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基于石墨烯的可滑動納米機(jī)電諧振器

MEMS ? 來源:MEMS ? 作者:MEMS ? 2022-11-03 10:38 ? 次閱讀
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中國科大郭光燦院士團(tuán)隊在納米機(jī)電諧振器研究中取得重要進(jìn)展。該團(tuán)隊郭國平、宋驤驤等人與蘇州大學(xué)Joel Moser教授及本源量子計算有限公司合作,實(shí)現(xiàn)了基于石墨烯的可滑動納米機(jī)電諧振器。相關(guān)研究成果近日以“Sliding nanomechanical resonators”為題,發(fā)表于《自然·通訊》(Nature Communications)上。

一個振動物體的振動性質(zhì)受到其固定方式的影響,這一規(guī)律不僅激勵人們在宏觀世界發(fā)明了各式各樣獨(dú)具特色的樂器,也指引人們在微觀尺度上設(shè)計制備不同類型的力學(xué)諧振器。其中,納米機(jī)電諧振器具有質(zhì)量輕、頻率高、品質(zhì)好、可調(diào)諧等優(yōu)點(diǎn),在靈敏探測、信號傳感、信息處理等領(lǐng)域展現(xiàn)出廣闊的應(yīng)用前景。盡管這些納米機(jī)電諧振器具有不同的形狀和振動模式,但它們通常是被穩(wěn)定的固定在襯底上。隨著研究的深入,能否在納米尺度上實(shí)現(xiàn)其他的固定方式,從而對納米機(jī)電諧振器的力學(xué)性能進(jìn)行調(diào)控,逐漸成為研究者們關(guān)注的問題。

作為二維材料的石墨烯,具有原子級平整的界面,其優(yōu)異的力學(xué)和電學(xué)性能,使其成為研究納米力學(xué),制備納米機(jī)電諧振器的理想材料。我校郭國平教授研究組在前期研究工作(Nat. Commun. 9, 383 (2018); PNAS 117, 5582 (2020); Nano Lett. 21, 8571 (2021))中,發(fā)展出了一套預(yù)先刻蝕襯底、制備電極再轉(zhuǎn)移石墨烯的納米機(jī)電諧振器制備方式。在這樣制備的器件中,石墨烯可以在支撐電極上滑動。研究團(tuán)隊發(fā)現(xiàn)器件諧振頻率隨著柵壓的往返調(diào)節(jié)展現(xiàn)出頻率回滯環(huán),環(huán)的大小可受柵壓變化范圍和掃描速度的調(diào)制。這表明器件諧振頻率不僅依賴于施加?xùn)艍旱拇笮?,也與柵壓的施加方式有關(guān)(如圖1)。

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圖1 (a)基于石墨烯的可滑動納米機(jī)電諧振器;(b)器件隨著柵壓往返調(diào)節(jié)展現(xiàn)出頻率回滯環(huán)。

為了解釋這一新奇實(shí)驗(yàn)結(jié)果,研究團(tuán)隊提出了可滑動納米機(jī)械振子模型:一方面,增加?xùn)艍禾岣吡耸┲械膽?yīng)力,使諧振頻率上升;另一方面,在柵壓產(chǎn)生的靜電力作用下,石墨烯在固定點(diǎn)處發(fā)生了滑動,使懸浮部分長度增加,降低諧振頻率。這兩種機(jī)制的競爭導(dǎo)致了頻率環(huán)的出現(xiàn)。利用這一模型進(jìn)行理論計算,研究團(tuán)隊很好復(fù)現(xiàn)了實(shí)驗(yàn)結(jié)果。進(jìn)一步,研究團(tuán)隊發(fā)現(xiàn)頻率環(huán)的面積正比于滑動過程中因摩擦所導(dǎo)致的能量損耗,并據(jù)此估算了石墨烯與電極金屬之間的摩擦耗散,與其他小組在掃描探針實(shí)驗(yàn)中測得的結(jié)果一致。這一結(jié)果表明,可滑動納米機(jī)電諧振器可以為納米摩擦力學(xué)研究提供新的研究方法和平臺(如圖2)。

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圖2 (a)利用可滑動納米機(jī)械振子模型計算得到的頻率環(huán);(b)頻率環(huán)的面積正比于滑動過程中因摩擦所導(dǎo)致的能量損耗。

正如中國古琴、印度西塔琴、日本三味線等東方樂器一樣,它們獨(dú)特的音色來源于琴弦振動時固定點(diǎn)的含時變化。在納米尺度的可滑動納米機(jī)電諧振器中,滑動所引入的含時邊界條件將極大豐富器件的振動性質(zhì),提供全新的器件力學(xué)性能調(diào)控手段。這一研究結(jié)果展示了在納米尺度上實(shí)現(xiàn)新型固定方式的可能。

中國科大中科院量子信息重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室郭國平教授、宋驤驤特任副研究員、蘇州大學(xué)Joel Moser教授為論文共同通訊作者,中國科大研究生應(yīng)鉞、特任副研究員張拙之為論文共同第一作者。該工作得到了科技部、國家自然科學(xué)基金委、安徽省的資助。

論文鏈接:
https://www.nature.com/articles/s41467-022-34144-5

審核編輯 :李倩

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原文標(biāo)題:中國科大實(shí)現(xiàn)可滑動納米機(jī)電諧振器

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