眾所周知,靜電是無處不在,無時(shí)不刻都在發(fā)生的,上一秒消除下一秒它又產(chǎn)生,從生活中的靜電到工業(yè)靜電,皆是如此。而在眾多工業(yè)領(lǐng)域中,靜電對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程產(chǎn)生的影響額外明顯,所以半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)靜電的防護(hù)要求也比其他行業(yè)要高,那么靜電對(duì)其的危害具體體現(xiàn)在哪些方面呢?
一、MOS結(jié)構(gòu)元器件,由靜電過高引起的介質(zhì)擊穿,造成短路
二、半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)元器件,由過熱引起的微等離子區(qū)二次擊穿
三、膜電阻器結(jié)構(gòu)元器件,由介質(zhì)擊穿形成新的電流通路
四、金屬化條結(jié)構(gòu)(IC),靜電造成與焦耳熱有關(guān)的開路
五、壓電晶體結(jié)構(gòu)元器件,由靜電干擾引起機(jī)械壓力震蕩過大,造成晶體斷裂
ESD智能實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng),其中的靜電壓傳感器正是發(fā)現(xiàn)靜電的利器,多種sensor可選。
審核編輯黃宇
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