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潔凈室壓差測試的目的是驗證完成設(shè)施與周圍環(huán)境之間以及設(shè)施內(nèi)空間之間保持指定壓差的能力。本試驗適用于空、靜態(tài)、動態(tài)潔凈室的占用狀態(tài)。項目建成后，需要定期進行壓差試驗。那么潔凈室工程設(shè)計、規(guī)劃、安裝完成后，如何按照設(shè)計方案設(shè)置潔凈室的壓差呢？如何檢測潔凈室的壓力是多少pa？什么是科學的檢測方法？

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一、潔凈室工程中的壓力測試方法有哪些？

1、無塵車間——是的——無塵車間
2、無塵車間-對-公共參考點

需要記錄大壓差的通常使用通用參考點方法來最大限度減少4515DO-DS3BS002DP壓力傳感器的數(shù)量，同時最大限度地減少匯總多個讀數(shù)時出現(xiàn)的復合誤差。壓降變送器的一個端口（通常；高；側(cè)）通過管道連接到被監(jiān)測的潔凈室，而另一側(cè)（通常；低；側(cè)）通過管道連接到受風影響的壓力穩(wěn)定位置的公共參考點（或 通過集管連接到壓力穩(wěn)定的位置）。理想情況下，壓力參考點的位置應(yīng)該有較大的體積，較少的開口，并且相對于外部沒有壓力變化或變化速度較慢。

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二、潔凈室工程靜壓差測量要求：

1、4515DO-DS3BS002DP傳感器的靜壓差測量是在潔凈車間所有門完全關(guān)閉的情況下進行的。
2、按從高潔凈度房間到低潔凈度房間的順序，一直到直接通往室外的房間。
3、測量管口設(shè)置在室內(nèi)空氣不受干擾的地方。
4、測量數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。

三、潔凈室中靜壓差的測定步驟：

1、潔凈區(qū)所有門均關(guān)閉。
2、用微差壓表測量潔凈室之間、潔凈室與走廊之間、走廊與外界之間的壓力差。
3、 記錄在案
4、測量靜壓差的儀表：一般用于測量靜壓差的儀表、斜壓表、精密指針壓力表或其他靈敏度小于1.0Pa的壓力表。

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四、合格標準：

1、不同等級的潔凈室工程（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。 風淋室是指控制產(chǎn)品（如硅片等）所接觸的大氣的清潔度和溫濕度，使產(chǎn)品在良好的環(huán)境空間內(nèi)生產(chǎn)制造。 這個環(huán)境空間的設(shè)計和建造過程可以稱為凈化工程。
2、潔凈室工程（區(qū)）與室外的靜壓差不小于10Pa。 目前層流罩最高級別是航天的航空倉，基本屬于1級，屬于特殊領(lǐng)域，面積比較小。 此外，生化實驗室和高精度納米材料生產(chǎn)車間對水平要求更高。 物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。
3、潔凈度等級嚴格的單相流潔凈室開門時，距門0.6m以內(nèi)的室內(nèi)工作面粉塵濃度不應(yīng)大于相應(yīng)等級的粉塵濃度限值。