白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡同為微納米級表面光學(xué)分析儀器，都具有非接觸式、高速度測量、高穩(wěn)定性的特點(diǎn)，都有表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能，適用范圍廣，可測多種類型樣品的表面微細(xì)結(jié)構(gòu)。

白光干涉儀多用于測量大范圍光滑的樣品，尤其擅長亞納米級超光滑表面的檢測，追求檢測數(shù)值的準(zhǔn)確；（SuperViewW1白光干涉儀測量行程有140*100*100㎜，對于測量物體整個(gè)區(qū)域表面情況，還可以使用自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能。拼接測量功能3軸光柵閉環(huán)反饋，在樣品表面抽取多個(gè)區(qū)域測量，就可以快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量，從而對樣品進(jìn)行評估分析。）

超光滑透鏡測量

自動拼接功能

大尺寸樣品拼接測量

而共聚焦顯微鏡更容易測陡峭邊緣，擅長微納級粗糙輪廓的檢測，雖在檢測分辨率上略遜，但成像圖色彩斑斕，便于觀察。