來源：芯智訊

預(yù)計(jì)2024 年夏季上市

編輯：感知芯視界

8月31日消息，尼康公司通過官網(wǎng)發(fā)布公告稱，將推出型號(hào)為“NSR-2205iL1”的5倍縮小的 i-line 步進(jìn)式***，該產(chǎn)品將用于制造電力和通信半導(dǎo)體以及 MEMS 等各種器件。與現(xiàn)有的尼康 i-line曝光系統(tǒng)相比，NSR-2205iL1 具有出色的經(jīng)濟(jì)性，無論晶圓材料如何，都可以優(yōu)化各種半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)。預(yù)計(jì)將于2024 年夏季上市銷售。

尼康表示，NSR-2205iL1 代表了尼康5倍步進(jìn)技術(shù)在過去二十五年中的最重大的更新，將可直接響應(yīng)客戶對(duì)這些在芯片制造中發(fā)揮重要作用的光刻系統(tǒng)的需求。

隨著電動(dòng)汽車、高速通信和各種 IT 設(shè)備變得越來越普遍，對(duì)支持它們的半導(dǎo)體的需求呈指數(shù)級(jí)增長(zhǎng)，設(shè)備制造商需要專門的基板和曝光系統(tǒng)來制造這些芯片。尼康此前經(jīng)常通過翻新步進(jìn)機(jī)來滿足光刻系統(tǒng)要求。

然而，翻新步進(jìn)器的供應(yīng)有限。因此，為了提供額外的靈活曝光設(shè)備解決方案，尼康推出了新型 5x i-line 步進(jìn)式***NSR-2205iL1 ，利用與客戶密切合作的經(jīng)驗(yàn)提供專門的解決方案。除了擴(kuò)展各種選項(xiàng)以滿足客戶的多樣化需求外，這款新開發(fā)的 i-line 步進(jìn)式***還將支持長(zhǎng)期的設(shè)備生產(chǎn)。

從官方公布的參數(shù)來看，NSR-2205iL1 曝光光源是 i-line（365nm波長(zhǎng)），分辨率≤350nm，NA為 0.45，最大曝光場(chǎng)22 mm x 22 mm。

主要優(yōu)點(diǎn)

1、提供卓越性價(jià)比，同時(shí)支持各種需求

NSR-2205iL1 將提供高生產(chǎn)率，同時(shí)通過使用多點(diǎn)自動(dòng)對(duì)焦 (AF) 的高精度晶圓測(cè)量、先進(jìn)的晶圓平臺(tái)調(diào)平（通過傾斜放置晶圓的工作臺(tái)來校正曝光期間曝光圖像平面和基板表面之間的偏移的機(jī)構(gòu)）和寬 DOF（擴(kuò)展的焦深范圍）來優(yōu)化各種半導(dǎo)體制造工藝的良率水平。此外，由于其晶圓厚度和尺寸兼容性、高晶圓翹曲容限以及靈活的功能（包括但不限于支持 碳化硅和 氮化鎵加工），它非常適合各種應(yīng)用。NSR-2205iL1 i-line 步進(jìn)機(jī)將提供卓越的經(jīng)濟(jì)性，同時(shí)滿足芯片制造商的多樣化要求。

2、與現(xiàn)有產(chǎn)品和晶圓廠運(yùn)營(yíng)兼容

NSR-2205iL1 可以與現(xiàn)有晶圓廠運(yùn)營(yíng)兼容，在晶圓廠中擁有尼康 i-line 曝光系統(tǒng)的客戶可以繼續(xù)利用現(xiàn)有的資產(chǎn)和運(yùn)營(yíng)，例如光掩模和晶圓曝光解決方案。此外，NSR-2205iL1 還可以補(bǔ)充或替換不再滿足制造要求的現(xiàn)有步進(jìn)式***。

3、專為長(zhǎng)期使用和可持續(xù)性而設(shè)計(jì)

NSR-2205iL1 可以放心地長(zhǎng)期使用，因?yàn)槠湓O(shè)計(jì)采用通用商用組件，比以往更容易采購(gòu)零件，并為未來提供更可持續(xù)的光刻解決方案。

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審核編輯 黃宇