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芯片制造四大基本工藝

lhl545545 ? 來源:程序員大本營(yíng) 搜狐 儀器網(wǎng) ? 作者:程序員大本營(yíng) 搜狐 ? 2021-12-22 10:41 ? 次閱讀
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芯片制造四大基本工藝包括:芯片設(shè)計(jì)、FPGA驗(yàn)證、晶圓光刻顯影、蝕刻、芯片封裝等,晶片制作過程最為復(fù)雜,需經(jīng)過濕洗、光刻、 離子注入、干蝕刻、等離子沖洗、熱處理、化學(xué)氣相淀積、物理氣相淀積、電鍍處理、化學(xué)/機(jī)械表面處理、晶圓測(cè)試等過程。

一般來說, 在光刻過程中要先對(duì)整個(gè)襯底先加入Photo-resist物質(zhì),用干蝕刻把需要P-well的地方也蝕刻出來,后端處理主要是用來布線以達(dá)到部分消除寄生電容的目的,步驟跟傳統(tǒng)工藝基本一致。

最后再利用光刻技術(shù)和離子刻蝕技術(shù),保留下柵隔離層上面的氮化硅層,形成 NMOS 的源漏極進(jìn)行退火處理保證整個(gè) Chip 的完整和連線的連接性,按照需求去制作成各種不同的封裝形式即可。

本文綜合整理自程序員大本營(yíng) 搜狐 儀器網(wǎng)
審核編輯:彭菁
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