上海伯東提供半導(dǎo)體新材料和設(shè)備管道檢漏解決方案， 助力企業(yè)生產(chǎn)高質(zhì)量的六氯乙硅烷 Si?Cl?。 六氯乙硅烷廣泛應(yīng)用于有機(jī)硅化合物的合成， 電子半導(dǎo)體材料制造。

半導(dǎo)體新材料和設(shè)備檢漏： 提升產(chǎn)品良率

半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備及其相關(guān)設(shè)施一般在真空環(huán)境下工作， 任何一處出現(xiàn)泄漏都可能導(dǎo)致包括產(chǎn)量下降， 產(chǎn)品不達(dá)標(biāo)或嚴(yán)重安全風(fēng)險(xiǎn)。 因此， 在潔凈室之內(nèi)或在任何維護(hù)干預(yù)之后， 密封性檢漏是必須的步驟。 上海伯東提供全面的氦質(zhì)譜檢漏解決方案， 確保生產(chǎn)設(shè)施從工藝室到排氣系統(tǒng)的真空完整性。

檢漏要求： 高精度， 清潔無(wú)油， 快速檢測(cè)， 盡可能縮短停機(jī)時(shí)間

在真空環(huán)境下工作的半導(dǎo)體制造設(shè)備氦質(zhì)譜檢漏方法：為了確保最終產(chǎn)品的質(zhì)量， 真空設(shè)施需要避免任何污染。 在安裝任何工具或者維護(hù)腔室之后， 推薦使用檢漏儀真空模式進(jìn)行設(shè)備的密封性測(cè)試。 氦質(zhì)譜檢漏儀在真空條件下直接連接到設(shè)備， 通過(guò)將示蹤氣體氦氣噴灑到可能泄漏源的周圍 （比如焊縫， 接頭， 閥門(mén)等處）， 即可定位， 定量檢測(cè)到存在的漏點(diǎn)。 真空模式下漏率 1X10-10 mbar l/s.

在壓力下工作的氣體管路和機(jī)柜氦質(zhì)譜檢漏方法：

由于工藝氣體對(duì)自然環(huán)境的潛在危害， 此類管線在投入運(yùn)行前需要通過(guò)測(cè)試。 推薦使用氦質(zhì)譜檢漏儀吸槍模式， 要測(cè)試的管線在壓力下充滿氦氣。 檢漏儀吸槍探頭可以探測(cè)可能逸出的氦氣。 吸槍模式下， 漏率 1X10-8 mbar l/s

針對(duì)不同的工況， 上海伯東提供合適的半導(dǎo)體設(shè)備檢漏方案

當(dāng)復(fù)雜系統(tǒng)或大容量系統(tǒng) （例如處理室或前級(jí)管線） 上發(fā)生泄漏時(shí)， 需要大抽速檢漏儀以加快泄漏檢測(cè)過(guò)程， 從而減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間。 推薦使用氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 或 ASM 392

對(duì)于過(guò)壓系統(tǒng)或難以進(jìn)入測(cè)試區(qū)域的情況， 推薦便攜式檢漏儀 ASM 310 提供較大靈活性的同時(shí)又不影響性能和靈敏度。

上海伯東提供全系列氦質(zhì)譜檢漏儀， 從便攜式檢漏儀到工作臺(tái)式檢漏儀滿足各種不同的應(yīng)用。 氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏， 利用氦氣作為示蹤氣體可定位， 定量漏點(diǎn)。 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏， 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 推薦氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用 》》