電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道（文/吳子鵬）北京時(shí)間2月7日，上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱：上海微電子）為國(guó)內(nèi)首臺(tái)2.5D / 3D先進(jìn)封裝***舉行了發(fā)運(yùn)儀式，對(duì)于這款設(shè)備大家其實(shí)都不陌生，也就是2021年9月18日上海微電子發(fā)布的新一代大視場(chǎng)高分辨率先進(jìn)封裝***。

很多不明就里的自媒體混淆概念，將其定義為國(guó)內(nèi)首臺(tái)***（指應(yīng)用于芯片制造前道工藝的***）。實(shí)際上，***按照用途會(huì)分為生產(chǎn)芯片用***、封裝用***以及顯示和MEMS等領(lǐng)域用***，在這些領(lǐng)域上海微電子確實(shí)都代表國(guó)內(nèi)***的先進(jìn)水平，無(wú)論是現(xiàn)在交運(yùn)的先進(jìn)封裝***，還是能夠應(yīng)用于前道工藝的600系列***。

俗話說(shuō)：比你更了解你的人一定是你的敵人。在中美對(duì)抗的姿態(tài)下，我們關(guān)注到了上海微電子，美國(guó)政府同樣如此。

緊隨而來(lái)的“未經(jīng)核實(shí)名單”

美國(guó)當(dāng)?shù)貢r(shí)間2月7日，一份由美國(guó)商務(wù)部工業(yè)與安全局（BIS）更新的“未經(jīng)核實(shí)名單”（Unverified List）現(xiàn)身聯(lián)邦公報(bào)。作為美政府的公報(bào)，這家報(bào)社發(fā)布的消息基本都是美政府各機(jī)構(gòu)的規(guī)則（包括擬定中）和公告。

這份“未經(jīng)核實(shí)名單”的細(xì)節(jié)部分顯示，其正式發(fā)布日期為美國(guó)當(dāng)?shù)貢r(shí)間2月8日，生效日期也是2月8日，其中新增了33家中國(guó)的科技公司或個(gè)體。

根據(jù)時(shí)間區(qū)域的不同，聯(lián)邦公報(bào)上面公開(kāi)的這份規(guī)則幾乎是緊隨上海微電子的交運(yùn)儀式的，當(dāng)然除了上海微電子，還有株洲中車和飛思光學(xué)等。

這份清單是由美國(guó)工業(yè)和安全局 (BIS)發(fā)起的，而熟悉這個(gè)部門職責(zé)的業(yè)者都清楚，被他們關(guān)注將會(huì)受到怎樣的限制。這個(gè)部門旨在通過(guò)確保有效的出口控制和條約合規(guī)體系以及促進(jìn)美國(guó)在戰(zhàn)略技術(shù)方面的持續(xù)領(lǐng)導(dǎo)地位來(lái)推進(jìn)美國(guó)的國(guó)家安全、外交政策和經(jīng)濟(jì)目標(biāo)。

那么，很明顯，清單上的33家公司將會(huì)在一定程度上遇到進(jìn)口美國(guó)零部件的麻煩。

從威力上來(lái)看，“未經(jīng)核實(shí)名單”屬于第三檔，比其威力更弱的有“被拒絕人員清單”(Denied Persons List )，可能很多國(guó)內(nèi)的人都沒(méi)聽(tīng)說(shuō)過(guò)這個(gè)清單，其發(fā)布也不會(huì)通過(guò)聯(lián)邦公報(bào)這樣的形式，管制比較寬松。比“被拒絕人員清單”更嚴(yán)格一點(diǎn)的便是“未經(jīng)核實(shí)名單”，這些公司并沒(méi)有被證明危害到所謂的“美國(guó)國(guó)家安全”，或者違反美國(guó)的外交政策，但是如果上了名單的公司想要繼續(xù)進(jìn)口美國(guó)的技術(shù)和產(chǎn)品，那么就需要出示文件“以證清白”。管制措施更嚴(yán)厲的是“實(shí)體清單”（EL），將會(huì)被嚴(yán)格限制從美國(guó)購(gòu)買零部件，或者獲取美國(guó)的尖端技術(shù)。當(dāng)然，還有比“實(shí)體清單”更狠的，那就是“軍事最終用戶清單”（MEU List），對(duì)于美政府而言，上了這份清單的實(shí)體的行為是“不可接受的”。

再考慮到去年年初時(shí)段，美國(guó)將中微半導(dǎo)體設(shè)備列入“軍事最終用戶清單”，當(dāng)前的情況已經(jīng)很明顯，美政府開(kāi)始關(guān)注到國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展。

ASML控訴是另一維度的挑戰(zhàn)

關(guān)注國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展的不僅有美政府，作為全球半導(dǎo)體設(shè)備的龍頭企業(yè)，ASML同樣對(duì)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展神經(jīng)緊繃。

美國(guó)當(dāng)?shù)貢r(shí)間2月9日，彭博社發(fā)文稱，ASML控訴中國(guó)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手可能侵犯其商業(yè)機(jī)密。文章引用了ASML在最新財(cái)報(bào)中的話，“在2021年初，我們了解到有報(bào)道稱，XTAL Inc.在2019年在美國(guó)因盜用商業(yè)機(jī)密被判賠償損害，與該公司相關(guān)聯(lián)的公司正在中國(guó)積極營(yíng)銷可能侵犯 ASML知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品?！?br />
目前，ASML已經(jīng)告知一些客戶不要幫助XTAL的關(guān)聯(lián)公司東方晶源，并表示，已經(jīng)將自己的擔(dān)憂反應(yīng)給了中國(guó)有關(guān)管理部門，將會(huì)密切關(guān)注事態(tài)的后續(xù)發(fā)展，在適當(dāng)?shù)臅r(shí)候會(huì)采取法律手段。

這一事件牽扯到兩家公司，一個(gè)是XTAL，一個(gè)是東方晶源。公開(kāi)資料顯示，XTAL是由至少兩名前ASML員工創(chuàng)立的公司，成立于2014年，團(tuán)隊(duì)的核心成員都來(lái)自于ASML關(guān)鍵的ASML-Brion部門，這個(gè)公司從ASML手中搶走了一個(gè)大客戶三星，據(jù)悉是顯示產(chǎn)品的***產(chǎn)品。

XTAL和ASML的恩怨早已了結(jié)，2016年ASML開(kāi)始正式起訴XTAL，指控該公司挖走其員工并要求他們泄露與Tachyon SMO光刻軟件相關(guān)的商業(yè)機(jī)密。根據(jù)ASML的描述，這些技術(shù)至少需要數(shù)百萬(wàn)美元研發(fā)投入才能攻克，并且能夠證明XTAL員工的電腦上存在這些技術(shù)。

2018年11 月，美國(guó)法院陪審團(tuán)裁定XTAL犯有所有五項(xiàng)罪名，并具有惡意。但在訴訟的初期階段，XTAL就已經(jīng)申請(qǐng)了破產(chǎn)，初審的賠償金是2.23億美元。不過(guò)，裁定下來(lái)的一個(gè)月之后，XTAL就已經(jīng)破產(chǎn)了。

2019年5月，美國(guó)圣克拉拉縣高等法院作出最終判決，將賠償金提升到了8.45億美元。但XTAL已經(jīng)破產(chǎn)，因此ASML獲得了XTAL全部的知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

不過(guò)，在當(dāng)時(shí)就有聲音指出，XTAL將相關(guān)技術(shù)泄露給了中國(guó)公司，并有報(bào)道指出東方晶源就是XTAL背后的中國(guó)公司，但ASML并未置評(píng)，僅僅是談到自己被美國(guó)硅谷的員工搶劫了IP。且XTAL對(duì)于這項(xiàng)指控也矢口否認(rèn)。

如今，ASML舊事重提，再次將東方晶源拉入到了輿論的漩渦。東方晶源成立于2014年，產(chǎn)品包括計(jì)算光刻產(chǎn)品（OPC）、電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備EBI以及電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備CD-SEM。從具體的服務(wù)來(lái)看，無(wú)論是反向光刻技術(shù)還是電子束缺陷檢測(cè)，東方晶源的服務(wù)都是幫助提升芯片制造良率的，目前三款產(chǎn)品都已經(jīng)在客戶產(chǎn)線驗(yàn)證并產(chǎn)生實(shí)質(zhì)訂單。該公司目前承載02國(guó)家重大專項(xiàng)、工業(yè)強(qiáng)基等項(xiàng)目，并獲評(píng)第三批國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”企業(yè)。

目前，對(duì)于ASML的指控，東方晶源并未置評(píng)。

國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展“難上加難”

近一兩年，大家其實(shí)都有明確的感受，處于半導(dǎo)體上游的材料和設(shè)備也已經(jīng)像芯片一樣，走入到公眾的視野，走入到投資機(jī)構(gòu)的視野，走入到國(guó)家監(jiān)管部門的視野，不是在邊邊角角，而是核心位置。

要建立一套自主可控的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，那么設(shè)備這一環(huán)是繞不開(kāi)的，ASML的EUV***進(jìn)不來(lái)，那么國(guó)內(nèi)的芯片基本就只能在14nm上停滯不前，少了關(guān)鍵設(shè)備，要實(shí)現(xiàn)更先進(jìn)工藝，在性能和良率方面都有巨大的挑戰(zhàn)。

但半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)本身就是整個(gè)產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)中較難的一環(huán)，越是靠近先進(jìn)工藝，越是這樣。而如果我們也想通過(guò)自己的研發(fā)去攻克EUV***，很多數(shù)據(jù)就能夠直觀地告訴你有多難。

據(jù)統(tǒng)計(jì)，一臺(tái)先進(jìn)的EUV***重達(dá)180噸，零部件數(shù)量超過(guò)10萬(wàn)個(gè)，需要40個(gè)集裝箱來(lái)運(yùn)輸。同時(shí)，制造***不僅要有技術(shù)研發(fā)實(shí)力，還有產(chǎn)業(yè)鏈管理能力，EUV***全球供應(yīng)商數(shù)量超過(guò)5000家。

再看細(xì)節(jié)，EUV***的光源是用激光打在錫液滴上產(chǎn)生的13.5納米波長(zhǎng)的極紫外光。聽(tīng)起來(lái)好像沒(méi)什么難度啊，具體實(shí)施是用20kW的激光通過(guò)每秒5萬(wàn)次的頻率擊打20微米的錫滴，使液態(tài)錫汽化為等離子體，從而產(chǎn)生極紫外光。目前，掌握這些技術(shù)的是美國(guó)公司。

有了光源還要輔助以腔體、真空環(huán)境和光學(xué)系統(tǒng)等，各個(gè)都是極致復(fù)雜的工藝。且根據(jù)ASML自己透露，為了能夠讓EUV***運(yùn)轉(zhuǎn)起來(lái)，需要無(wú)塵室的通風(fēng)設(shè)備必須每小時(shí)凈化30萬(wàn)立方米的空氣，這個(gè)條件也非?？量獭?br />
所以，ASML才敢大膽地說(shuō)，即便是將圖紙公開(kāi)，其他人也無(wú)法造出來(lái)。而即便將設(shè)備給你了，如果沒(méi)有ASML的員工幫助調(diào)試，也根本用不起來(lái)。據(jù)悉，高端***初期調(diào)試需要差不多一年的時(shí)間。

而在這些難點(diǎn)之外，由于當(dāng)前的政治環(huán)境，以及相關(guān)公司對(duì)專有技術(shù)的保護(hù)程度，國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備廠商想要吸引外部人才的困難倍增，因此可謂是難上加難。

后記

要實(shí)現(xiàn)芯片產(chǎn)業(yè)的自主可控，本就是一條荊棘密布的道路，從業(yè)者既要跨越國(guó)際領(lǐng)頭廠商的專利大山，還要時(shí)刻注意那些政治、商業(yè)的攔路石，它們有時(shí)是靜止的，有時(shí)可能自高山而下。

但正如攀登珠峰一樣，要站在世界之巔，這些難關(guān)都需要克服，且越是臨近峰頂時(shí)，會(huì)走得越艱難，但一旦登頂，喜悅、意義和風(fēng)景都是非凡的。