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      6.1.3 p型區(qū)的離子注入∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應(yīng)用》

      深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-01-06 09:21 ? 次閱讀
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      6.1.3 p型區(qū)的離子注入

      6.1 離子注入

      第６章碳化硅器件工藝

      《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應(yīng)用》

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