受美國(guó)阻撓及新冠疫情影響，此前我國(guó)企業(yè)向ASML訂購(gòu)的EUV光刻機(jī)遲遲未能到貨。如今，中企有望在其他供應(yīng)商處找到轉(zhuǎn)機(jī)。

在耗時(shí)近4個(gè)月后，晶瑞股份斥資1102.5萬(wàn)美元（約合人民幣7129萬(wàn)元），從韓國(guó)代理商SK Hynix處購(gòu)買(mǎi)的二手ASML浸沒(méi)式光刻機(jī)（XT 1900Gi）已順利到貨。

據(jù)報(bào)道，該司預(yù)計(jì)2021年上半年完成設(shè)備的安裝調(diào)試，用于研發(fā)最高分辨率達(dá)28nm的高端光刻膠；并期望在3年內(nèi)完成ArF光刻膠產(chǎn)品相關(guān)技術(shù)參數(shù)及產(chǎn)品定型，實(shí)現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)。

所謂光刻膠，是一種對(duì)光敏感的有機(jī)混合物，主要應(yīng)用于芯片制造環(huán)節(jié)中微細(xì)圖形的加工。據(jù)晶瑞股份董事長(zhǎng)吳天舒介紹，該設(shè)備有利于解決我國(guó)在集成電路制造領(lǐng)域關(guān)鍵材料“卡脖子”難題，待光刻膠成功研發(fā)后，也將為國(guó)產(chǎn)12英寸芯片的制造提供重要材料。

雖然光刻膠研發(fā)難度比光刻機(jī)的難度要小，但在核心材料上，目前我國(guó)仍然需要從海外進(jìn)口。

而當(dāng)前全球光刻膠市場(chǎng)基本被歐盟以及日本等幾家大型企業(yè)壟斷，在關(guān)鍵材料領(lǐng)域，信越化學(xué)、合成橡膠、富士膠片等日企則掌握著主要話語(yǔ)權(quán)。

因此，近年來(lái)我國(guó)也一直試圖打破日本在光刻膠領(lǐng)域的壟斷，近年來(lái)已有晶瑞股份、南大光電、以及上海新陽(yáng)等中企入局。

南大光電發(fā)布公告稱，該司研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品已通過(guò)客戶使用認(rèn)證，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)第一只國(guó)產(chǎn)ArF光刻膠的誕生。

除了中企加速入局，“國(guó)家隊(duì)”也集中力量幫助該領(lǐng)域的發(fā)展。去年9月份，在華為被斷供一天后，中科院院長(zhǎng)白春禮表示，將把美國(guó)“卡脖子清單”變成我國(guó)科研任務(wù)清單進(jìn)行布局，集中全院的力量攻克難關(guān)。
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