重慶大學(xué)微系統(tǒng)研究中心課件！《MEMS工藝集成》
重慶大學(xué)微系統(tǒng)中心依托于重慶大學(xué)，主要合作單位有中國電子科技集團公司第二十四研究所等。中心主要從事MEMS設(shè)計、研發(fā)及加工關(guān)鍵技術(shù)研究、產(chǎn)業(yè)化轉(zhuǎn)化和人才培養(yǎng)。
MEMS傳感器主要優(yōu)點是體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、靈敏度高、易于集成等，是微型傳感器的主力軍，正在逐漸取代傳統(tǒng)機械傳感器，在各個領(lǐng)域幾乎都有研究，不論是消費電子產(chǎn)品、汽車工業(yè)、甚至航空航天、機械、化工及醫(yī)藥等各領(lǐng)域。
審核編輯 黃宇
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