半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)設(shè)備有刻蝕、薄膜沉積、清洗、濕制、封裝和測(cè)試、拋光、硅晶圓制造等設(shè)備，這些精密生產(chǎn)設(shè)備對(duì)工藝要求很高，例如對(duì)供電的穩(wěn)定性和質(zhì)量要求，對(duì)溫度嚴(yán)格的監(jiān)測(cè)和控制等

福祿克公司推出的新一代電能質(zhì)量分析儀可幫助半導(dǎo)體及電子制造等敏感制造業(yè)：

1、日常維護(hù)供電質(zhì)量，提早發(fā)現(xiàn)故障隱患，避免停機(jī)及降低廢品率

2、快速排查故障原因，盡快恢復(fù)生產(chǎn)

案例一：

某半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)車(chē)間安裝了3套半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備，一臺(tái)安裝在正在運(yùn)行的的生產(chǎn)測(cè)試線上，有專(zhuān)用的供電，供電質(zhì)量很好，一直未出現(xiàn)問(wèn)題

其余兩臺(tái)備用，用墻上的220V插座供電，故障率頻發(fā)，損壞了多塊開(kāi)關(guān)卡。

該半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備里面的高精密矩陣開(kāi)關(guān)，里面是繼電器，是機(jī)械開(kāi)關(guān)，漏電流很低。

該檢測(cè)設(shè)備是執(zhí)行高精度參數(shù)測(cè)試，適用于測(cè)量精度要求很高的場(chǎng)合，要求達(dá)到皮乏（PF）、皮安（PA）量級(jí)，因此該精密測(cè)試設(shè)備對(duì)供電環(huán)境也有較高要求。

故障表現(xiàn)是開(kāi)關(guān)自檢時(shí)報(bào)錯(cuò)，漏電流達(dá)到了微安量級(jí)。

用戶(hù)聯(lián)系福祿克公司的專(zhuān)家去測(cè)試現(xiàn)場(chǎng)查找故障原因

下圖是測(cè)試現(xiàn)場(chǎng)：

儀器在現(xiàn)場(chǎng)持續(xù)監(jiān)測(cè)了一周時(shí)間

測(cè)試結(jié)果概述：

捕捉到了發(fā)生了多次的電壓波動(dòng)（＞10%），最嚴(yán)重的一次事件：最大偏差-132.2V ，持續(xù)時(shí)間 0.459ms

數(shù)據(jù)分析：電壓電流趨勢(shì)

監(jiān)測(cè)期間發(fā)生的事件列表

捕捉到的波形偏差，可以查看有效值變化特性曲線，幅值大多在20~30V之間

捕捉到的波形偏差，也可以查看發(fā)生時(shí)的波形（持續(xù)時(shí)間3.079s）

總結(jié)

監(jiān)測(cè)的一周時(shí)間內(nèi)，發(fā)現(xiàn)一次較高的電壓波動(dòng)，和用戶(hù)反饋的故障周期吻合

精密檢測(cè)設(shè)備需要獨(dú)立、穩(wěn)定、高質(zhì)量的供電電源！

使用Fluke 1777在線監(jiān)測(cè)功能幫助用戶(hù)查找到了故障的原因：電壓波動(dòng)，導(dǎo)致精密開(kāi)關(guān)無(wú)法正常工作

也幫助售后人員確認(rèn)了精密儀器對(duì)電壓波動(dòng)的耐受范圍：＜40V大概率沒(méi)問(wèn)題

用戶(hù)反映后期還即將投入使用的3#和4#測(cè)試儀器，給用戶(hù)提出建議：

1.先用1777監(jiān)測(cè)供電質(zhì)量，電壓波動(dòng)閾值設(shè)置為50V，避免器件損壞造成的損失

2.和上次的質(zhì)量做對(duì)比

3.完善安裝調(diào)試及售后技術(shù)人員的操作規(guī)程，明確供電質(zhì)量的要求指標(biāo)

審核編輯：湯梓紅