由于美國調(diào)整芯片出口規(guī)則，中國對芯片國產(chǎn)化的重視程度越來越高，并定下了2025年將芯片自給率提高到70%的目標(biāo)，國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)也掀起了投資熱潮。近年來，隨著國家的對于集成電路產(chǎn)業(yè)的重視以及資本的支持，國內(nèi)的集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，但是與國外仍有不小的差距，特別是在上游的半導(dǎo)體材料等領(lǐng)域，更是差距巨大。不過，隨著國內(nèi)半導(dǎo)體制造的崛起，也推動了半導(dǎo)體材料的國產(chǎn)化進(jìn)程。雖然目前各大主要品類的半導(dǎo)體材料領(lǐng)域均有國內(nèi)企業(yè)涉足，但整體對外依存度仍在 60%以上，特別是大尺寸半導(dǎo)體硅片、光刻膠、電子特氣等材料更為依賴進(jìn)口，進(jìn)口替代空間巨大。除技術(shù)難題外，還有一個阻絆我們半導(dǎo)體制造的崛起的難題：在芯片制程中要使用到極高毒性,腐蝕性及易燃性氣體、液體和大量可燃性塑材。

在目前工藝技術(shù)較為先進(jìn)的半導(dǎo)體晶圓代工廠的制造過程中，全部工藝步驟超過450道，其中大約要使用50種不同種類的氣體。一般把氣體分為大宗氣體和特種氣體兩種。大宗氣體一般是指集中供應(yīng)且用量較大的氣體，特種氣體主要有各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體以及其他廣為各種制程設(shè)備所使用的惰性氣體等。

如沉積工藝中作為所用的NH3氨氣、O2氧氣等，

光刻時常用的H2氫氣等，

刻蝕時常用的HCL氯化氫、Cl2氯氣、F2氟氣等。

熱處理時常用的O2氧氣和H2氫氣等。

腔室清洗時常用的鹵化物HCI氯化氫、Cl2氯氣、HF氟化氫、HBr溴化氫和O2氧氣等以及離子注入法作為n型硅片離子注入磷源、砷源的PH 3磷化氫和AsH3砷化氫等。

從以上的應(yīng)用可以看出，氣體在半導(dǎo)體晶圓代工廠有著非常重要的作用。因為各種氣體的特性不同，所以要設(shè)計出不同的氣體來滿足各種不同制程的需求。

半導(dǎo)體制造業(yè)所使用的特種氣體一般按其使用時的特性，可分為易燃性氣體、毒性氣體、腐蝕性氣體、惰性氣體和氧化性氣體五大類。

隋性氣體本身一般不會直接對人體產(chǎn)生傷害，在氣體傳輸過程中，相對于安全上的要求不如以下其他氣體嚴(yán)格。惰性氣體具有窒息特性，不開闊空間下發(fā)生少量泄漏不會使人窒息而造成工傷事故；

易燃性氣體一般指可發(fā)生自燃、易燃的可燃?xì)怏w。當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時，PH3等氣體也會產(chǎn)生自燃?？扇家兹?xì)怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高，屬于易燃?xì)怏w有H2,NH3,PH3, 等等；

毒性氣體是指在半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。如PH3、NH3、HCL、CL2、AsH3、CO等氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體；

腐蝕性氣體通常同時也兼有較強(qiáng)的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強(qiáng)的腐蝕性，如HCl, HF, 等；

氧化性氣體有較強(qiáng)的氧化性，一般同時具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。

半導(dǎo)體制造業(yè)被美國(FMS)組織列為”極高風(fēng)險”的行業(yè)。主要是因為它在制程中要使用到極高毒性,腐蝕性及易燃性氣體、液體和大量可燃性塑材，再加上無塵室的密閉作業(yè)環(huán)境及回風(fēng)系統(tǒng),所有這些因素都大大增加了半導(dǎo)體廠房的風(fēng)險。作為半導(dǎo)體晶圓代工廠氣體的使用者，每一位工作人員都應(yīng)該在使用前對各種危險氣體的安全數(shù)據(jù)加以了解，并且應(yīng)該知道如何應(yīng)對這些氣體外泄時的緊急處理程序。一般來講，我們將有三重保障來防范萬一有意外發(fā)生的危險氣體外泄進(jìn)入到工作環(huán)境中。一個是特種氣體的氣瓶以及全部經(jīng)過正負(fù)壓測漏的氣體輸送管路；第二個是持續(xù)不斷的排氣抽風(fēng)系統(tǒng)（Exhaust），管路節(jié)點如氣瓶柜、VMB、工作臺等均具有很強(qiáng)排氣抽風(fēng)系統(tǒng)，以確保每一管路節(jié)點外圍都處于負(fù)壓環(huán)境。若發(fā)生微量的有毒氣體的泄漏，排氣抽風(fēng)系統(tǒng)將第一時間抽出。另外一個很重要的是：根據(jù)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB50646-2011和《有毒氣體檢測報警儀技術(shù)條件及檢驗方法》HG23006中的有關(guān)規(guī)定，同時結(jié)合半導(dǎo)體工廠使用氣體檢測裝置產(chǎn)品的快速響應(yīng)要求作出檢測報警響應(yīng)時間規(guī)定。要求處于抽風(fēng)口或環(huán)境點安裝毒性氣體偵測器及系統(tǒng)，若發(fā)生任何有毒氣體的泄漏將會被氣體偵測系統(tǒng)所偵測到，這個控制系統(tǒng)將根據(jù)氣體外泄對人體危害的大小來確定整個氣體輸送系統(tǒng)的相關(guān)互鎖動作，嚴(yán)重時緊急關(guān)閉上游所有氣源，同時會驅(qū)動中央控制室和現(xiàn)場的相關(guān)報警系統(tǒng)LAU，甚至?xí)?qū)動全廠的自動語音廣播系統(tǒng)通知立即疏散，要求相關(guān)人員迅速撤離報警區(qū)域。因此只要工程技術(shù)人員嚴(yán)格按照所制定的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)程序操作，所有這些安全裝置都將確保人員不會有安全上的顧慮。

工采網(wǎng)提供監(jiān)測一氧化碳CO、氨氣NH3、氧氣O2、氯化氫HCL、氯氣CL2、氟化氫HF、磷化氫PH3和氫氣H2等有毒有害/易燃易爆氣體傳感器，是針對半導(dǎo)體制造業(yè)毒氣監(jiān)測應(yīng)用的專業(yè)級傳感器產(chǎn)品，傳感器壽命長，可長時間穩(wěn)定持續(xù)監(jiān)測，可大大降低半導(dǎo)體制造業(yè)毒氣監(jiān)測成本，實現(xiàn)大范圍安裝應(yīng)用，為半導(dǎo)體制造業(yè)毒氣監(jiān)測提供了切實可行的安全生產(chǎn)監(jiān)測解決方案。

具體產(chǎn)品如下：

審核編輯 黃昊宇