應(yīng)對(duì)超低溫挑戰(zhàn)需要專業(yè)化的探針臺(tái)系統(tǒng)

低溫測(cè)試環(huán)境首先需要一個(gè)真空腔室，以提供合適的密封和排空的環(huán)境。使用液氮或液氦或其他制冷方法的低溫恒溫器可將溫度降至77K或更低;電阻加熱器，低溫等級(jí)溫度傳感器和溫度控制器完成溫度調(diào)節(jié)。信號(hào)通路，光學(xué)成像系統(tǒng)和探針定位器控制都需要特殊處理才能進(jìn)入極端真空/低溫環(huán)境。安全，振動(dòng)和樣品安裝也為真空/低溫條件帶來了新的挑戰(zhàn)。當(dāng)溫度下降時(shí)，冷凝和顆粒也是獨(dú)特的復(fù)雜影響因素。甚至探針也必須采用獨(dú)特設(shè)計(jì)以用于低溫條件。最后，盡管許多解決方案僅用于只有少量通道的單個(gè)小型切片樣品，但工藝和產(chǎn)品認(rèn)證仍需要更高級(jí)別的工具。大批量測(cè)試需要一個(gè)大型腔室，用于完整的晶圓樣品，多通道低溫探針卡，一個(gè)軟件控制的晶圓載物臺(tái)，用于跨晶圓表面的分步重復(fù)測(cè)試，以及其他一些功能，以最大限度地提高測(cè)試產(chǎn)能。

高產(chǎn)能設(shè)備居業(yè)界領(lǐng)先地位

FormFactor在高產(chǎn)能低溫晶圓測(cè)試界居于領(lǐng)先地位，具有無與倫比的強(qiáng)大功能組合：

• 具有可進(jìn)行分步及重復(fù)自動(dòng)化的可編程電動(dòng)XYZΘ四軸架構(gòu)。
• 基于影像系統(tǒng)的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)的步進(jìn)系統(tǒng)。
• 支持多達(dá) 8 個(gè)易操作且高穩(wěn)定的超低溫探針（用于 DC、RF 和光信號(hào)）—— 以及用于更高通道數(shù)的探針卡。
• 樣品尺寸從碎片到 200mm晶圓（可提供 300mm晶圓選項(xiàng)）。
• 無損晶圓更換。
• 支持多個(gè)黑體輻射源，顯微鏡和其他設(shè)備的可編程自動(dòng)定位。

高測(cè)試產(chǎn)能可滿足客戶從實(shí)驗(yàn)室概念轉(zhuǎn)向產(chǎn)品特性分析，從設(shè)計(jì)調(diào)試到大批量工程/生產(chǎn)測(cè)試。 FormFactor的產(chǎn)品涵蓋了多種尺寸和自動(dòng)化級(jí)別應(yīng)用，并提供靈活/可定制的配置。

審核編輯：符乾江