中北大學(xué)微納加工中心4英寸MEMS工藝線(xiàn)
中北大學(xué)微納加工中心依托動(dòng)態(tài)測(cè)試技術(shù)省部共建國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室（培育基地）、儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、微納慣性傳感與集成測(cè)量教育部工程研究中心、山西省微米納米工程技術(shù)研究中心等科研機(jī)構(gòu)及中北大學(xué)儀器與電子學(xué)院科研團(tuán)隊(duì)，中心形成了完整的微/納器件設(shè)計(jì)、加工、測(cè)試研發(fā)平臺(tái)，在國(guó)內(nèi)高校中處于先進(jìn)水平。
中心占地面積1000平方米，擁有凈化面積達(dá)500平方米的4英寸MEMS工藝線(xiàn)，配置了國(guó)際一流的微納加工、測(cè)試、封裝設(shè)備，具備硅基MEMS矢量水聽(tīng)器、MEMS壓阻式壓力傳感器、MEMS加速度計(jì)、熱電堆紅外探測(cè)器等全套工藝加工能力，可為國(guó)內(nèi)外同行提供微納器件研發(fā)、工藝代工、工藝測(cè)試等技術(shù)服務(wù)。
中北大學(xué)微納加工中心，熱忱歡迎有需求的客戶(hù)來(lái)電咨詢(xún)并開(kāi)展技術(shù)合作！
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