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電沉積技術(shù)的詳細(xì)解析

actSMTC ? 來源:電子時代 ? 2023-08-29 09:39 ? 次閱讀
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引言

如果有人認(rèn)為化學(xué)鍍銅和其他金屬化系統(tǒng)深不可測,那么關(guān)于電鍍就更像是復(fù)雜的腦外科手術(shù)。

文章將詳細(xì)介紹電沉積技術(shù)的復(fù)雜性及其在孔和表面上形成銅厚度的功能。還將介紹鍍銅溶液中活性成分的作用,各種鍍液成分的過程控制限制及其對沉積完整性的影響。

電沉積

與典型初始通孔金屬化的化學(xué)鍍銅不同,通孔中的導(dǎo)電層需要通過電沉積銅累積達(dá)到一定厚度。據(jù)了解,這些技術(shù)相互重疊,即一些初始金屬化工藝使用直接電鍍,相反,全加成工藝僅通過化學(xué)鍍工藝生成銅。

通過電鍍形成銅層的優(yōu)勢在于成本較低、沉積速率較快以及電鍍銅性能更佳。改進集中在電解液的“均鍍銅”上,即電解液在板表面和通孔內(nèi)沉積相對均勻銅沉積物的能力。采用高酸低銅濃度,以及改進的有機添加劑系統(tǒng)(光亮劑、載體、整平劑),提高了深鍍能力。不要低估電鍍槽設(shè)計、從電源到母線的電纜連接以及溶液移動對電鍍分布及沉積層整體質(zhì)量的影響。

電路板設(shè)計技術(shù)的發(fā)展變化導(dǎo)致了其他挑戰(zhàn)和復(fù)雜性。電路設(shè)計向更高密度和超高密度的轉(zhuǎn)變帶來了工藝技術(shù)的新一波改進。

PCB制造中使用了其他幾種電鍍工藝。作為金屬抗蝕劑的錫、金屬抗蝕劑的鉛或錫通常采用電鍍工藝,有時也采用化學(xué)鍍工藝。其他電鍍金屬包括鎳、金和鈀(也是通過浸鍍液或化學(xué)鍍液沉積),以形成適當(dāng)?shù)谋砻嫱繉?,用于插?a target="_blank">連接器或元件連接,例如引線鍵合。后續(xù)專欄文章將概述這些工藝。

按照酸浸清洗劑、微蝕和酸預(yù)浸的順序進行預(yù)鍍清洗,開始本文的重點酸銅電鍍工藝。酸預(yù)浸是可選的,如果微蝕后的沖洗足夠,可以省略酸預(yù)浸工序。然而,這種情況僅適用于使用過氧化氫、過氧化硫酸微蝕劑。使用過硫酸鹽蝕刻劑需要進行酸預(yù)浸。酸清洗劑關(guān)鍵的變量是化學(xué)成分、濃度、時間和溫度。

對于微蝕,蝕刻深度是關(guān)鍵參數(shù),反過來又受化學(xué)成分、濃度、時間和溫度的影響。酸預(yù)浸通常與鍍液中使用的酸和濃度相同,可保護鍍液,避免帶入殘留液,殘留液可能會對鍍液的成分或濃度產(chǎn)生不利影響。因此,預(yù)浸的化學(xué)成分及其污染物含量至關(guān)重要。

酸性鍍銅液的關(guān)鍵參數(shù)包括電氣、機械、物理和化學(xué)變量。從電氣參數(shù)開始,電流密度和一次電流密度分布影響電鍍速度、厚度分布和冶金性能,例如延展性、粗糙度和沉積層顏色。

電鍍表面的電流密度取決于整流器容量、相關(guān)陽極和陰極尺寸和間距、屏蔽、電鍍槽效率和溶液電導(dǎo)率。電鍍表面的電流密度分布取決于前面提到的一些參數(shù),在圖形電鍍中,還取決于電路圖形。

通孔中的電流密度取決于以下附加變量:

通孔直徑和厚徑比;

鍍液(攪拌)的補充效率(孔內(nèi));

鍍液的深鍍能力,在很大程度上取決于酸/銅比、有機電鍍添加劑和干擾有機電鍍添加劑的雜質(zhì)(浸出劑)含量。

圖1為深鍍能力的定義。后續(xù)專欄將介紹電沉積過程的實際力學(xué)和工藝參數(shù)的影響。

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圖1:均鍍力的定義電鍍通孔的難度取決于板厚和孔徑。

例如,厚徑比均為10:1的兩個孔,一個孔使用厚度為100密耳的面板和直徑為10密耳的導(dǎo)通孔,而另一個使用厚度為200密耳的面板和直徑為20密耳的孔。兩種設(shè)計具有相同的厚徑比。

圖2強調(diào)了隨著厚徑比和板厚度的增加,保持均鍍力的難度。它說明了IR降(或通過導(dǎo)通孔的電阻)將會隨板厚度的平方提高,而導(dǎo)通孔直徑僅以線性方式影響電阻(或均鍍力)。

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圖2:左欄表示板厚,右欄表示孔直徑

審核編輯:湯梓紅

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原文標(biāo)題:電沉積銅

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