Baw諧振器制備工藝

Baw 諧振器常見的結(jié)構(gòu)有體硅背刻蝕型、空氣腔型、固態(tài)裝配型、以及剪切模式等。視頻中僅僅是空氣腔型。

FBAR的多層膜性能的好壞關系到 FBAR 的機械穩(wěn)定性、頻率穩(wěn)定性、機電轉(zhuǎn)換的效率及寄生損耗。

根據(jù) Yole Développemen 機構(gòu)研究報告，在 2015 年平均每部手機要 50 顆濾波器，到 2020 年平均每部手機需要支持 30-40 個頻段，則每部手需要 100顆以上濾波器，因此未來手機射頻前端器件的增長主要來自于濾波器、雙工器和多工器。

5G 時代需要支持的頻段數(shù)量將會是現(xiàn)在的一倍多，同時會新增多個通信頻段，未來全球 2G/3G/4G/5G 通信組網(wǎng)合計需要支持的頻段數(shù)量將達到 91 個以上，這將帶動射頻濾波器產(chǎn)業(yè)大爆發(fā)。

理論上單個頻段的射頻信號處理需要 2顆濾波器，多個濾波器會集成到濾波器組中，手機配備的濾波器與頻段數(shù)量之間的關系并非簡單線性比例。

但隨著通信頻段增多，濾波器的設計難度及需求數(shù)量將會大幅的增加，相應的價值量和市場總量，都會遠超過現(xiàn)有的市場規(guī)模。