大家好，我是【廣州工控傳感★科技】MSP-400-350-B-4-N-X壓力傳感器事業(yè)部，張工。

在微壓測(cè)量領(lǐng)域中，由于壓力數(shù)值較小，對(duì)敏感元件產(chǎn)生的物理變化也相應(yīng)的小很多，這就要求了敏感元件需要具有較高的靈敏度。MSP-400-350-B-4-N-X壓力傳感器由于靈敏度較高，頻率對(duì)壓力的變化更為敏感，因此在低壓高精度的測(cè)量中，有著比較好的性能表現(xiàn)，相對(duì)價(jià)格也比較高。當(dāng)精度要求不是很高的情況下，擴(kuò)散硅和電容式可以兼顧精度和成本。例如電容式真空傳感器，利用被測(cè)介質(zhì)的介電常數(shù)的變化，可以精確地測(cè)量低真空度。擴(kuò)散硅壓力傳感器的靈敏度相對(duì)較大，部分可以達(dá)到（1~2）mV/V/kPa，也可應(yīng)用于微壓下的表壓絕壓測(cè)量。

在低壓和中壓的測(cè)量應(yīng)用中，可選擇范圍較為廣泛，高精度可選諧振式，中等精度水平可以選用擴(kuò)散硅式，陶瓷電容電阻式，金屬應(yīng)變式等傳感器。擴(kuò)散硅式靈敏度高，體積小，生產(chǎn)工藝復(fù)雜，相對(duì)成本略高；陶瓷式成本低，精度低，適合大批量低成本應(yīng)用，受限于材料的特性，靈敏度較低，不耐壓力瞬變和機(jī)械沖擊；金屬應(yīng)變式兼顧成本和精度，采用熱處理的彈性體，可以適應(yīng)不同的測(cè)量介質(zhì)要求，敏感元部分根據(jù)不同的工藝，有濺射薄膜，玻璃微熔，應(yīng)變片等，覆蓋低靈敏度到高靈敏度的范圍，受限于彈性體工藝限制，在低壓力下的測(cè)量時(shí)，精度較差，優(yōu)點(diǎn)是金屬的彈性體可以承受較大的沖擊。

中高壓的應(yīng)用中，擴(kuò)散硅和金屬應(yīng)變式各有著廣泛的應(yīng)用，陶瓷受限于材料的強(qiáng)度，高壓耐受強(qiáng)度較差。高壓應(yīng)用中，金屬應(yīng)變式有較大的優(yōu)勢(shì)，得益于金屬彈性體材料的強(qiáng)度，可以承受幾百兆帕的壓力，同時(shí)能夠應(yīng)對(duì)較大沖擊的應(yīng)用場(chǎng)景，例如在石油壓裂領(lǐng)域有著非常廣泛的應(yīng)用。

MSP-400-350-B-4-N-X壓力傳感器按照準(zhǔn)確度等級(jí)來看，覆蓋從高精度的0.01級(jí)到低精度的4.0級(jí)，通常諧振式壓力傳感器能覆蓋從低壓到高壓，0.01級(jí)到0.05級(jí)的測(cè)量要求，擴(kuò)散硅傳感器的精度等級(jí)范圍為0.02~0.5級(jí)，陶瓷類的傳感器等級(jí)為0.2~4.0級(jí)，金屬應(yīng)變式0.5~4.0級(jí)。