2020年是跌宕起伏的一年，新型冠狀病毒肺炎（COVID-19）疫情、中美貿(mào)易爭(zhēng)端、單邊主義盛行等錯(cuò)綜復(fù)雜的全球形勢(shì)影響了各行各業(yè)，改變了人們的生活方式，甚至影響了我們對(duì)世界的看法。當(dāng)然，這些也對(duì)MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生了重要的影響。不過(guò)，困境中往往孕育著機(jī)遇，并不是所有的MEMS細(xì)分領(lǐng)域都在上述負(fù)面影響中掙扎。

例如，紅外探測(cè)器和微流控器件市場(chǎng)就在新冠肺炎大流行中獲得了現(xiàn)象級(jí)的大幅增長(zhǎng)。此外，疫情帶來(lái)的居家隔離、遠(yuǎn)程辦公，推動(dòng)了5G部署、“非接觸”語(yǔ)音交互以及數(shù)據(jù)中心等應(yīng)用發(fā)展，從而加速了射頻濾波器、MEMS振蕩器、MEMS麥克風(fēng)等器件的持續(xù)增長(zhǎng)；但是，由于消費(fèi)需求端的急劇萎縮，整體消費(fèi)類MEMS市場(chǎng)小幅下降2.6%，全球汽車市場(chǎng)猛踩剎車，使得這些市場(chǎng)相關(guān)的壓力傳感器、慣性傳感器需求下跌。

2019~2025年MEMS市場(chǎng)預(yù)測(cè)（按終端市場(chǎng)細(xì)分）（來(lái)源：Yole）

根據(jù)Yole預(yù)測(cè)，受新冠疫情等紛繁形勢(shì)的影響，2020年MEMS市場(chǎng)營(yíng)收年同比預(yù)計(jì)下降5.2%，其中消費(fèi)（-2.6%）、汽車（-27.5%）和通信（-20.5%）市場(chǎng)負(fù)增長(zhǎng)，工業(yè)（11.5%）、醫(yī)療（10.6%）、國(guó)防和航天（4.7%）市場(chǎng)繼續(xù)增長(zhǎng)?？傮w而言，2021年起預(yù)計(jì)將從陰霾中走出，到2025年全球MEMS市場(chǎng)規(guī)模將增長(zhǎng)至177億美元，2019~2025年期間的復(fù)合年增長(zhǎng)率為7.4%。

另一方面，新冠肺炎疫情確實(shí)阻礙了MEMS市場(chǎng)營(yíng)收的增長(zhǎng)，但卻并沒(méi)有影響MEMS技術(shù)和應(yīng)用的中長(zhǎng)期演進(jìn)趨勢(shì)。MEMS和傳感器仍在向著微型化、集成化、網(wǎng)絡(luò)化、低功耗以及智能化演進(jìn)，具體來(lái)說(shuō)有以下幾個(gè)發(fā)展趨勢(shì)：

（1）MEMS和傳感器呈現(xiàn)多項(xiàng)功能高度集成化和組合化的趨勢(shì)。由于設(shè)計(jì)空間、成本和功耗預(yù)算日益緊縮，在同一襯底上集成多種敏感元器件、制成能夠檢測(cè)多個(gè)參量的多功能組合MEMS傳感器成為重要解決方案。

（2）傳感器智能化及邊緣計(jì)算。軟件正成為MEMS傳感器的重要組成部分，隨著多種傳感器進(jìn)一步集成，越來(lái)越多的數(shù)據(jù)需要處理，軟件使得多種數(shù)據(jù)融合成為可能。MEMS產(chǎn)品發(fā)展必將從系統(tǒng)應(yīng)用的定義開(kāi)始，開(kāi)發(fā)具有軟件融合功能的智能傳感器，促進(jìn)人工智能在傳感器領(lǐng)域更廣闊的應(yīng)用。

（3）傳感器低功耗及自供能需求日趨增加。隨著物聯(lián)網(wǎng)等應(yīng)用對(duì)傳感需求的快速增長(zhǎng)，傳感器使用數(shù)量急劇增加，能耗也將隨之翻倍。降低傳感器功耗，采用環(huán)境能量收集實(shí)現(xiàn)自供能，增強(qiáng)續(xù)航能力的需求將會(huì)伴隨傳感器發(fā)展的始終，且日趨強(qiáng)烈。

（4）MEMS向NEMS演進(jìn)。隨著終端設(shè)備小型化、種類多樣化，推動(dòng)微電子加工技術(shù)特別是納米加工技術(shù)的快速發(fā)展，智能傳感器向更小尺寸演進(jìn)是大勢(shì)所趨。與MEMS類似，NEMS（納機(jī)電系統(tǒng)）是專注納米尺度領(lǐng)域的微納系統(tǒng)技術(shù)，只不過(guò)尺寸更小。

（5）新敏感材料的興起。薄膜型壓電材料具有更好的工藝一致性、更高的可靠性、更高的良率、更小的面積，可用于MEMS執(zhí)行器、揚(yáng)聲器、觸覺(jué)和觸摸界面等。未來(lái)MEMS器件的驅(qū)動(dòng)模式預(yù)計(jì)將從傳統(tǒng)的靜電梳齒驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)向壓電驅(qū)動(dòng)。

（6）更大的晶圓尺寸。相比于目前業(yè)界普遍應(yīng)用的6英寸、8英寸晶圓制造工藝，更大的晶圓尺寸能夠很大程度上降低成本、提高產(chǎn)量，并且晶圓尺寸的擴(kuò)大與芯片特征尺寸的縮小是相應(yīng)促進(jìn)和互相推動(dòng)的。例如，用12英寸晶圓工藝線制造的MEMS產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)。

MEMS及智能傳感器傳感器行業(yè)展覽推薦

ELEXCON深圳國(guó)際電子展暨嵌入式系統(tǒng)展將在2021年9月1-3日舉行，展會(huì)特設(shè)『 MEMS與傳感器專區(qū) 』，將匯聚國(guó)內(nèi)外行業(yè)龍頭展示MEMS研發(fā)、制造與封測(cè)，MEMS及智能傳感器包括：環(huán)境傳感器（MEMS麥克風(fēng)、壓力/溫濕度/氣體等傳感器）、MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器（加速度計(jì)、陀螺儀等）、生物傳感器、CMOS圖像傳感器、指紋傳感器、激光/毫米波傳感器等技術(shù)新品及方案。

接下來(lái)，讓我們管窺紅外、語(yǔ)音、氣體和運(yùn)動(dòng)（慣性）等熱門傳感器領(lǐng)域，聚焦這些領(lǐng)域的優(yōu)質(zhì)企業(yè)如何進(jìn)行MEMS和傳感器技術(shù)創(chuàng)新，重塑產(chǎn)業(yè)鏈。

01

中國(guó)紅外探測(cè)器廠商重塑全球產(chǎn)業(yè)新格局

新冠疫情“危中藏機(jī)”，疫情使紅外測(cè)溫槍、紅外熱像儀等無(wú)接觸快速測(cè)溫設(shè)備成為防疫剛需，紅外測(cè)溫以迅雷不及掩耳之勢(shì)覆蓋了全民生活，更成為全球疫情防控的決勝技術(shù)。中國(guó)紅外探測(cè)器廠商抓住機(jī)遇，在保障國(guó)內(nèi)疫情防控需求的同時(shí)遠(yuǎn)銷海外，獲得了全球客戶的廣泛認(rèn)可，代表“中國(guó)芯”參與全球抗疫。在此背景下，“中國(guó)牌”測(cè)溫產(chǎn)品及紅外探測(cè)器廠商的營(yíng)業(yè)收入和利潤(rùn)增長(zhǎng)顯著，出貨量遠(yuǎn)超去年同期，實(shí)現(xiàn)了跨越式大發(fā)展，重塑了全球紅外行業(yè)新格局。

根據(jù)麥姆斯咨詢觀察統(tǒng)計(jì)，2020年全球紅外熱成像探測(cè)器出貨量市場(chǎng)份額情況：美國(guó)FLIR以35%的市場(chǎng)占有率排名第一，而國(guó)內(nèi)的海康威視、高德紅外、睿創(chuàng)微納、大立科技分別位列第二、第三、第四及第七位，總體已占據(jù)全球市場(chǎng)份額的近45%，下圖展示了2020年中國(guó)主要廠商的出貨量預(yù)測(cè)占比。縱觀產(chǎn)業(yè)格局，中國(guó)紅外熱成像探測(cè)器廠商已經(jīng)可以與國(guó)外廠商“分庭抗禮”。

2020年中國(guó)主要紅外熱成像探測(cè)器出貨量預(yù)測(cè)占比

（來(lái)源：麥姆斯咨詢）

而在熱電堆紅外探測(cè)器方面，此前主要依賴于進(jìn)口產(chǎn)品，典型供應(yīng)商如德國(guó)海曼、日本石塚、日本歐姆龍、日本松下、瑞士泰科、比利時(shí)邁來(lái)芯以及我國(guó)臺(tái)灣眾智等。由疫情帶來(lái)的巨大市場(chǎng)機(jī)遇，使得上海微技術(shù)工研院、燁映電子（已進(jìn)行上市輔導(dǎo)備案擬科創(chuàng)板IPO）、創(chuàng)芯海微、森霸傳感、煒盛科技、西人馬等眾多國(guó)內(nèi)供應(yīng)商一度處于“賣斷貨”的狀態(tài)。此外，相關(guān)廠商也在積極布局熱電堆陣列技術(shù)，以期拓展智能家居、智慧安防、智慧零售等更加廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域。

江蘇創(chuàng)芯海微科技有限公司是一家專注于紅外探測(cè)器研發(fā)、生產(chǎn)與服務(wù)的創(chuàng)新型科技企業(yè)，產(chǎn)品主要包括熱電堆紅外探測(cè)器芯片、TO封裝及SMD封裝產(chǎn)品、長(zhǎng)距離器件、相關(guān)模組和陣列產(chǎn)品等，主要應(yīng)用于人體測(cè)溫、出入口監(jiān)控、智能空調(diào)、微波爐、智能手機(jī)、智能家居、可穿戴設(shè)備等市場(chǎng)。創(chuàng)芯海微研發(fā)團(tuán)隊(duì)的紅外技術(shù)研發(fā)可追溯至2010年以前，是中國(guó)較早一批從事MEMS紅外熱電堆技術(shù)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)之一。

創(chuàng)芯海微WA2智能紅外測(cè)溫掛件

2021年初，創(chuàng)芯海微發(fā)布了一款適用于群體紅外便攜式測(cè)溫的熱電堆測(cè)溫掛件WA2。WA2智能紅外測(cè)溫掛件是一款具有區(qū)域成員體溫監(jiān)測(cè)管理和行程溯源功能的非接觸式紅外測(cè)溫型可穿戴智能產(chǎn)品。該產(chǎn)品采用創(chuàng)芯海微自主研發(fā)的MEMS熱電堆紅外傳感器和紅外測(cè)溫模組，可實(shí)現(xiàn)高精度、高可靠和高效率的無(wú)接觸溫度測(cè)量。將WA2智能紅外測(cè)溫掛件產(chǎn)品與手機(jī)藍(lán)牙連接，通過(guò)手機(jī)微信小程序上傳溫度數(shù)據(jù)至云端后臺(tái)，可以生成體溫變化圖表。WA2智能紅外測(cè)溫掛件還內(nèi)置了行程溯源機(jī)制，能夠在發(fā)生疫情時(shí)，應(yīng)有關(guān)部門要求提供行程軌跡信息，為迅速排查密切接觸人員提供依據(jù)。

此外，2021年創(chuàng)芯海微還將發(fā)布50至100厘米的長(zhǎng)距離測(cè)溫探測(cè)器、單點(diǎn)高性能測(cè)溫探測(cè)器、8 x 8和32 x 32陣列紅外探測(cè)器，以及紅外光源、濕度傳感器、氣體傳感器等多款新產(chǎn)品。

疫情顯著提高了社會(huì)對(duì)紅外設(shè)備的認(rèn)知度和下游應(yīng)用領(lǐng)域的潛在機(jī)會(huì)，后疫情時(shí)代，紅外探測(cè)器需求預(yù)計(jì)將由“突擊爆發(fā)”轉(zhuǎn)為“長(zhǎng)期持續(xù)、穩(wěn)定增長(zhǎng)”的新階段。

雙光譜紅外測(cè)溫AI智能眼鏡（來(lái)源：LLVISON）

02

智能語(yǔ)音交互日益普及，MEMS麥克風(fēng)再上新臺(tái)階

隨著5G時(shí)代提前到來(lái)，人工智能+物聯(lián)網(wǎng)（AIoT）設(shè)備的大爆發(fā)以及創(chuàng)新人工智能語(yǔ)音應(yīng)用的不斷涌現(xiàn)，“語(yǔ)音人機(jī)交互”正成為廣泛智能設(shè)備的重要入口，快速改變?nèi)藗兊纳?。而MEMS麥克風(fēng)作為語(yǔ)音人機(jī)交互入口的核心元件，具備尺寸小、功耗低、性能優(yōu)、一致性高、成本低等優(yōu)點(diǎn)，被業(yè)界譽(yù)為智能設(shè)備的“聽(tīng)覺(jué)細(xì)胞”。

據(jù)麥姆斯咨詢統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，MEMS麥克風(fēng)市場(chǎng)規(guī)模從2010年的15.9億元人民幣一路增長(zhǎng)到2019年的86.8億元人民幣，復(fù)合年增長(zhǎng)率高達(dá)20.75%。隨著近些年中國(guó)MEMS麥克風(fēng)廠商的長(zhǎng)足進(jìn)步，2019年，樓氏電子的市場(chǎng)份額下滑至36%，以“歌爾股份、瑞聲科技、敏芯股份、共達(dá)電聲、芯奧微、華景傳感”為代表的中國(guó)大陸廠商和以“鈺太科技、美律”為代表的中國(guó)臺(tái)灣廠商成為全球MEMS麥克風(fēng)的主要參與者，進(jìn)入了蘋果、華為等主流智能手機(jī)品牌廠商供應(yīng)鏈，合計(jì)市場(chǎng)份額占據(jù)全球市場(chǎng)的半壁江山。

近年，得益于蘋果AirPods 2語(yǔ)音喚醒功能和AirPods Pro主動(dòng)降噪功能的廣受關(guān)注，真無(wú)線立體聲（TWS）耳機(jī)已成為繼智能手機(jī)、智能音箱之后，為MEMS麥克風(fēng)市場(chǎng)注入強(qiáng)勁增長(zhǎng)動(dòng)力的“第三大功臣”。

2019年第一季度至2020年第三季度全球TWS耳機(jī)市場(chǎng)

（來(lái)源：Counterpoint）

根據(jù)Counterpoint發(fā)布的市場(chǎng)跟蹤數(shù)據(jù)，盡管面對(duì)新冠疫情帶來(lái)的經(jīng)濟(jì)危機(jī)，不斷增長(zhǎng)的移動(dòng)視頻應(yīng)用，以及智能手機(jī)制造商取消耳機(jī)插孔（甚至不附贈(zèng)耳機(jī)），仍推動(dòng)全球TWS耳機(jī)市場(chǎng)在2020年第三季度的季度環(huán)比增長(zhǎng)了24%，預(yù)計(jì)2020年的整體出貨量將略高于最初的市場(chǎng)預(yù)期。

另一方面，疫情帶來(lái)的“非接觸式”需求推動(dòng)了門禁控制、電梯控制、信息顯示等應(yīng)用逐漸向語(yǔ)音交互轉(zhuǎn)變，越來(lái)越多的智能語(yǔ)音設(shè)備支持“永久在線（Always On）”的語(yǔ)音喚醒。此外，在家辦公、遠(yuǎn)程辦公已成氣候，人們?cè)絹?lái)越接受線上會(huì)議、視頻辦公等“新常態(tài)”，這對(duì)高性能麥克風(fēng)陣列和語(yǔ)音捕獲算法提出了新要求。綜合來(lái)看，2020年新冠疫情突如其來(lái)的短期挑戰(zhàn)，并沒(méi)有對(duì)MEMS麥克風(fēng)的市場(chǎng)需求帶來(lái)多大影響，預(yù)計(jì)2020年MEMS麥克風(fēng)出貨量仍將實(shí)現(xiàn)兩位數(shù)的快速增長(zhǎng)。

“支持Always On語(yǔ)音喚醒的設(shè)備，一般采用CPU/AP/DSP以10 ms間隔反覆啟動(dòng)并偵測(cè)用戶的語(yǔ)音信息，以判斷是否有喚醒語(yǔ)音輸入。這種CPU/AP/DSP不間斷工作方案，使系統(tǒng)靜態(tài)電流很大（》10 mA），縮短了電子產(chǎn)品的電池續(xù)航時(shí)間。我們的新款MEMS麥克風(fēng)ZT6311內(nèi)建語(yǔ)音活動(dòng)監(jiān)測(cè)（Voice activity Detection，VAD）功能，采用多模式（Multi-mode）模擬前端（AFE），VAD算法消耗的靜態(tài)電流極小，可大大提升電子產(chǎn)品的電池續(xù)航時(shí)間?！扁曁萍加邢薰靖笨偨?jīng)理莊育民在接受麥姆斯咨詢采訪時(shí)表示，“高品質(zhì)遠(yuǎn)場(chǎng)拾音需要高性能麥克風(fēng)陣列，MEMS麥克風(fēng)靈敏度正負(fù)誤差需要控制在±1 dB以內(nèi)。另外，主動(dòng)降噪還要求MEMS麥克風(fēng)低頻響應(yīng)好，鈺太科技可以做到最低10 Hz有響應(yīng)?！?/p>

無(wú)錫芯奧微傳感技術(shù)有限公司銷售副總顧悅在受訪麥姆斯咨詢采訪時(shí)表示：“TWS耳機(jī)目前已經(jīng)被各大智能手機(jī)廠商和AIoT企業(yè)認(rèn)可為未來(lái)兩年最可見(jiàn)增長(zhǎng)的智能終端，依然將是MEMS麥克風(fēng)未來(lái)兩年的重要增長(zhǎng)點(diǎn)。除此之外，高度集成化的智能可穿戴設(shè)備以及更多應(yīng)用場(chǎng)景下的智能家居，也將有力推動(dòng)MEMS麥克風(fēng)的需求增長(zhǎng)?！毙緤W微自2010年起從事MEMS傳感器的研發(fā)和生產(chǎn)，現(xiàn)已逐步發(fā)展成中國(guó)知名的MEMS麥克風(fēng)專業(yè)品牌制造商。

針對(duì)當(dāng)前熱門應(yīng)用對(duì)MEMS麥克風(fēng)提出的新要求，顧悅補(bǔ)充說(shuō)：“主動(dòng)降噪和高品質(zhì)拾音需求，對(duì)MEMS麥克風(fēng)的信噪比（SNR）、聲學(xué)過(guò)載點(diǎn)（AOP）、更低的低頻截止頻率和相位一致性提出了更高的要求。為此，芯奧微將在2021年推出系列高SNR（70~72 dB）、高AOP的智能數(shù)字麥克風(fēng)，以及一款超低功耗的模擬麥克風(fēng)（《30 uA）?！?/p>

TDK在2020年中推出了一款全球超低功耗的脈沖密度調(diào)制（PDM）麥克風(fēng)InvenSense T3902，這款麥克風(fēng)在3.5mm x 2.65mm x 0.98mm的封裝中提供了效率極高的185 μA超低功耗模式（Always On）、64.5 dB的高信噪比和120 dB的高聲學(xué)過(guò)載點(diǎn)，支持遠(yuǎn)場(chǎng)通信（視頻和電話會(huì)議），可在嘈雜的環(huán)境中實(shí)現(xiàn)清晰的音頻捕捉?！癟3902是目前市場(chǎng)上功耗最低的PDM麥克風(fēng)，旨在滿足高性能、超低功耗音頻市場(chǎng)不斷增長(zhǎng)的需求?！盩DK InvenSense音頻產(chǎn)品董事總經(jīng)理Kieran Harney評(píng)價(jià)稱，“TDK在可穿戴設(shè)備和物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域具備強(qiáng)大的實(shí)力，全系列MEMS麥克風(fēng)使我們成為解決客戶音頻挑戰(zhàn)的理想合作伙伴。”

03

MEMS氣體傳感器，為新興的健康和環(huán)境應(yīng)用打開(kāi)了大門

隨著智能化、信息技術(shù)的發(fā)展，工業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)、環(huán)境監(jiān)測(cè)、空氣品質(zhì)改善、智能家居、醫(yī)療器械開(kāi)發(fā)等各個(gè)領(lǐng)域?qū)怏w傳感器的需求持續(xù)升級(jí)，新興的細(xì)分應(yīng)用不斷涌現(xiàn)。

目前市場(chǎng)上的氣體傳感器，以半導(dǎo)體、電化學(xué)、催化燃燒、光學(xué)等技術(shù)為主。其中，光學(xué)原理（紅外、光散射等）的氣體傳感器出現(xiàn)及應(yīng)運(yùn)較晚，技術(shù)難度較大、成本較高，目前所占市場(chǎng)份額較小。根據(jù)Yole統(tǒng)計(jì)，2017年全球氣體傳感器市場(chǎng)中電化學(xué)、紅外、半導(dǎo)體技術(shù)共同占據(jù)了95%以上的市場(chǎng)份額，其中，電化學(xué)、半導(dǎo)體、紅外技術(shù)的氣體傳感器占比分別達(dá)44.2%、38.3%和15.1%，催化燃燒、光電離子探測(cè)、超聲波氣體傳感技術(shù)的市場(chǎng)份額占比較低，分別為1.5%、0.5%和0.4%。

全球氣體傳感器領(lǐng)先企業(yè)主要集中在美國(guó)、日本和歐洲地區(qū)，主要包括：城市技術(shù)、費(fèi)加羅、安費(fèi)諾、博世、盛思銳、艾邁斯半導(dǎo)體等。國(guó)內(nèi)企業(yè)在技術(shù)水平上整體仍處于追趕階段，研究和產(chǎn)業(yè)化相對(duì)成熟的領(lǐng)域主要是半導(dǎo)體和催化燃燒氣體傳感器，這兩類在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率較高，并具有較強(qiáng)的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力，在電化學(xué)和紅外氣體傳感器領(lǐng)域起步晚，缺乏系統(tǒng)深入的研究，相較國(guó)際廠商影響力較弱。國(guó)內(nèi)氣體傳感器代表企業(yè)主要有：漢威科技（旗下煒盛電子）、四方光電、攀藤科技、慧聞科技、睿感（ScioSense）、戴維萊傳感、武漢微納、合肥微納等。

未來(lái)，各種氣體檢測(cè)原理都會(huì)被用于環(huán)境中多種污染物的檢測(cè)和評(píng)估。MEMS和絲網(wǎng)印刷技術(shù)為氣體傳感器的小型化打開(kāi)了大門，使這些微型化氣體傳感器能夠集成進(jìn)入智能手機(jī)和可穿戴設(shè)備等消費(fèi)電子產(chǎn)品。與此同時(shí)，氣體傳感器也將在物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展中扮演關(guān)鍵角色，采暖、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）系統(tǒng)、空氣凈化器、智能窗戶、汽車、醫(yī)療器械、大氣環(huán)境監(jiān)測(cè)、石油化工產(chǎn)業(yè)及其他應(yīng)用都將采用氣體傳感器來(lái)改善人們的生活品質(zhì)。根據(jù)Yole預(yù)測(cè)，全球氣體傳感器市場(chǎng)規(guī)模到2022年將增長(zhǎng)至10億美元，2018年~2023年期間的復(fù)合年增長(zhǎng)率為7.3%。

TDK推出的全球首款直接MEMS氣體傳感器TCE-11101

近日，TDK推出了一款可以直接準(zhǔn)確檢測(cè)家居、汽車、物聯(lián)網(wǎng)、醫(yī)療保健和其他應(yīng)用中CO2濃度的小型化超低功耗MEMS傳感器TCE-11101。TCE-11101內(nèi)部集成ASIC提供自動(dòng)校準(zhǔn)、數(shù)據(jù)上報(bào)，以及I2C接口用于數(shù)據(jù)輸出和器件配置。這使它可以非常容易地集成到幾乎任何應(yīng)用中，它的低功耗優(yōu)勢(shì)，也使它可以在電池供電的設(shè)備中使用。

TDK InvenSense新興業(yè)務(wù)部門高級(jí)總監(jiān)Sreeni Rao博士評(píng)價(jià)稱：“TCE-11101融合了TDK獨(dú)一無(wú)二的新材料技術(shù)、MEMS工藝、人工智能算法，提供了一個(gè)體積遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于傳統(tǒng)傳感器（5mm x 5mm x 1mm）、耗電量小于1mW并能精確測(cè)量CO2氣體濃度的解決方案，提供了非常寬的檢測(cè)范圍（400 ppm到50000 ppm）。TCE-11101大大擴(kuò)展了在各種新應(yīng)用和現(xiàn)有應(yīng)用中的CO2檢測(cè)用例?！?/p>

武漢微納傳感技術(shù)有限公司是一家專注于MEMS氣體感測(cè)解決方案，集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè)。武漢微納營(yíng)銷總監(jiān)李佳楓在接受麥姆斯咨詢采訪時(shí)表示：“MEMS氣體傳感器小型化、集成化、智能化、低成本的優(yōu)勢(shì)，更適合智能家居、環(huán)境監(jiān)測(cè)、可穿戴/手機(jī)、安防、農(nóng)業(yè)、醫(yī)療健康、汽車電子需求，實(shí)現(xiàn)有害氣體預(yù)警偵測(cè)及節(jié)能減排。武漢微納MEMS氣體傳感器在一致性、重復(fù)性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性達(dá)到國(guó)際先進(jìn)的同時(shí)，持續(xù)投入小型化、智能化開(kāi)發(fā)，2021年將量產(chǎn)業(yè)界更小尺寸封裝（2.5mm x 2.5mm x 1mm）的MEMS氣體傳感器。”

武漢微納推出的MEMS VOC氣體傳感器

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運(yùn)動(dòng)傳感器高度集成化和組合化，人工智能提高產(chǎn)品附加值

運(yùn)動(dòng)傳感器是一類將物體運(yùn)動(dòng)參數(shù)轉(zhuǎn)換成電子信號(hào)的器件，以加速度計(jì)、陀螺儀、高度計(jì)、磁力計(jì)為代表的MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器已經(jīng)無(wú)處不在。在MEMS和傳感器呈現(xiàn)多項(xiàng)功能高度集成化和組合化趨勢(shì)下，運(yùn)動(dòng)傳感器也不例外。如今，分立式運(yùn)動(dòng)傳感器，尤其是消費(fèi)類單軸、3軸加速度計(jì)和磁力計(jì)，市場(chǎng)已經(jīng)趨于飽和、價(jià)格不斷侵蝕，而6軸、7軸、9軸甚至以上（3軸加速度計(jì)+3軸陀螺儀+3軸磁力計(jì)+氣壓/溫濕度傳感器）組合式運(yùn)動(dòng)傳感器市場(chǎng)逐漸興起。

組合式傳感器擁有一些分立式傳感器無(wú)法比擬的優(yōu)勢(shì)，例如：采用同一顆ASIC處理信號(hào)，并將多個(gè)傳感器芯片封裝在一起，可降低成本；如果兩種傳感器芯片工藝相同或相近，可以做成單芯片，極大減小傳感器尺寸；將濾波、數(shù)據(jù)融合和人工智能等算法集成，提高產(chǎn)品附加值。

根據(jù)Yole預(yù)測(cè)，2019~2025年期間，分立式加速度計(jì)、陀螺儀、磁力計(jì)的復(fù)合年增長(zhǎng)率分別為1%、-0.2%和1%，增長(zhǎng)幾乎停滯甚至陷入負(fù)增長(zhǎng)，而組合式運(yùn)動(dòng)傳感器的復(fù)合年增長(zhǎng)率可達(dá)4.1%，市場(chǎng)規(guī)模到2025年預(yù)計(jì)將增長(zhǎng)至11.8億美元。

據(jù)麥姆斯咨詢此前報(bào)道，2020年12月，博世子公司Bosch Sensortec發(fā)布了全球首款自學(xué)習(xí)人工智能傳感器：BHI260AP。這是一款革命性的自學(xué)習(xí)運(yùn)動(dòng)傳感器，全球首款用于可穿戴和耳穿戴設(shè)備的自學(xué)習(xí)人工智能傳感器，其獨(dú)特的自學(xué)習(xí)和個(gè)性化功能，使用戶能夠通過(guò)定制化健身活動(dòng)輕松訓(xùn)練設(shè)備。一體化解決方案不僅降低了開(kāi)發(fā)時(shí)間、成本和復(fù)雜性，最重要的是，還通過(guò)自動(dòng)追蹤降低了功耗。

全球首款自學(xué)習(xí)人工智能傳感器：BHI260AP

這款傳感器使可穿戴和耳穿戴設(shè)備制造商能夠通過(guò)傳感器中的自學(xué)習(xí)人工智能軟件，提供高度個(gè)性化的健身追蹤。它能識(shí)別和適應(yīng)各種動(dòng)作，并學(xué)習(xí)任何基于重復(fù)、循環(huán)動(dòng)作的新健身活動(dòng)。因此，用戶既是培訓(xùn)人員，也是學(xué)員。

“自學(xué)習(xí)人工智能傳感器將改變用戶與健身設(shè)備的互動(dòng)方式，從單純的單向方式轉(zhuǎn)變?yōu)榛?dòng)的訓(xùn)練方式。”Bosch Sensortec首席執(zhí)行官Stefan Finkbeiner博士說(shuō)，“這種新型傳感器結(jié)合了Bosch Sensortec在智能運(yùn)動(dòng)傳感器方面的長(zhǎng)期經(jīng)驗(yàn)，以及我們?cè)趧?chuàng)新軟件開(kāi)發(fā)領(lǐng)域的強(qiáng)大能力。”

美新半導(dǎo)體產(chǎn)品、市場(chǎng)及銷售副總裁盧牮在接受麥姆斯咨詢采訪時(shí)表示：“多年以來(lái)，高靈敏度、高精度、低漂移等硬件指標(biāo)一直是傳感器行業(yè)必備要素，被整個(gè)行業(yè)孜孜以求；隨著物聯(lián)網(wǎng)越來(lái)越普及，我們看到多傳感器融合越來(lái)越成為重要方向，并且隨著設(shè)備的造型越來(lái)越輕巧，在極低能耗下的Always On越來(lái)越成為產(chǎn)品設(shè)計(jì)的挑戰(zhàn)。美新半導(dǎo)體曾經(jīng)在各個(gè)時(shí)期推出過(guò)多款引領(lǐng)行業(yè)的超低功耗超小尺寸的產(chǎn)品，我們將繼續(xù)堅(jiān)持這些特色?！?/p>

對(duì)于2021年運(yùn)動(dòng)傳感器新產(chǎn)品計(jì)劃，盧牮介紹稱：“美新半導(dǎo)體將在2021年第2季度推出MC3500系列加速度計(jì)，在秉承美新半導(dǎo)體一貫的超低功耗超小尺寸的特色優(yōu)勢(shì)下，結(jié)合強(qiáng)大的算法功能，無(wú)論其功能還是功耗都將超越國(guó)際領(lǐng)先的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，其嗅探模式下小于0.4 μA的功耗，更將Always On發(fā)揮到極致。此外，憑借極具挑戰(zhàn)的0.7 mm的超薄厚度，能夠確保可穿戴設(shè)備的造型輕巧美觀。

2020年，美新半導(dǎo)體的AMR地磁產(chǎn)品線成長(zhǎng)很快，已經(jīng)是全球主要的供應(yīng)商之一，2021年第3季度將推出下一代產(chǎn)品，對(duì)系統(tǒng)功耗、功能接口進(jìn)行升級(jí)。未來(lái)我們還將突破6軸慣性傳感器，不斷加強(qiáng)算法能力和子系統(tǒng)領(lǐng)域的投入。在產(chǎn)業(yè)形態(tài)上，美新將堅(jiān)持IDM策略，進(jìn)一步做強(qiáng)封測(cè)和先進(jìn)組裝能力，進(jìn)一步依托無(wú)錫和紹興工廠把磁傳感器和加速度產(chǎn)品線做大做強(qiáng)?！?/p>

蘇州明皜傳感科技有限公司市場(chǎng)總監(jiān)陸曉青在接受麥姆斯咨詢采訪時(shí)表示：“MEMS傳感器終將朝著微型化、高集成度的方向發(fā)展。國(guó)際一線供應(yīng)商已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)系統(tǒng)級(jí)9軸慣性傳感器封裝，并且在逐步向“9+”軸方向演進(jìn)，如9軸慣性傳感器與氣體、氣壓、溫濕度傳感器集成產(chǎn)品，相比之下，國(guó)內(nèi)供應(yīng)商目前最多為6軸產(chǎn)品，且封裝尺寸較國(guó)際產(chǎn)品還存在不小差距。面對(duì)未來(lái)室內(nèi)外導(dǎo)航、自動(dòng)駕駛和個(gè)人穿戴設(shè)備等對(duì)慣性傳感器的高精度、小尺寸、低功耗、多功能的需求，明皜傳感即將推出一款主打超低功耗的3軸加速度計(jì)，并正在布局一款6軸慣性傳感器?！?/p>

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