據(jù)麥姆斯咨詢報道，近日，波蘭弗羅茨瓦夫理工大學(xué)（Wroc?aw University of Science and Technology）和波蘭烏卡西耶威切研究網(wǎng)絡(luò)（?ukasiewicz Research Network）的研究人員組成的團隊在Scientific Reports期刊上發(fā)表了題為“Microcantilever-based current balance for precise measurement of the photon force”的論文，首次提出了一種基于微懸臂梁的電流天平的光子力（PF）測量MEMS（pfMEMS）裝置。本文提出的測量方法提供了對光子力相互作用的定量而非定性評估。在靜態(tài)測量中，研究團隊測量了高達67.5pN范圍內(nèi)的光子力相互作用，分辨率為30fN。

圖1 測量光子力的實驗裝置：（a）具有電信號和光信號的實驗裝置示意圖；（b）實驗裝置的光學(xué)部分

納米計量學(xué)被定義為對納米尺度現(xiàn)象的定量描述，需要尋求特定的計量校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)。為此，研究人員正在利用一系列的撓度驅(qū)動和撓度檢測技術(shù)來構(gòu)建精確的微機電系統(tǒng)（MEMS）。隨著納米計量器件的使用，人們有可能測量低至飛米（fm）的距離和低至飛牛頓（fN）的力——在這個數(shù)量級上光子力是可測量的。

19世紀(jì)，Maxwell和Bartoli在電磁波的理論描述中預(yù)言了光束在表面誘發(fā)的力。直到1901年Nichols輻射計的發(fā)明，光子力才在實驗中得到證實。自此，一個多世紀(jì)以來，人們提出了不同的光子力測量方法，包括扭力天平、靜電和壓電方法等。

人們開發(fā)了許多基于光子力現(xiàn)象的應(yīng)用。其中，最知名的技術(shù)是在光鑷中操縱微粒，光子誘發(fā)的力也被認(rèn)為是空間解決方案中的潛在推動力。

當(dāng)今的技術(shù)使得產(chǎn)生功率從pW到PW（101?W）的光束成為可能。光機械現(xiàn)象是高分辨率和可溯源計量學(xué)的研究對象。人們對于高能量和低能量最感興趣，因為在這兩種情況下，光子流可以用于驅(qū)動機械系統(tǒng)和器件的位移。

在納米尺度上，光子力相互作用能夠以極高的分辨率對結(jié)構(gòu)施加力。光子力可以利用特性良好的輻射源進行精確地電子控制，甚至在反作用設(shè)置中的效果更好。在這種情況下，光子力致動器件可應(yīng)用于各種環(huán)境。然而，在計量解決方案中，必須對力進行校準(zhǔn)。因此，需要設(shè)計具有高分辨率和可重復(fù)性測量光子力相互作用的計量裝置。

從歷史的角度來看，電流天平被用于確定物體的重力和電磁鐵的電磁力之間的平衡狀態(tài)。在電流天平中，顧名思義，重力是由電流和電壓的電量表示的。電流天平的靈敏度受限于位移檢測器的靈敏度。這就形成了一種計量裝置，并有可能用電量表示力。在這種設(shè)置中，人們甚至可以檢測到非常細(xì)微的力，因為靈敏度是由天平的機械特性和位移傳感器的靈敏度決定的。

MEMS是測量微小力的常用工具，因此它們也被用于光子力相互作用的測量。使用微懸臂梁作為力-撓度換能器和撓度的有源補償方法已經(jīng)被報道。然而，具有直接力補償?shù)腗EMS設(shè)置的光子力測量方法還未見報道。

利用宏觀耦合反射鏡設(shè)置，人們提出了測量光子力的電流天平方法。這些設(shè)置中的分辨率受到設(shè)置尺寸的限制，并且不超過20nN的下限。因此，力補償器件的微型化可能會改善可檢測力的范圍。

在本文中，作者們首次提出了一種基于微懸臂梁的電流天平的光子力計量MEMS（pfMEMS）裝置。該系統(tǒng)的核心是一根硅微懸臂梁，其U形“腿”是體積導(dǎo)電的。此外，它集成了一個微鏡，所分析的光子束聚焦在該微鏡上。微懸臂梁撓度的檢測是利用作為零點指示器的光束檢測器（OBD）完成的。微懸臂梁浸沒在磁場中，因此，當(dāng)通過U形“腿”的電流被控制時，就有可能補償光子力相互作用。有源微懸臂梁被用作力探測器，光子力測量是在具有電磁力補償?shù)拈]環(huán)設(shè)置中進行的。

與研究團隊之前的研究工作相反，本文提出的測量方法提供了對光子力相互作用的定量而非定性評估。最終的電流天平設(shè)置適用于幾十微瓦（μW）到幾瓦（W）的光源。文中給出了所進行的實驗的結(jié)果，在靜態(tài)測量中，他們測量了高達67.5pN范圍內(nèi)的光子力相互作用，分辨率為30fN。

圖2 用于光子力研究的熱增強pfMEMS微懸臂梁的掃描電鏡圖

審核編輯：劉清