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      白光干涉儀能測哪些三維形貌？

      中圖儀器 ? 2022-06-28 18:07 ? 次閱讀
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      中圖儀器SuperView W1白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

      poYBAGJp-qmAX0iJAAMYwmqDs14404.jpg

      SuperView W1白光干涉儀能對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

      白光干涉儀三維形貌測量

      poYBAGKYU1KADi95AAQ08KmDFRA739.png半導(dǎo)體-輪廓尺寸測量poYBAGK6yxmAUeJtAAGT66bq4cg363.png超光滑透鏡測量poYBAGK6yyeAKE6fAAQPlVXoHm4334.png超精密模具poYBAGKYU2SABMTHAAVGx8vDdNc865.png超精密加工

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      • 白光干涉儀
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        的頭像 發(fā)表于 08-30 17:38 ?1061次閱讀
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