場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 500規(guī)格參數(shù)
今天三本精密儀器小編給您介紹場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 500規(guī)格參數(shù)及樣品制備要求：
一、樣品要求
（1）本儀器不接收磁性、易潮、液體、有機(jī)、生物、不耐熱、熔融蒸發(fā)、松動(dòng)粉末或碎屑等有揮發(fā)物樣品，每個(gè)樣品的質(zhì)量不得超過100g，高度不超過2 cm。
（2）對(duì)于隱瞞樣品信息而造成設(shè)備故障或損壞的，中心要求用戶或用戶課題組承擔(dān)相應(yīng)的維修費(fèi)和誤工費(fèi)。
二、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 500主要規(guī)格及技術(shù)指標(biāo)
1、分辨率：15 kV時(shí)0.6nm；1 kV時(shí) 0.9nm (借助串聯(lián)減速功能選項(xiàng))；
2、加速電壓：0.02-30 kV 連續(xù)可調(diào)；
3、放大倍數(shù)： ×20-2,000K
4、探針電流：3pA-20nA。
三、主要附件及配置
配有能譜與超級(jí)能譜。
能譜儀(EDS) Oxford EDS System（UltimMax100）
EBSD Oxford EBSD System（Symmetry）
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