什么是SEMI F57

SEMI Standard

SEMI是國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)，SEMI Standard主要是為半導(dǎo)體制程設(shè)備，提供一套實(shí)用的環(huán)保、安全和衛(wèi)生準(zhǔn)則，SEMI F57規(guī)定了適用于在超純水系統(tǒng)中輸送超純水的超高純度聚合物材料和部件的最低性能要求，針對(duì)聚合物材料和組件的性能驗(yàn)證。

超純水和濕化學(xué)品輸送系統(tǒng)

材料適用性評(píng)估

半導(dǎo)體先進(jìn)制程要求工藝使用的超純水，超純化學(xué)品的純度越來(lái)越高，污染物水平越來(lái)越低，用于超純水，超純化學(xué)品運(yùn)輸和儲(chǔ)藏的系統(tǒng)和部件不能帶入污染。雖然在超純水與化學(xué)品的質(zhì)量都有相對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范，大部分都是末端標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)其各個(gè)組件的制造商來(lái)說(shuō)，是無(wú)法直接應(yīng)用的。目前在SEMI系列規(guī)范中，SEMI F57是直接從材料選擇、生產(chǎn)過(guò)程、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等方面進(jìn)行規(guī)范和建議的文件，讓超純水和濕化學(xué)品輸送系統(tǒng)材料的適用性評(píng)估有所參考依據(jù)。

· 哪些部件與組件需要執(zhí)行SEMI F57的評(píng)估

· SEMI F57離子污染標(biāo)準(zhǔn)

· SEMI F57金屬污染標(biāo)準(zhǔn)

· SEMI F57總有機(jī)碳 (TOC）標(biāo)準(zhǔn)

· SEMIF57表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)

SGS服務(wù)內(nèi)容

SGS 協(xié)助聚合物材料及其組件制造商與化學(xué)品與超純水系統(tǒng)供貨商及各大光電半導(dǎo)體廠符合 SEMI F57 以下的測(cè)試要求。

Quantitative Measures of Compliance

定量要求

Particle Contribution Limits

顆粒限值

Metallic Contribution Limits

金屬元素限值

Ionic Contribution Limits

離子限值

Particle Contribution Limits

顆粒限值

Total Organic (Oxidizable) Carbon Contribution Limits

總有機(jī)碳限值

Surface Roughness Limits

表面粗糙度限值

Qualitative Measures of Compliance

定性要求

Mechanical Properties 機(jī)械性能

Physical Properties 物理性能

Chemical Resistance 耐化學(xué)性

Reliability,Traceability Requirements

可靠性、可追溯性要求

Packaging Requirements, Certification包裝要求、認(rèn)證

審核編輯 ：李倩