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OptoVue Pro—通過實(shí)時原位校準(zhǔn)縮短數(shù)據(jù)采集時間

芯??萍?/a> ? 來源:芯睿科技 ? 作者:芯??萍?/span> ? 2022-06-29 18:02 ? 次閱讀
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我們最近為CM300xi探針臺推出了一些革命性的新型硅光子(SiPh)探針解決方案。這些新功能之一是專有的OptoVue Pro?,可在不移除當(dāng)前被測試晶圓的情況下就地進(jìn)行光學(xué)定位器校準(zhǔn)

我們最近推出了一些革命性的新產(chǎn)品硅光子學(xué)(SiPh)的探測功能CM300xi探針臺。這些新功能之一是獨(dú)有的OptoVue Pro?。

OptoVue Pro位于CM300xi的輔助卡盤位置,包括功能豐富的工具集,可提供更快的時間來獲得更準(zhǔn)確的測量結(jié)果。它提供了先進(jìn)的技術(shù),可在不移除當(dāng)前被測試晶圓的情況下就地進(jìn)行光學(xué)定位器校準(zhǔn)。這些無縫的自動校準(zhǔn)可以在無需操作員干預(yù)的情況下執(zhí)行,從而縮短了測量時間并降低了測試成本。此外,開創(chuàng)性的新設(shè)計提供了更多的光纖/陣列觀察方向,從而帶來了更精確的校準(zhǔn)結(jié)果。

OptoVue Pro的其他獨(dú)有功能是真正的水平邊緣耦合和單個光子設(shè)備的探測,光纖和光纖陣列的檢查和測量以及探頭尖端的原位功率測量。

將這些功能進(jìn)一步細(xì)分…

CalVue– CalVue支持Z位移和光學(xué)定位的原位校準(zhǔn)。利用獨(dú)特設(shè)計的后視鏡技術(shù),eVue的物鏡照明可用于查看光纖/陣列的所有方面,而無需外部光。這消除了對傾斜照明的需求,并實(shí)現(xiàn)了實(shí)時的實(shí)時自動機(jī)器視覺校準(zhǔn)。

PowerVue

使用高靈敏度光電二極管,PowerVue能夠在光纖/陣列尖端進(jìn)行原位功率測量,以了解進(jìn)入設(shè)備的實(shí)際功率。它還可以用于測量和去除激光到光纖的路徑損耗。

ProbeVue

使用一種新穎的設(shè)計技術(shù),ProbeVue允許對單根光纖和光纖陣列以及DCRF探頭進(jìn)行向上檢查的探頭檢查功能。如果測量性能下降,則可以在原位查找探頭的磨損或損壞。對于光纖陣列探測,通過能夠找到從陣列角到V形槽中第一根光纖的初始陣列耦合偏移位置的功能,這非常有價值。

迪威

  • 測試單個芯片并將測試轉(zhuǎn)移到晶圓級的能力最終改變了新項(xiàng)目的批量生產(chǎn)時間。 DieVue是一個單獨(dú)的裸片固定位置,可使用標(biāo)準(zhǔn)套件或定制裸片固定器將多達(dá)25x25mm的裸片真空固定,以用于表面和邊緣耦合應(yīng)用。 DieVue是業(yè)內(nèi)唯一能夠?qū)崿F(xiàn)真正的芯片級水平邊緣耦合探測和優(yōu)化的解決方案。
DieVuePull-out chuck with OptoVue Pro in the auxiliary chuck position.

有關(guān)Silicon Photonics設(shè)備測量的這些以及其他新功能的更多信息,請聯(lián)系我們。

如果您對半導(dǎo)體測試有興趣,請?jiān)L問天津芯睿半導(dǎo)體科技有限公司的官方網(wǎng)站。

審核編輯:符乾江

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