6.4.2.2 n型SiC的歐姆接觸∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應(yīng)用》
6.4.2.2 n型SiC的歐姆接觸
6.4.2 n型和p型SiC的歐姆接觸
6.4 金屬化
第６章碳化硅器件工藝
《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應(yīng)用》
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