司光刻機(jī)一臺(tái)，將用于高端光刻膠項(xiàng)目。

晶瑞表示，自公司開(kāi)展設(shè)備采購(gòu)活動(dòng)以來(lái)，受到投資者廣泛密切關(guān)注。

經(jīng)公司多方協(xié)商、積極運(yùn)作，順利購(gòu)得ASML XT1900 Gi型光刻機(jī)一臺(tái)。該設(shè)備于2021年1月19日運(yùn)抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發(fā)實(shí)驗(yàn)室。

下一步，公司將積極組織相關(guān)資源，盡快完成設(shè)備的安裝調(diào)試工作。

從晶瑞公司的信息來(lái)看，公司采購(gòu)的光刻機(jī)設(shè)備為ASML XT 1900 Gi型ArF浸入式光刻機(jī)，可用于研發(fā)最高分辨率達(dá)28nm的高端光刻膠。

此外，28nm級(jí)別的光刻機(jī)在ASML公司中并不算多先進(jìn)的型號(hào)了，官網(wǎng)上列出的沉浸式光刻機(jī)最舊的型號(hào)也是XT1965CI了，可用于20nm以下的工藝。

不過(guò)晶瑞公司購(gòu)買(mǎi)的這臺(tái)光刻機(jī)花了1102.5萬(wàn)美元，約合人民幣7129萬(wàn)元，價(jià)值不菲。

晶瑞公司表示，公司量產(chǎn)光刻膠近30年，組建了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的光刻膠研發(fā)團(tuán)隊(duì)，具有豐富的光刻膠研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，先后承擔(dān)了國(guó)家“85”攻關(guān)、“863”重大專(zhuān)項(xiàng)、科技部創(chuàng)新基金等科技項(xiàng)目、承擔(dān)了國(guó)家02重大專(zhuān)項(xiàng)“i線光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，并順利通過(guò)國(guó)家02重大專(zhuān)項(xiàng)驗(yàn)收。

公司完成中試的 KrF光刻膠已進(jìn)入客戶(hù)測(cè)試階段，達(dá)到0.15μm的分辨率。

本次購(gòu)買(mǎi)的 ASML光刻機(jī)設(shè)備系公司集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目的必要實(shí)驗(yàn)設(shè)備，旨在研發(fā)出更高端的 ArF 光刻膠，若研發(fā)工作進(jìn)展順利，將有助于公司將光刻膠產(chǎn)品序列實(shí)現(xiàn)到 ArF 光刻膠的跨越，并最終實(shí)現(xiàn)應(yīng)用于12英寸芯片制造的戰(zhàn)略布局。
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