上海伯東客戶日本某生產(chǎn)半導(dǎo)體用***公司, ***真空度需要達(dá)到 1x10-11 pa 的超高真空, 因?yàn)樵O(shè)備整體較大, 需要對(duì)構(gòu)成***的真空相關(guān)部件進(jìn)行檢漏且要求清潔無(wú)油, 滿足無(wú)塵室使用要求, 為了方便進(jìn)行快速檢漏, 采購(gòu)伯東 Pfeiffer 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310.

***檢漏方法: 采用真空模式檢漏, 漏率值設(shè)定為 1x10-11pa m3/s.
1. 通過(guò)波紋管與***真空系統(tǒng)連接
2. 使用噴槍, 噴掃管路, 腔體焊縫, 接頭等部位, 如果存在超過(guò)設(shè)定漏率值的狹縫, 檢漏儀會(huì)時(shí)時(shí)發(fā)出聲光報(bào)警, 同時(shí)在屏幕上顯示漏率值.

便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 主要技術(shù)參數(shù)：

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