北方華創(chuàng)最近發(fā)布了一款名為Accura BE的12英寸等離子體刻蝕機，該設備應用于晶邊刻蝕（Bevel Etch）工藝，實現(xiàn)了國產晶邊干法刻蝕設備的突破。這項突破為我國先進芯片制造提供了高效的良率提升解決方案。

北方華創(chuàng)自2001年成立以來一直致力于研究刻蝕技術，并于2005年推出第一臺8英寸ICP刻蝕機，隨后帶領國產刻蝕機的交付量逐漸增加，突破了1000臺。

據(jù)北方華創(chuàng)相關負責人表示，“Accura BE作為國產首臺12英寸晶邊刻蝕設備，其技術性能已達到業(yè)界主流水平。” Accura BE通過軟件系統(tǒng)調度優(yōu)化和特有傳輸平臺的結合，可以提升客戶的產能。它可以選擇多種刻蝕氣體，實現(xiàn)對光刻膠（PR）、氧化物（OX）、氮化硅（SiN）、碳（Carbon）和金屬（Metal）等多種膜層材料的晶邊刻蝕工藝全覆蓋。同時，它還可以提供定制的聚焦環(huán)設計組合，實現(xiàn)對等離子體刻蝕區(qū)域的精準位置控制，為客戶提供靈活、全面的良率提升方案。此外，Accura BE還具備軟件智能算法，可以進行可視化的量化調節(jié)，簡化維護流程，提高設備的生產效率。

最新發(fā)布的12英寸等離子體刻蝕機Accura BE技術性能已達到業(yè)界主流水平。該設備主要有以下亮點：

1. 通過軟件系統(tǒng)調度優(yōu)化和特有傳輸平臺的結合，能夠幫助客戶實現(xiàn)更高的產能。

2. 可選擇多種刻蝕氣體，實現(xiàn)對光刻膠（PR）、氧化物（OX）、氮化硅（SiN）、碳（Carbon）和金屬（Metal）等多種膜層材料的晶邊刻蝕工藝全覆蓋。

3. 可定制多種尺寸的聚焦環(huán)設計組合，實現(xiàn)對等離子體刻蝕區(qū)域的精準位置控制，為客戶提供靈活、全面的良率提升方案。

4. 配備軟件智能算法，可實施可視化的量化調節(jié)，簡化維護流程，提高設備的生產效率。

這些亮點使Accura BE在剛剛上市時就贏得了邏輯及存儲器領域頭部客戶的多個訂單，并且已經通過了工藝調試，進入了量產階段。

編輯：黃飛