微位移定位工作平臺(tái)在光電子器件或集成電路加工以及生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域有著極其重要的作用。運(yùn)用壓電疊堆設(shè)計(jì)制造的微位移定位工作平臺(tái)能提供大行程、大力矩、小體積和快速響應(yīng)的工作特性,但是由于壓電材料帶來(lái)的滯后和蠕變非線性特點(diǎn),導(dǎo)致在使用中受到一定的限制。本文運(yùn)用Labview和Matlab軟件,對(duì)基于壓電疊堆的大力矩微位移平臺(tái)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì),提高微位移平臺(tái)工作的穩(wěn)定性和定位精度。

微位移平臺(tái)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng):

實(shí)驗(yàn)設(shè)備:Labview、驅(qū)動(dòng)信號(hào)調(diào)理電路、功率放大器、位移傳感器、采集信號(hào)調(diào)理電路和電源。
實(shí)驗(yàn)過(guò)程:
微位移平臺(tái)系統(tǒng)運(yùn)用位移傳感器測(cè)出微位移平臺(tái)的位移情況,經(jīng)采集信號(hào)調(diào)理電路將信號(hào)轉(zhuǎn)化為L(zhǎng)abview能識(shí)別的電壓信號(hào),然后Labview根據(jù)預(yù)先設(shè)定的位移值經(jīng)分析計(jì)算后,將分析結(jié)果輸出并經(jīng)驅(qū)動(dòng)信號(hào)調(diào)理電路和功率放大器變?yōu)槲灰破脚_(tái)中壓電疊堆能取用的電壓。運(yùn)用Labview強(qiáng)大的控制和計(jì)算分析功能,以及設(shè)計(jì)的簡(jiǎn)便靈活,可以在實(shí)際中根據(jù)需要選用最合適的控制方式,實(shí)現(xiàn)微位移平臺(tái)快速準(zhǔn)確的定位。
壓電疊堆產(chǎn)生大位移需要輸入電壓達(dá)到200V,一般信號(hào)發(fā)生器或者電源都無(wú)法滿足要求,因此需要一款高速、寬頻帶、高電壓輸出的功率放大器。ATA-4052功率放大器能處理從直流到最高500kHz的信號(hào),是一種高速、寬頻帶、高電壓輸出的雙極性功率放大器。電壓和電流可以正負(fù)極性自由地四象限輸出,所以對(duì)于電容性負(fù)荷、電感性負(fù)荷都能夠穩(wěn)定動(dòng)作。
ATA-4000系列功率放大器的特點(diǎn)是高速、寬頻帶(直流-最高500kHz)、高上升速率;高電壓輸出最大300Vpp,可設(shè)置直流偏置,有良好的階躍響應(yīng),低輸出阻抗;
實(shí)驗(yàn)結(jié)果:
增量型PID的閉環(huán)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)特性測(cè)試,方波響應(yīng)結(jié)果:

正弦波響應(yīng)實(shí)測(cè)結(jié)果:

三角波響應(yīng)實(shí)測(cè)結(jié)果:

-
位移傳感器
+關(guān)注
關(guān)注
5文章
1174瀏覽量
35228
發(fā)布評(píng)論請(qǐng)先 登錄
功率放大器在微納平臺(tái)中的應(yīng)用實(shí)例

安泰高壓功率放大器在壓電直線電機(jī)性能測(cè)試中的應(yīng)用

安泰功率放大器在換能器驅(qū)動(dòng)中的應(yīng)用有哪些

安泰ATA-P0102功率放大器如何進(jìn)行壓電疊堆測(cè)試

功率放大器在驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷中的應(yīng)用

安泰功率放大器應(yīng)用:振動(dòng)測(cè)振儀壓電陶瓷振動(dòng)幅度頻率監(jiān)測(cè)

安泰功率放大器在什么器件上使用

安泰功率放大器驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷的應(yīng)用領(lǐng)域有哪些

高壓功率放大器在壓電疊堆驅(qū)動(dòng)器研究中的應(yīng)用

高壓功率放大器ATA-4051在非共振式壓電直線電機(jī)性能測(cè)試中的應(yīng)用

ATA-4051高壓功率放大器在非共振式壓電直線電機(jī)性能測(cè)試中的應(yīng)用

功率放大器在電磁系統(tǒng)中的應(yīng)用

ATA-P2010壓電疊堆放大器 直流偏置功能對(duì)壓電疊堆測(cè)試的重要性

評(píng)論