白光輪廓儀與共聚焦顯微鏡的區(qū)別是什么？
SuperViewW1白光輪廓儀是以白光干涉技術(shù)為原理，實(shí)現(xiàn)器件亞納米級(jí)表面形貌測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。多用于測(cè)量大范圍光滑的樣品，尤其擅長(zhǎng)亞納米級(jí)超光滑表面的檢測(cè)，追求檢測(cè)數(shù)值的準(zhǔn)確；測(cè)量行程有140*100*100㎜，對(duì)于測(cè)量物體整個(gè)區(qū)域表面情況，還可以使用自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能。拼接測(cè)量功能3軸光柵閉環(huán)反饋，在樣品表面抽取多個(gè)區(qū)域測(cè)量，就可以快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測(cè)量，從而對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估分析。
SuperViewW1白光輪廓儀
超光滑透鏡測(cè)量以共聚焦測(cè)量技術(shù)為原理的VT6000共聚焦顯微鏡，擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè)，更容易測(cè)陡峭邊緣，雖在檢測(cè)分辨率上略遜，但成像圖色彩斑斕，便于觀察。
VT6000共聚焦顯微鏡
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