集成電路封裝失效機(jī)理是指與集成電路封裝相關(guān)的,導(dǎo)致失效發(fā)生的電學(xué)、溫度、機(jī)械、氣候環(huán)境和輻射等各類應(yīng)力因素及其相互作用過(guò)程。根據(jù)應(yīng)力條件的不同,可將失效機(jī)理劃分為電應(yīng)力失效機(jī)理、溫度-機(jī)械應(yīng)力失效機(jī)理、氣候環(huán)境應(yīng)力失效機(jī)理和輻射應(yīng)力失效機(jī)理等幾大類。
1. 電應(yīng)力失效機(jī)理
電應(yīng)力失效包括封裝中的靜電放電,集成電路中存在n-p-n-p結(jié)構(gòu)而形成正反饋(月鎖效應(yīng)) 或鈍化層介質(zhì)受潮/污染/損傷 (白道擊穿)等過(guò)電應(yīng)力損傷導(dǎo)致內(nèi)引線熔斷,外引出端之間漏電引起參數(shù)漂移甚至短路、燒毀開(kāi)路等功能失效。
當(dāng)部分金屬外殼封裝的器件外引腳表面為鎮(zhèn)銀層或采用銀絲作為鍵合絲時(shí),在水汽、電場(chǎng)的作用下,Ag電離產(chǎn)生 Ag'樹(shù)枝狀遷移,從而導(dǎo)致短路失效的發(fā)生。
2.溫度-機(jī)械應(yīng)力失效機(jī)理
溫度-機(jī)械應(yīng)力失效主要包括如下9種情形。
(1) 空腔結(jié)構(gòu)密封過(guò)程中擠人內(nèi)腔的焊料,鍍層或封口熔融材料脫落,劃槽中工藝控制監(jiān)測(cè)因形 (Process Control Monitor, PCM)剝落等形成腔內(nèi)多余物,均會(huì)引起短路或偶發(fā)短路失效。
(2) Au-A1 鍵合點(diǎn)在高溫條件下生成脆性、高阻性的 AuAl, “紫斑”失效和Au,AI “白斑” 失效山,如圖所示。
(3)封裝內(nèi)的芯片、鍵合引線、引線框架或基板、模塑料 等因熱膨脹系數(shù)、彈性系數(shù)不一致,當(dāng)溫度發(fā)生變化時(shí),材料漲縮產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力,引起鍵合引線拉脫拉斷、芯片開(kāi)裂,或者與基板分層失效131。
(4) 底部填料工藝中 Si0,顆粒填充不均勻,填充壓力和固化溫度不匹配引起填料分層,焊點(diǎn)底部開(kāi)裂引起的失效,如圖1所示;熱膨脹系數(shù)失配和高溫工藝(如回流焊)超過(guò)內(nèi)凸點(diǎn)的熔點(diǎn),引起凸點(diǎn)熔化產(chǎn)生的互連失效,如圖2所示。
(5)倒裝芯片焊接區(qū)的Au、Sn、Pb、Cu、 Ag 等焊料生成的金屬問(wèn)化合物(Intermetallic Compound. IMC) 在溫度變化、加電發(fā)熱或機(jī)械應(yīng)力下,與基板焊盤(pán)和芯片間的熱膨脹系數(shù)失配,IMC 龜裂引起焊點(diǎn) “金脆”開(kāi)裂失效;焊料焊接溫度不匹配,引起焊點(diǎn)內(nèi)部因各種焊料的相互擴(kuò)散速率差異出現(xiàn)孔洞,從而破壞焊點(diǎn)的電氣連接和機(jī)械性能四,如圖所示。
(6)周期性溫度變化下,2.5D、3D堆疊結(jié)構(gòu)中 TSV 銅填充與硅孔壁、焊盤(pán)與焊球、堆疊裸芯片、堆疊封裝等因熱膨賬系數(shù)失配產(chǎn)生應(yīng)力而導(dǎo)致開(kāi)裂、分層、翹曲失效。
(7)周期性溫度變化或機(jī)械應(yīng)力下,鍵合引線發(fā)生形變、碰絲、疲勞斷裂,金屬.玻璃或陶瓷,模塑料等材料發(fā)生蠕變 疲勞裂縫擴(kuò)展、斷裂和密封漏氣等失效。
(8) 金屬或釬焊材料中的氫向應(yīng)力集中部位聚集、析出,與材料內(nèi)部的殘留應(yīng)力及外部應(yīng)力組合,產(chǎn)生巨大壓力導(dǎo)致“氫脆” 斷裂失效。
(9)含Sn 焊料、釬焊材料及含 Sn 鍍層在過(guò)低溫度下存儲(chǔ)、工作時(shí)可導(dǎo)致粉末 Sn 的“錫瘟〞 失效;純Sn 或 Sn 合金鍍層封裝因 Sn 層內(nèi)應(yīng)力、晶體位錯(cuò)、環(huán)境因素等發(fā)生 Sn 須生長(zhǎng)引起相鄰引腳之間的漏電、短路失效。
3. 氣候環(huán)境應(yīng)力失效機(jī)理
氣候環(huán)境應(yīng)力失效主要包括如下3種情形。
(1)模塑料、層壓有機(jī)基板或底部填料吸濕后,在高溫下水分迅速膨賬,迫使其與其上附著的其他材料(如芯片、引線框架等)發(fā)生分離,引起芯片開(kāi)裂、內(nèi)焊接點(diǎn)接觸不良或斷裂、分層或爆裂失效。
(2)外部離子和污染物、封裝料中的雜質(zhì)離子溶人水汽生成電解液,在內(nèi)鍵合引線或曝鐸的 A1 或 Au-AI 結(jié)合處發(fā)生長(zhǎng)期、緩慢的化學(xué)腐蝕或電化學(xué)腐蝕.生成“白毛”狀A(yù)I (OH)?或腐蝕斑,如圖所示。
(3) Sn、Au、Ni 等保護(hù)鍍層過(guò)薄、針孔密度過(guò)大或缺損,以及有Na、K、Cl等雜質(zhì)離子污染存在,金屬殼體、蓋板和外引腳在水汽、電場(chǎng)作用下,產(chǎn)生電化學(xué)腐蝕引起漏電短路、掉腳等,如圖所示。
4.輻射應(yīng)力失效機(jī)理
輻射應(yīng)力失效是指,封裝材料中含有的放射性元素裂變放射出a粒子后,其沿途產(chǎn)生的電子-空穴對(duì)在電場(chǎng)作用下,在芯片某些區(qū)域被集結(jié),引起DRAM、SRAM 等存儲(chǔ)單元中的電荷量發(fā)生改變,導(dǎo)致電路發(fā)生誤翻轉(zhuǎn)的a粒子軟失效。
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原文標(biāo)題:集成電路封裝失效機(jī)理,積體電路封裝失效機(jī)制,F(xiàn)ailureMechanism of IC Package
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