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基于超構(gòu)表面的像素級(jí)拜耳型分光濾色器

MEMS ? 來(lái)源:麥姆斯咨詢 ? 作者:麥姆斯咨詢 ? 2022-06-20 11:59 ? 次閱讀
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據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近日,南京大學(xué)和華為技術(shù)有限公司共同開發(fā)了一種基于超構(gòu)表面的像素級(jí)拜耳型分光濾色器(metasurface-based Bayer-type colour router,MBCR),該分光濾色器對(duì)紅光、綠光和藍(lán)光的峰值顏色收集效率分別為58%、59%和49%,并且在可見光區(qū)域(400nm-700nm)的平均能量利用效率高達(dá)84%,是商用拜耳彩色濾光片的兩倍。此外,通過200μm?×?200μm的基于超構(gòu)表面的分光濾色器和單色成像傳感器的一起工作,進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了彩色成像,獲得的圖像強(qiáng)度是商用拜耳彩色濾光片的兩倍。這項(xiàng)研究開創(chuàng)性地提出了一種高效的光譜信息獲取機(jī)制,有望在下一代成像系統(tǒng)的開發(fā)中顯示其廣闊的應(yīng)用前景。

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顏色分光濾色響應(yīng)試驗(yàn)

數(shù)碼相機(jī)和移動(dòng)電話中使用的大多數(shù)成像系統(tǒng)都涉及一系列精細(xì)級(jí)聯(lián)的光學(xué)元件和電子器件。為了獲得多彩世界的顏色信息,需要在成像系統(tǒng)中引入彩色成像傳感器。然而,大多數(shù)成像傳感器都只能獲得強(qiáng)度信息,例如單色成像傳感器。為了獲取顏色信息,必須使用彩色濾光片,以允許窄帶光通過并到達(dá)成像傳感器,同時(shí)吸收或反射其他波長(zhǎng)的光。迄今為止,大多數(shù)商業(yè)化的彩色成像傳感器都是基于Bryce E. Bayer于1976年發(fā)明的拜耳彩色濾光片(BCF)設(shè)計(jì)的。盡管BCF被廣泛使用,但由于多通道頻譜提取配置,BCF仍受到固有的能量利用效率限制,這是在頻譜通道數(shù)量和能量利用效率之間進(jìn)行權(quán)衡的結(jié)果。為了提高透射率或顏色精度,提出了基于各種納米光子結(jié)構(gòu)(例如金屬表面等離激元結(jié)構(gòu)或光子晶體結(jié)構(gòu))的新型濾光片。然而,從根本上看,多通道光譜提取機(jī)制仍然與40年前引入的機(jī)制相同,導(dǎo)致了彩色成像中能量利用效率低的瓶頸問題。

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傳統(tǒng)BCF的濾光原理(左) vs. 新型MBCR的分光濾色原理(右)

為了解決這個(gè)問題,近年來(lái)提出了一些創(chuàng)新的解決方案,包括不帶彩色濾光片(CF)的堆疊式顏色相關(guān)光電二極管、改進(jìn)的CF組合以及各種顏色分光濾色器(colour router,CR)。堆疊式顏色相關(guān)光電二極管是一種基于有機(jī)光電導(dǎo)薄膜的新型彩色成像傳感器,用于提高光的利用效率,但其大像素尺寸和復(fù)雜的有機(jī)光電轉(zhuǎn)換模塊仍難以廣泛應(yīng)用于彩色相機(jī)。改進(jìn)的CF組合(如RYYB和RGBW)已在市場(chǎng)上得以應(yīng)用,其增加了進(jìn)入的光量,但同時(shí)也產(chǎn)生了另一個(gè)成像偏色問題,這需要通過AI算法進(jìn)行一些顏色后處理。此外,已有研究人員報(bào)告的CR可以充分利用入射到成像傳感器上的光線,并將不同的顏色轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的像素;也有研究表明三維(3D)CR是通過使用多層堆疊結(jié)構(gòu)或逆向設(shè)計(jì)方法構(gòu)建的3D結(jié)構(gòu)來(lái)提高RGB光的能量利用效率和顏色收集效率。盡管3D納米結(jié)構(gòu)在理論上表現(xiàn)優(yōu)異,但3D納米結(jié)構(gòu)制造困難,阻礙了其實(shí)際使用,尤其是在可見光區(qū)域工作的器件中。CR的一個(gè)實(shí)用候選對(duì)象是具有波長(zhǎng)尺度厚度的超構(gòu)表面,可以任意操縱光的相位、偏振、強(qiáng)度和其他參數(shù)。通過使用超構(gòu)表面,實(shí)現(xiàn)對(duì)各種光的操縱功能,例如高質(zhì)量聚焦和成像、全息、偏振生成和光束控制。充分利用超透鏡在精確控制光聚焦方面的優(yōu)勢(shì),CR功能可以通過單層超透鏡材料實(shí)現(xiàn),這種單層超透鏡材料具有由不同波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的不同納米結(jié)構(gòu)組成的單元。利用專門設(shè)計(jì)的納米結(jié)構(gòu)的光譜分裂機(jī)制,可以將不同波長(zhǎng)分別散射到一個(gè)方向的不同位置。然而,成像傳感器平面中的不對(duì)稱CR圖案或產(chǎn)生的顏色不是三原色都會(huì)嚴(yán)重地影響彩色成像效果。

南京大學(xué)和華為的研究人員利用遺傳優(yōu)化的逆向設(shè)計(jì)方法開發(fā)了一種基于超構(gòu)表面的拜耳型分光濾色器(MBCR),其像素大小為1?μm?×?1?μm,適用于商用化的CMOS圖像傳感器。與單向顏色散射機(jī)制不同,研究人員證明了MBCR適用于基于單層超構(gòu)表面的標(biāo)準(zhǔn)拜耳型排列(RGGB)。這種MBCR可以顯著提高RGB光的能量利用效率(84%)和顏色收集效率(約50%)。此外,通過MBCR實(shí)現(xiàn)了全彩成像,并且與商用成像傳感器相比,其獲得的圖像顯示出更高的亮度。

研究人員通過任意初始化生成的設(shè)計(jì)原型如下圖所示,其是垂直方向上超構(gòu)表面的一個(gè)單位單元,對(duì)應(yīng)于四個(gè)像素。MBCR的單元周期為2μm?×?2μm,與商用CMOS圖像傳感器的常用像素大?。?μm?×?1μm)相匹配。由于RGGB圖案具有對(duì)角對(duì)稱性,且MBCR必須與偏振無(wú)關(guān),因此在設(shè)計(jì)中必須將單元設(shè)置為對(duì)角對(duì)稱。

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MBCR主要設(shè)計(jì)過程和數(shù)值模擬結(jié)果

為了對(duì)MBCR的分光濾色性能進(jìn)行可視化,研究人員使用彩色蘋果的圖片演示了彩色成像,并將成像結(jié)果與商用BCF的成像結(jié)果進(jìn)行了比較。MBCR和單色成像傳感器均直接捕獲帶有馬賽克圖案的原始灰度圖片。之后,MBCR的光譜響應(yīng)被施加到每個(gè)像素上,使用轉(zhuǎn)換矩陣方法獲得帶有馬賽克圖案的彩色圖片。轉(zhuǎn)換矩陣將檢測(cè)到的光譜強(qiáng)度直接轉(zhuǎn)換為三通道RGB值。最后將帶有馬賽克圖案的彩色圖片還原。即根據(jù)上述RGGB信息,進(jìn)行像素插值算法(例如,去馬賽克插值)以獲得每個(gè)RGGB單元的RGB值。通過將RGGB像素值轉(zhuǎn)換為一個(gè)三通道像素值,模擬實(shí)際彩色成像傳感器中的三通道成像,最終重建彩色圖像。結(jié)果同時(shí)表明,與商用BCF相比,通過MBCR獲得的圖像具有更高的亮度。

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MBCR和BCF成像響應(yīng)的比較:(a)彩色成像的后處理過程;(b, c)通過分別使用MBCR和BCF獲得的單色圖像直接重建獲得的灰度圖像,用于光譜強(qiáng)度比較;(d, e)分別結(jié)合MBCR和BCF的光譜響應(yīng)的重建彩色圖像。

總體而言,研究人員開發(fā)了一種像素大小符合商用CMOS圖像傳感器的MBCR,其非常適合通過常見的半導(dǎo)體工藝技術(shù)與現(xiàn)有CMOS圖像傳感器直接集成。研究人員預(yù)計(jì),MBCR將能夠?yàn)楦鞣N新興應(yīng)用創(chuàng)建高效微型彩色成像傳感器。

論文信息:
Zou, X., Zhang, Y., Lin, R. et al. Pixel-level Bayer-type colour router based on metasurfaces. Nat Commun 13, 3288 (2022).
https://doi.org/10.1038/s41467-022-31019-7

審核編輯 :李倩

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原文標(biāo)題:基于超構(gòu)表面的拜耳型分光濾色器,可與CMOS圖像傳感器集成

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