影響電動(dòng)輪廓儀測(cè)量精度的因素主要有以下幾點(diǎn)。

1．觸針的半徑

傳感器觸針的端部越尖，越能真實(shí)地反映被測(cè)工件表面的微觀幾何形狀誤差，但觸針過尖，不僅制造加工很困難，而且更易劃傷被測(cè)表面。觸針端部一般均制成圓弧形，此圓弧半徑越大，帶來的測(cè)量誤差越大。低精度輪廓儀觸針端部的圓弧半徑為5um或10um。高精度輪廓儀觸針端部的圓弧半徑為1um。

2．傳感器導(dǎo)頭半徑

傳感器導(dǎo)頭的作用是，觸針在被測(cè)表面上移動(dòng)的過程中，形成觸針感觸微觀幾何形狀誤差的基準(zhǔn)線，因此要求導(dǎo)頭曲率中心的運(yùn)動(dòng)軌跡與被測(cè)表面的宏觀幾何形狀輪廓一致。只有當(dāng)輪廓曲線起伏間距小或?qū)ь^的圓弧半徑較大時(shí)，才能達(dá)到此項(xiàng)要求。若導(dǎo)頭的圓弧半徑過小，則在測(cè)量中導(dǎo)頭將隨被測(cè)表面微小峰谷的起伏而上下運(yùn)動(dòng)．致使導(dǎo)頭曲率中心的運(yùn)動(dòng)軌跡與被測(cè)表面的宏觀輪廓不一致，造成觸針與導(dǎo)頭的相位誤差。影響測(cè)量精度。但導(dǎo)頭圓弧半徑過大，也會(huì)使被測(cè)表面的宏觀幾何形狀誤差反映到測(cè)量結(jié)果中，降低測(cè)量精度，因此一般要求導(dǎo)頭半徑為7～50mm。

3．測(cè)力

為確切反映被測(cè)表面粗糙度，要求觸針與被測(cè)表面可靠地接觸。如果測(cè)力過小難以達(dá)到此目的，會(huì)帶來一定的測(cè)量誤差。但如果測(cè)力較大，則既易劃傷被測(cè)表面，也易使觸針端磨損。所以測(cè)力大小必須適當(dāng)二另一方面，測(cè)力大小的．選擇還與觸針端部圓弧半徑大小相關(guān)。觸針圓弧半徑較大時(shí)，選擇的測(cè)力可適當(dāng)大些；觸針圓弧半徑較小時(shí)，選擇的測(cè)力必須相應(yīng)減小。一般對(duì)應(yīng)關(guān)系見表4.2.3。

表1觸針測(cè)力與圓弧半徑對(duì)應(yīng)關(guān)系

電動(dòng)輪廓儀的保養(yǎng)

①每天開機(jī)前及測(cè)量完畢后用高織紗棉布蘸無水酒精清潔工裝表面、測(cè)針、軌道。

②平時(shí)不使用時(shí)將所有電源關(guān)閉，且將測(cè)針的保護(hù)套套上。

③嚴(yán)禁用掃帚清掃地面，以免灰塵揚(yáng)起。

④對(duì)儀器進(jìn)行全面的維護(hù)和精度調(diào)整。