電子工業(yè)乃是我國(guó)經(jīng)濟(jì)現(xiàn)代化當(dāng)中不可或缺的重要支撐力，而以集成電路為其代表的半導(dǎo)體芯片制造業(yè)而言，其是電子工業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)與核心。芯片性能好壞與工藝技術(shù)及設(shè)計(jì)的嚴(yán)格性、合理性及先進(jìn)性息息相關(guān)，而芯片可靠性及成品率，則與加工制造環(huán)境的潔凈度及制作材料的純度相關(guān)，尤其是伴隨當(dāng)今納米加工技術(shù)的不斷發(fā)展與廣泛應(yīng)用，超凈環(huán)境及超純材料已然成為半導(dǎo)體工業(yè)進(jìn)步與創(chuàng)新的關(guān)鍵。

潔凈廠房的標(biāo)準(zhǔn)

《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2013中制定：無(wú)塵室中空氣懸浮顆粒物濃度是可控的，其建造和運(yùn)行均應(yīng)降低室內(nèi)滯留、產(chǎn)生的塵粒數(shù)量，并且凈化區(qū)域溫濕度等相關(guān)參數(shù)都在可控范圍內(nèi)。由于工藝不同，需求的凈化等級(jí)和建造標(biāo)準(zhǔn)也不同，根據(jù)空氣中≥0.5μm/0.1μm的顆粒數(shù)對(duì)潔凈室分為：十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)等級(jí)別。

一般來(lái)說(shuō)國(guó)內(nèi)現(xiàn)行的標(biāo)準(zhǔn)有：GB/T16292-1996、BS5595、FS209E、ISO14644-1、歐盟GMP等，按照這些要求進(jìn)行特定顆粒的測(cè)量和計(jì)算，以對(duì)潔凈室和潔凈區(qū)域的清潔度水平進(jìn)行分級(jí)。根據(jù)生產(chǎn)工藝、機(jī)械設(shè)備的實(shí)際需求合理選擇最佳的凈化級(jí)別建造潔凈室，在達(dá)到需求的同時(shí)降低建造成本，資源能耗是凈化設(shè)計(jì)的基本目標(biāo)。

凈化空調(diào)自控系統(tǒng)

半導(dǎo)體廠房?jī)艋照{(diào)自控系統(tǒng)是電子廠房建設(shè)的重要組成部分，廠房各類(lèi)生產(chǎn)工藝的正常運(yùn)行都依賴(lài)于一個(gè)高品質(zhì)的潔凈環(huán)境。能迪科技canlead?凈化空調(diào)自控系統(tǒng)是一套智能化中央空調(diào)自控系統(tǒng)（PLC）、通過(guò)對(duì)于車(chē)間的溫度、濕度、壓力等實(shí)行自動(dòng)控制，使其穩(wěn)定高效運(yùn)行，從而達(dá)到潔凈車(chē)間的設(shè)計(jì)要求。

凈化車(chē)間濕度和壓力的控制

凈化車(chē)間濕度和壓力主要取決于新風(fēng)機(jī)組，新風(fēng)機(jī)組采用PLC控制，PLC根據(jù)室外空氣溫度將整個(gè)空氣處理過(guò)程分為三個(gè)區(qū)域：當(dāng)室外空氣含濕量是9.72g/kg干空氣時(shí)，空調(diào)機(jī)組冷盤(pán)管對(duì)空氣進(jìn)行除濕，再根據(jù)冷卻后的溫度調(diào)整電動(dòng)水閥的開(kāi)度保證出風(fēng)露點(diǎn)值穩(wěn)定；在室外氣體的含濕量小于9.72g/kg，并且濕球溫度大于9.53℃時(shí)，對(duì)空氣進(jìn)行冷卻加濕，通過(guò)出風(fēng)露點(diǎn)溫度值調(diào)整制冷盤(pán)管電動(dòng)水閥的開(kāi)度，由出風(fēng)含濕量控制加濕器的加濕量；當(dāng)室外空氣絕對(duì)濕度小于9.72g/kg及濕球溫度小于9.53℃時(shí)，對(duì)空氣加熱并加濕，通過(guò)出風(fēng)露點(diǎn)溫度自動(dòng)調(diào)整加熱盤(pán)管電動(dòng)閥的開(kāi)度，同時(shí)PLC根據(jù)出風(fēng)空氣含濕量值，控制加濕器加濕量。具體控制參數(shù)還要根據(jù)各個(gè)實(shí)例、工藝需求再做適當(dāng)調(diào)整，盡可能找到既滿足每個(gè)工藝要求又是最節(jié)能的控制點(diǎn)。

新風(fēng)機(jī)組壓差及加濕器控制

根據(jù)送風(fēng)主管壓力信號(hào)，通過(guò)變頻器調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速，保證送風(fēng)主管靜壓；室內(nèi)各個(gè)區(qū)域需求的壓差值通過(guò)調(diào)整對(duì)應(yīng)新風(fēng)支管電動(dòng)風(fēng)閥實(shí)現(xiàn)。

車(chē)間溫度控制

車(chē)間溫度主要由干盤(pán)管承擔(dān)，PLC根據(jù)潔凈室內(nèi)各區(qū)域溫度傳感器的平均值，調(diào)節(jié)不同區(qū)域干盤(pán)管電動(dòng)閥的開(kāi)度，保證房間該區(qū)域溫度的恒定值。自動(dòng)控制在滿足工藝需求的同時(shí)盡可能的適時(shí)調(diào)整降低能耗。

推進(jìn)中國(guó)半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)化

在國(guó)家鼓勵(lì)半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)化的政策導(dǎo)向下，本土半導(dǎo)體材料廠商不斷提升半導(dǎo)體產(chǎn)品技術(shù)水平和研發(fā)能力，能迪科技canlead?凈化空調(diào)自控系統(tǒng)將成為半導(dǎo)體行業(yè)飛速發(fā)展的助推劑，逐漸打破了國(guó)外半導(dǎo)體廠商的壟斷格局，推進(jìn)中國(guó)半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。

審核編輯黃宇