硬脆材料劃片的實(shí)現(xiàn)依賴于銳利的金剛石刀片和高精度、高剛性的劃片裝置，以及高精度的空氣靜壓主軸等來(lái)實(shí)現(xiàn)。在了解硬脆材料的性能和劃片機(jī)理的基礎(chǔ)上，作為設(shè)備制造廠家對(duì)硬脆材料劃片工藝的研究，就顯得十分必要和緊迫，對(duì)工藝參數(shù)的研究和優(yōu)化，能夠支持設(shè)備及半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。

砂輪劃片機(jī)的劃片質(zhì)量和劃片效率，與劃片工藝參數(shù)有十分密切的關(guān)系．在劃片硬脆材料中，劃切道寬度與崩邊的大小，主要是受主軸轉(zhuǎn)速、刀片、劃片速度、劃片深度、冷卻方式等工藝參數(shù)的影響。所以本研究主要是研究工藝參數(shù)最佳化，從劃片質(zhì)量、劃片效率、刀片磨塤以及鄧命上綜合考慮，得出經(jīng)濟(jì)適用的工藝參數(shù)。

具體研究?jī)?nèi)容包括以下幾個(gè)方面：

( 1）砂輪劃片機(jī)劃切性能的研究。

( 2）金剛石砂輪刀片的特性分析研究。

( 3）劃片工藝參數(shù)主軸轉(zhuǎn)速、劃片速度、劃片深度和冷卻流且等對(duì)劃片影響的研究。

( 4）采用田口實(shí)驗(yàn)法，用正交實(shí)驗(yàn)對(duì)多種可控因素進(jìn)行定量研究，對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，得到優(yōu)化的工藝參數(shù)，并進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。

( 5）設(shè)備的功能完善和改進(jìn)，使設(shè)備更好地滿足工藝要求。